專利名稱：透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置及其減薄方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃基板承載裝置及其減薄方法，更具體地說，涉及一種透明導(dǎo)電膜
玻璃單面減薄用承載裝置及利用這種裝置承載導(dǎo)電膜玻璃進行單面減薄的方法。
背景技術(shù)：
透明導(dǎo)電膜玻璃是制造平板顯示器(FPD)的主要材料，廣泛應(yīng)用于液晶顯示器 (LCD)、等離子顯示屏(PDP)、觸摸屏(TP)、有機發(fā)光顯示器(0LED)等領(lǐng)域。隨著當(dāng)今世界 高新技術(shù)產(chǎn)品飛速發(fā)展，對FPD面板的輕薄化要求越來越高，因而透明導(dǎo)電膜玻璃的減薄 工藝成為了終端顯示產(chǎn)品能否實現(xiàn)薄型化的核心問題之一。 所謂減薄就是用化學(xué)藥液將透明導(dǎo)電膜玻璃基板均勻蝕刻到目標(biāo)厚度，從減薄方 式來講分單面減薄和雙面減薄兩種。單面減薄即對玻璃基板的其中一面采取保護措施，對 另一面進行減薄；雙面減薄即對玻璃基板的兩面同時進行減薄。從減薄工藝來講，目前流 行的減薄工藝有浸泡減薄工藝和噴淋減薄工藝，浸泡減薄工藝是把玻璃基板浸泡在化學(xué)藥 液中，然后輔助以鼓泡或拋動等機械手段，其玻璃夾具通常是帶有卡槽的蝕刻籃，通過將玻 璃基板兩端卡在相鄰的卡條間實現(xiàn)夾持固定(如專利CN101234853A描述)；噴淋減薄工藝 是用水平傳輸輥作為支撐部件，通過從玻璃輸送方向的左右支撐玻璃板兩端來實現(xiàn)夾持固 定，然后向其表面均勻噴射化學(xué)藥液，(如專利CN1669967A描述)。浸泡減薄工藝和噴淋減 薄工藝相比，后者蝕刻速率快，藥液利用率高，得到的玻璃基板厚度均勻，表觀缺陷少，因而 代表了減薄工藝的主流方向。 采用上述噴淋蝕刻工藝進行透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄時，其夾持治具是該方法實 施的關(guān)鍵。 一方面要保護鍍導(dǎo)電膜面使其免受化學(xué)藥液侵蝕；另一方面要實現(xiàn)另一面沒有 任何遮擋物體的夾持狀態(tài)以保證減薄的均勻性?，F(xiàn)有技術(shù)的做法是在玻璃基板進行化學(xué)減 薄前在無需被蝕刻的表面涂覆掩模作為保護層，然后通過從玻璃輸送方向的左右支撐玻璃 基板兩端的輸送輥實現(xiàn)玻璃基板的夾持以便完成減薄工藝(如專利CN1669967A描述)?，F(xiàn) 有技術(shù)的缺點如下 1.增加了保護層涂覆、烘干、去除工序，增加了原材料成本和制作工序，增加了品 質(zhì)控制難度，降低了生產(chǎn)效率。 2.增加了涂布機、烘干機、脫膜機等相應(yīng)配套設(shè)備的投資，增加了生產(chǎn)成本。
3.對導(dǎo)電膜面的保護以及對整個玻璃的夾持是通過兩個相互獨立的裝置來實現(xiàn) 的，從而增加了整體制作成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)無法實現(xiàn)在固定玻璃基板的同時實 現(xiàn)對玻璃鍍膜面的有效區(qū)域進行保護的缺陷，提供一種透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置 及采用本裝置的減薄方法。 本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是構(gòu)造一種透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置，包括密封并全面覆蓋平板玻璃導(dǎo)電膜面并將平板玻璃吸附住的真空吸盤；在真 空吸盤內(nèi)部設(shè)有密閉的抽氣孔道以及與所述抽氣孔道相通的真空緩沖腔體，通過抽氣孔道 與真空緩沖腔體形成的密閉腔室，在與外接真空泵源斷開情況下維持真空吸盤與平板玻璃 之間的真空度在整個減薄蝕刻流程中吸附住平板玻璃。 