專利名稱：：吸振平臺結(jié)構(gòu)及具有其的高架地板結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用以承載設(shè)備的平臺結(jié)構(gòu)，特別是涉及一種吸振平臺結(jié)構(gòu)及具有其的高架地板結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
：在制作工藝逐漸邁向納米等級解析度的今日，無論在電子或半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，多數(shù)制程及檢測設(shè)備對于環(huán)境微振動相當敏感，在抑制環(huán)境振動的要求上將更為嚴苛。由于在不良的微振動環(huán)境下，常會造成儀器的誤動作或者測量的結(jié)果難以判讀，所以這些制程及檢測設(shè)備的承載平臺必須要具備優(yōu)良的動態(tài)特性，使得無論是由環(huán)境傳來的振動或者是承載平臺所承載的設(shè)備本身所產(chǎn)生的振動，在運作的頻寬范圍能有效的被消除。傳統(tǒng)的承載平臺材料或結(jié)構(gòu)一般分為花崗巖(granite)、蜂巢狀平臺(honeycombtable)以及鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)(reinforcedconcretestructure)的平臺?；◢弾r的平臺可提供較佳的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，但是由于材質(zhì)的關(guān)系，使得平臺結(jié)構(gòu)的重量較重。蜂巢狀平臺相較之下雖然質(zhì)輕，但是因為結(jié)構(gòu)有一定的復(fù)雜度，造成在制造及組裝程序上的困難，目前只適用于高單價的光學(xué)桌。鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)的平臺，其重量介于以上兩者之間，但是其動態(tài)特性較以上兩者均差。半導(dǎo)體或光電制程相關(guān)的廠房環(huán)境多為采用格柵狀的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)配合高架地板，高架地板也為一種承載平臺結(jié)構(gòu)，但大多不具隔振能力，其主要的功能為借由高架地板提供一個空間讓設(shè)備的管路行走，不至于使操作人員的動線與管路的動線相互影響，也同時提供無塵室中潔凈回風(fēng)的透氣功能。但是人員的活動以及運輸設(shè)備產(chǎn)生的振動往往會經(jīng)由高架地板結(jié)構(gòu)的放大而進入廠房結(jié)構(gòu)，進而傳入廠房內(nèi)的各個角落，影響該環(huán)境中其他精密制程及檢測儀器的可靠度。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種吸振平臺結(jié)構(gòu)及具有其的高架地板結(jié)構(gòu)，其提供的高阻尼的結(jié)構(gòu)，可抑制環(huán)境傳來的振動及平臺上設(shè)備本身所產(chǎn)生的振動，從而解決現(xiàn)有的高架地板的最初設(shè)計并未以抑制振動噪音為訴求，面對近來光電產(chǎn)業(yè)中大尺寸面板的搬運設(shè)備或機器手臂所產(chǎn)生的巨大振動往往通過其支撐的高架地板結(jié)構(gòu)傳到廠房的四周，影響到周遭的精密制程及檢測設(shè)備的問題，例如曝光機、涂布機以及面板缺陷檢查設(shè)備。此外，也解決了一般的光學(xué)桌采用的蜂巢狀結(jié)構(gòu)的隔振設(shè)計，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不但單一構(gòu)件制造困難，也難以組裝拆卸，甚至需要很大的空間才能架設(shè)，造成在設(shè)備維護上極為麻煩的問題。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種高架地板結(jié)構(gòu)，包括有一吸振平臺結(jié)構(gòu)及一支撐結(jié)構(gòu)。吸振平臺結(jié)構(gòu)包括有一底板，具有一支撐架結(jié)合面；一上蓋板，位在底板上方位置，并與底板之間保持一預(yù)定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；一阻尼吸振墊材層，位于底板與上蓋板間的吸振緩沖空間中。支撐結(jié)構(gòu)包括有多支支撐構(gòu)件，結(jié)合于吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面與一3基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體之間，用以支撐吸振平臺結(jié)構(gòu)，并使吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面與基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體之間形成一高架空間。在本發(fā)明的第一實施例中，支撐構(gòu)件包括有一支撐管架、一水平調(diào)整管件、一支撐盤及一補強套件。