技術(shù)編號(hào)：1961009
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用以承載設(shè)備的平臺(tái)結(jié)構(gòu)，特別是涉及一種吸振平臺(tái)結(jié)構(gòu)及具有 其的高架地板結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在制作工藝逐漸邁向納米等級(jí)解析度的今日，無論在電子或半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，多數(shù)制 程及檢測(cè)設(shè)備對(duì)于環(huán)境微振動(dòng)相當(dāng)敏感，在抑制環(huán)境振動(dòng)的要求上將更為嚴(yán)苛。由于在不 良的微振動(dòng)環(huán)境下，常會(huì)造成儀器的誤動(dòng)作或者測(cè)量的結(jié)果難以判讀，所以這些制程及檢 測(cè)設(shè)備的承載平臺(tái)必須要具備優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性，使得無論是由環(huán)境傳來的振動(dòng)或者是承載 平臺(tái)所承載的設(shè)備本身所產(chǎn)生的振動(dòng)，在運(yùn)作的頻寬范圍...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。