在上述承載裝置中，所述真空吸盤包括用作支撐骨架的剛性平板、分別設(shè)置在剛 性平板上用于貼合平板玻璃邊緣的密閉圍墻以及用于控制真空吸盤抽氣和/或進氣操作 的常閉閥門；所述抽氣孔道連通密閉圍墻內(nèi)部區(qū)域與閥門。 在上述承載裝置中，所述剛性平板由兩塊同質(zhì)平板貼合而成，其中一塊平板的一 面鉆有充當(dāng)抽氣孔道的通孔，另一面銑有充當(dāng)真空緩沖腔體的多個溝槽，所述通孔與溝槽 相通。 在上述承載裝置中，所述真空緩沖腔體的體積與平板玻璃面積成正比，并且其比 例范圍優(yōu)選介于200cm3 : 1000cm2至600cm3 : 1000ci^之間。 在上述承載裝置中，所述剛性平板上還設(shè)置有用于嵌入所述密閉圍墻的環(huán)形開口 溝槽，所述環(huán)形開口溝槽的輪廓形狀與密閉圍墻邊框輪廓形狀相適，并且二者的平面輪廓 形狀與平板玻璃的輪廓形狀相適。 在上述承載裝置中，還包括固定在真空吸盤底部的傳輸輥，以及固定在真空吸盤 頂部的導(dǎo)向滑輪。 在上述承載裝置中，密閉圍墻為彈性變形材料，并且其外輪廓尺寸比平板玻璃大2 毫米至5毫米。 在上述承載裝置中，所述環(huán)形開口溝槽槽寬比密閉圍墻邊框?qū)挾却?.5毫米至 1. 5毫米，其深度比密閉圍墻邊框厚度小0. 1毫米至0. 6毫米。 在上述承載裝置中，所述真空吸盤至少吸住和密封所述平板玻璃導(dǎo)電膜面距離邊 緣l毫米以內(nèi)的部分。 本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的另一技術(shù)方案是提供一種利用上述裝置承載透 明導(dǎo)電膜玻璃進行單面減薄方法，包括如下步驟 A :將平板玻璃的鍍膜面與真空吸盤的密閉圍墻區(qū)域進行對位貼合；
B :連接真空泵源，打開真空吸盤閥門對真空吸盤抽真空； C:將貼合了平板玻璃的承載裝置傳送入減薄工作區(qū)，對暴露在外的平板玻璃的另 一面，以利用化學(xué)液體噴淋方式完成單面減??；
D :卸下平板玻璃。 在上述減薄方法中，所述步驟B進一步包括在真空吸盤與平板玻璃之間達到足 夠吸附平板玻璃的真空度后，關(guān)閉閥門，切斷真空泵源。 在上述減薄方法中，所述步驟C中對平板玻璃的傳送是通過分別設(shè)置在承載裝置 上、下的導(dǎo)向滑輪及傳輸輥實現(xiàn)的。 在所述減薄方法中，所述步驟D進一步包括打開閥門，待真空吸盤內(nèi)、外部的氣 壓平衡后，卸下平板玻璃。 實施本發(fā)明提供的承載裝置，使得其真空吸盤吸附的平板玻璃，其一面沒有任 何遮擋便于化學(xué)液體減薄，而另一面的透明導(dǎo)電膜被完全密封而免受化學(xué)溶液侵蝕，在 保護透明導(dǎo)電膜前提下，用化學(xué)溶液蝕刻玻璃另一面全部面積的制作過程被大大簡化，也降低了加工成本。此外，所述剛性平板內(nèi)的真空緩沖腔體在保證剛性平板剛性支撐作 用的前提下，其總體積與平板玻璃面積成正比，并且比例范圍介于200cm3 : 1000cm2至 600cm3 : 1000cm2之間，以保證足夠的容積來維持玻璃減薄蝕刻過程中不致掉落所需的真 空度，即關(guān)閉閥門、切斷真空泵源后所述真空吸盤能夠保證在所有減薄蝕刻工序完成之前 玻璃基板穩(wěn)定夾持在吸盤上而不致掉落，所述減薄工序整個過程所用時間至少為1小時。
具體地說，實施本發(fā)明的承載裝置以及采用該承載裝置進行的減薄方法，具有以 下有益效果 1.在被減薄玻璃的豎直承載狀態(tài)下，實現(xiàn)被減薄玻璃面垂直方向上無任何遮擋 物； 2.豎直承載的玻璃在傳送過程中不會掉落、不會傾覆，蝕刻面受較大垂直方向的 噴淋液壓力時不會破損； 3.不用化學(xué)掩蔽膜覆蓋需要保護的一面，而是采用可反復(fù)使用的結(jié)構(gòu)件保護透明 導(dǎo)電膜玻璃的膜面； 4.將上述承載和保護的措施集成于一套裝置中。 本發(fā)明的各種優(yōu)點、各個方面和創(chuàng)新特征，以及其中所示例的實施例的細節(jié)，將在 以下的描述和附圖中進行詳細介紹。