其中支撐管架具有一固定座及一套合槽，固定座使支撐構(gòu)件固定在基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體上；水平調(diào)整管件具有一套合桿，套合于支撐管架的套合槽中；支撐盤設(shè)置在水平調(diào)整管件上方，用以支撐吸振平臺結(jié)構(gòu)；補強套件則套合于水平調(diào)整管件的套合桿。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種吸振平臺結(jié)構(gòu)，其包括一底板，設(shè)置在一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體上；一上蓋板，位在該底板上方位置，并與該底板之間保持一預(yù)定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；一阻尼吸振墊材層，位于該底板與該上蓋板間的吸振緩沖空間中。經(jīng)由本發(fā)明所采用的技術(shù)手段，可以使得吸振平臺結(jié)構(gòu)及具有其的高架地板結(jié)構(gòu)的抑制振動能力，符合承載精密設(shè)備的振動標準，在一定的頻寬范圍內(nèi)不會放大振動及延長振動，有效減少機臺的故障發(fā)生率，從而提升產(chǎn)品的優(yōu)良率。和一般光學(xué)桌的蜂巢狀結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明的各構(gòu)件在幾何形狀上十分單純，不會造成在制造上的負擔。由于各構(gòu)件的形狀易于統(tǒng)一，可進行規(guī)格化的量產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本。在零件的更換取代上，像是內(nèi)部的阻尼吸振墊片，即可因應(yīng)不同的吸振需求，以不同材料或不同形狀的更換，且更換十分方便。而在材料搬運與平臺的組裝上，也因構(gòu)件的單純化及模組化，搬運時可以拆零的方式來減小體積，施工時也因此而變得更加快速容易，減少受環(huán)境干擾的機會。針對實驗室中的小型精密設(shè)備，可單獨使用本發(fā)明所提供的吸振平臺結(jié)構(gòu)，利用將上蓋板適當?shù)脑黾又亓坎⒃诒砻驺@定位螺孔，即可作為一般實驗室內(nèi)小型桌上用的精密儀器設(shè)備隔振底座，例如光學(xué)測量系統(tǒng)或是微納米檢測所需的原子力顯微鏡，或者半導(dǎo)體廠房中需要的制振型高架地板結(jié)構(gòu)。12上蓋板121側(cè)板122補強肋13阻尼吸振墊材層131墊材層132吸振凸柱133承載面14吸振緩沖空間15加重板151定位螺孔2支撐結(jié)構(gòu)20支撐構(gòu)件21支撐管架211固定座212套合槽22水平調(diào)整管件221套合桿23支撐盤24補強套件3基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體4隔振橡膠5伸平臺6高架空間A透視區(qū)域D1、D2、D3間距H1、H2高度I水平方向具體實施例方式為了對本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對照本發(fā)明的具體實施方式。參閱圖1及圖2所示，其顯示本發(fā)明高架地板結(jié)構(gòu)第一實施例的立體圖及立體分解圖。高架地板結(jié)構(gòu)100包括有一吸振平臺結(jié)構(gòu)1及一支撐結(jié)構(gòu)2。吸振平臺結(jié)構(gòu)1為以一底板11、一上蓋板12及一阻尼吸振墊材層13所形成的三明治夾層結(jié)構(gòu)。支撐結(jié)構(gòu)2則包括有四支支撐構(gòu)件20，結(jié)合于吸振平臺結(jié)構(gòu)1的底板11的支撐架結(jié)合面111上，用以支撐吸振平臺結(jié)構(gòu)1。參閱圖3所示，其顯示圖1中3-3斷面的斷面圖。如圖所示，底板11的底面設(shè)置有多個補強肋112，各補強肋112由底板11的底面向下延伸出一預(yù)定高度，補強肋112的設(shè)置是用來提高底板11的剛性強度。上蓋板12位在底板11上方位置，并與底板11之間保持一高度H1，而定義出一吸振緩沖空間14，阻尼吸振墊材層13便是設(shè)置于吸振緩沖空間14中。上蓋板12具有多個側(cè)板121，各側(cè)板121由上蓋板12的側(cè)緣向下延伸一預(yù)定高度，并與底板11及阻尼吸振墊材層13保持一間距D1。當?shù)装?1、上蓋板12及阻尼吸振墊材層13結(jié)合后，上蓋板12的側(cè)板121包圍住阻尼吸振墊材層13及底板11，使上蓋板12、阻尼吸振墊材層13及底板11間不會有位移錯動。上蓋板12還具有多個補強肋122，該補強肋122是由上蓋板12的底面向下延伸出一預(yù)定高度，用以提高上蓋板12本身的剛性強度，避免承載重物后發(fā)生扭曲變形的情況。阻尼吸振墊材層13在本實施例中是一種高分子丁烯類材料，當然也可以使用高分子乙烯類材料、高分子丁烯類材料與高分子乙烯類材料的混合材料，以及其它阻尼材料來取代。阻尼吸振墊材層13包括有一墊材層131，以及形成于該墊材層131上的多個吸振凸柱132。各吸振凸柱132以一間距D2相鄰配置，且各具有一承載面133，用以承載上蓋板12。吸振凸柱132于本實施例中采用圓錐形，目的是可以在垂直及水平方向同時提供隔振效果，但若有其他方向上的隔振需求，自然也可將吸振凸柱132改為其他形狀。當吸振平臺結(jié)構(gòu)1上有振動產(chǎn)生時，由于底板11、上蓋板12及阻尼吸振墊材層13之間并非采用固定鎖死的結(jié)合方式，且上蓋板12與底板11間無直接連接，而是通過阻尼吸振墊材層13將隔絕振動的傳遞。借由吸振緩沖空間14的緩沖以及阻尼吸振墊材層13所提供的阻尼，使吸振平臺結(jié)構(gòu)1達到抑制及吸收振動的功效。參閱圖4所示，其顯示支撐構(gòu)件的斷面分解圖。支撐構(gòu)件20包括有一支撐管架21、一水平調(diào)整管件22、一支撐盤23及一補強套件24。支撐管架21具有一固定座211及一套合槽212，該固定座211使該支撐構(gòu)件20固定在一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體3上；水平調(diào)整管件22具有一套合桿221，套合于該支撐管架21的套合槽212中；支撐盤23設(shè)置在該水平調(diào)整管件22上方，用以支撐該吸振平臺結(jié)構(gòu)1；補強套件24則套合于水平調(diào)整管件22的套合桿221，用以補強支撐管架21與水平調(diào)整管件22間的結(jié)合剛性。于本實施例中，支撐管架21的套合槽212是一具有內(nèi)螺紋的螺孔，水平調(diào)整管件22的套合桿221則是一螺桿，支撐管架21與水平調(diào)整管件22間借螺孔與螺桿結(jié)合，故有水平高度的微調(diào)功能，可調(diào)整吸振平臺結(jié)構(gòu)1的水平高度。補強套件24是一個固定螺帽，等吸振平臺結(jié)構(gòu)1的高度調(diào)整完成后，可旋轉(zhuǎn)至與支撐管架21的上緣緊貼，如此支撐管架21與水平調(diào)整管件22間的結(jié)合便更加穩(wěn)固。參閱圖5所示，其顯示高架地板結(jié)構(gòu)第一實施例的局部透視圖。圖中所示為圖1中透視區(qū)域A的局部透視圖，在底板11的支撐架結(jié)合面111形成有一定位結(jié)構(gòu)113，該定位結(jié)構(gòu)Il3在本實施例中是一個螺栓，用來結(jié)合定位支撐架結(jié)構(gòu)2。而在底板11的支撐架結(jié)合面111與支撐架結(jié)構(gòu)2之間還設(shè)有一隔振橡膠4，加強吸振平臺結(jié)構(gòu)1與支撐結(jié)構(gòu)2間的隔振效果，讓吸振平臺結(jié)構(gòu)1所產(chǎn)生的振動不會通過支撐結(jié)構(gòu)2傳出，造成不良影響。參閱圖6所示，其顯示本發(fā)明高架地板結(jié)構(gòu)第二實施例的示意圖。此一實施例的高架地板結(jié)構(gòu)100’的結(jié)構(gòu)設(shè)計大致上與前述第一實施例相同，故相同的構(gòu)件標示以相同的元件編號，以資對應(yīng)。其差異在于高架地板結(jié)構(gòu)100’改以多個吸振平臺結(jié)構(gòu)1和支撐結(jié)構(gòu)2所組成，各個吸振平臺結(jié)構(gòu)1之間以一間距D3相鄰配置，并以一水平方向I延伸形成一延6伸平臺5。由于各個吸振平臺結(jié)構(gòu)1之間有間距D3存在，如此振動便不會在各個吸振平臺結(jié)構(gòu)1之間互相傳遞，而隔絕振動在延伸平臺5上延長甚至是放大。支撐結(jié)構(gòu)2同樣支撐該各個吸振平臺結(jié)構(gòu)1，并使各個吸振平臺結(jié)構(gòu)1的底板11的支撐架結(jié)合面111與該基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體3之間保持一高度H2而形成一高架空間6。高架空間6—般是提供操作人員活動之用，使操作人員與延伸平臺5上的設(shè)備或管路動線不會互相影響到。參閱圖7所示，其顯示吸振平臺結(jié)構(gòu)單獨應(yīng)用時的立體圖。如圖所示，吸振平臺結(jié)構(gòu)1’的結(jié)構(gòu)設(shè)計大致上與前述的吸振平臺結(jié)構(gòu)1相同，故相同的構(gòu)件標示以相同的元件編號。其差異在于吸振平臺結(jié)構(gòu)1’直接設(shè)置于基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體3上，并于吸振平臺結(jié)構(gòu)1’的上蓋板12上增設(shè)有一加重板15，加重板15上形成有多個定位螺孔151，提供機臺定位之用。以上所述僅為本發(fā)明示意性的具體實施方式，并非用以限定本發(fā)明的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和原則的前提下所作出的等同變化與修改，均應(yīng)屬于本發(fā)明保護的范圍。權(quán)利要求一種高架地板結(jié)構(gòu)，包括一吸振平臺結(jié)構(gòu)，所述吸振平臺結(jié)構(gòu)又包括一底板，具有一支撐架結(jié)合面；一上蓋板，位在該底板上方位置，并與該底板之間保持一預(yù)定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；其特征在于所述高架地板結(jié)構(gòu)還包括一阻尼吸振墊材層，位于該底板與該上蓋板間的吸振緩沖空間中；一支撐結(jié)構(gòu)，包括有多支支撐構(gòu)件，結(jié)合于該吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面與一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體之間，用以支撐該吸振平臺結(jié)構(gòu)，并使該底板的支撐架結(jié)合面與該基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體之間形成一高架空間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高架地板結(jié)構(gòu)，其特征在于，該底板的底面還具有至少一補強肋，該補強肋由該底板的底面向下延伸出一預(yù)定高度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高架地板結(jié)構(gòu)，其特征在于，該阻尼吸振墊材層包括一墊材層；多個吸振凸柱，形成于該墊材層上，該各個吸振凸柱以一預(yù)定間距相鄰配置，且該各個吸振凸柱具有一承載面，用以承載該上蓋板。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高架地板結(jié)構(gòu)，其特征在于，該吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面還形成有一定位結(jié)構(gòu)，以使該支撐架結(jié)構(gòu)定位在該吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高架地板結(jié)構(gòu)，其特征在于，該吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面與該支撐架結(jié)構(gòu)之間還設(shè)置有一隔振橡膠。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高架地板結(jié)構(gòu)，其特征在于，該支撐構(gòu)件包括一支撐管架，該支撐管架的一端為一固定座，另一端形成有一套合槽，該固定座用以使該支撐構(gòu)件固定在該基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體上；一水平調(diào)整管件，該水平調(diào)整管件的底部為一套合桿，該套合桿可位移地以一預(yù)定水平高度套合于該支撐管架的套合槽中。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高架地板結(jié)構(gòu)，其特征在于，該支撐構(gòu)件還包括有一支撐盤，設(shè)置在該水平調(diào)整管件的頂部，用以支撐該吸振平臺結(jié)構(gòu)。8.—吸振平臺結(jié)構(gòu)，包括一底板，設(shè)置在一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體上；一上蓋板，位在該底板上方位置，并與該底板之間保持一預(yù)定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；其特征在于所述吸振平臺結(jié)構(gòu)還包括一阻尼吸振墊材層，位于該底板與該上蓋板間的吸振緩沖空間中。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的吸振平臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括有一加重板，設(shè)置在該上蓋板上，用以承置該標的機臺。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的吸振平臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，該阻尼吸振墊材層包括一墊材層；多個吸振凸柱，形成于該墊材層上，該各個吸振凸柱以一預(yù)定間距相鄰配置，且該各個吸振凸柱具有一承載面，用以承載該上蓋板。全文摘要本發(fā)明公開了一種吸振平臺結(jié)構(gòu)及具有其的高架地板結(jié)構(gòu)，其中高架地板結(jié)構(gòu)包括有一吸振平臺結(jié)構(gòu)及一支撐結(jié)構(gòu)，吸振平臺結(jié)構(gòu)包括有一底板，具有一支撐架結(jié)合面；一上蓋板，位在底板上方位置，并與底板之間保持一預(yù)定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；一阻尼吸振墊材層，位于底板與上蓋板間的吸振緩沖空間中，支撐結(jié)構(gòu)包括有多支支撐構(gòu)件，結(jié)合于吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面與一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體之間，用以支撐吸振平臺結(jié)構(gòu)，并使吸振平臺結(jié)構(gòu)的底板的支撐架結(jié)合面與基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)體之間形成一高架空間。文檔編號E04F15/00GK101886437SQ20091013930公開日2010年11月17日申請日期2009年5月11日優(yōu)先權(quán)日2009年5月11日發(fā)明者蔡宏毅申請人:臺灣奈米科技應(yīng)用股份有限公司