下面將結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步說明，附圖中 圖1為現(xiàn)有技術(shù)進行減薄工藝的流程圖； 圖2為采用本發(fā)明的承載裝置進行單面減薄的流程示意圖； 圖3為本發(fā)明透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置一較優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4為圖3的側(cè)視圖； 圖5為本發(fā)明提供的對透明導(dǎo)電膜玻璃進行單面減薄的方法的流程示意圖；
圖6為采用本發(fā)明所述承載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖7為發(fā)明所述承載裝置一實施例的示意圖； 圖8為發(fā)明所述承載裝置另一實施例的示意圖。附圖標(biāo)記統(tǒng)一說明如下 1-真空吸盤；2-傳輸輥；3-導(dǎo)向滑輪；4-平板玻璃；7_噴淋設(shè)備；la_剛性平板；
lb-密閉圍墻；lc-抽氣孔道；ld-閥門；le-開口溝槽；lf-真空緩沖腔體
具體實施例方式
圖1為現(xiàn)有技術(shù)進行玻璃減薄工藝的流程圖。如圖所示，現(xiàn)有技術(shù)的做法是在玻 璃基板進行化學(xué)減薄蝕刻前，在無需被蝕刻的表面涂覆掩膜做為保護層，然后通過從玻璃 輸送方向的左右支撐玻璃基板兩端的輸送輥實現(xiàn)玻璃基板的夾持以便完成減薄處理(如 專利號為CN1669967A的專利所述)，其制作工序如圖1所示，該技術(shù)的不足之處在于增加了 很多減薄之外的額外操作，從而導(dǎo)致了成本的增加，比如增加了保護層涂覆、烘干、去除工 序，增加了原材料成本和制作工序，增加了良品率的控制難度，降低了生產(chǎn)效率；增加了涂 布機、烘干機、脫膜機等相應(yīng)配套設(shè)備的投資，增加了生產(chǎn)成本。此外，現(xiàn)有技術(shù)無法實現(xiàn)在 夾持玻璃基板的同時實現(xiàn)對玻璃無需蝕刻的有效區(qū)域進行保護。
圖2為采用本發(fā)明的承載裝置進行減薄工藝的流程圖。如圖所示，在采用本發(fā)明 承載裝置后，減薄工藝流程得到了明顯簡化，主要表現(xiàn)在省去了對鍍膜面進行保護層涂覆 以及相關(guān)保護層的制作工序，此外，在減薄操作完成之后，亦省去了相應(yīng)的去除保護層的工 序，從而在整體上簡化了工藝流程，降低了整體成本。 圖3是本發(fā)明透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置一較優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖 4為圖3的側(cè)視圖。本實施例所述承載裝置包括夾持平板玻璃的真空吸盤l，該真空吸盤1 包括剛性平板la、設(shè)置在剛性平板la上的閥門Id以及密閉圍墻lb。剛性平板la比平板玻 璃4尺寸大至少20毫米，以作為該真空吸盤1的支撐骨架，剛性平板la的材料可以是PVC、 有機玻璃等材料，剛性平板la表面距離邊緣至少5毫米的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有環(huán)形開口溝槽le， 其深度優(yōu)選為0. 4毫米至0. 9毫米，寬度優(yōu)選為3毫米至7毫米，其輪廓尺寸優(yōu)選比待夾持 平板玻璃大2毫米至5毫米。 在開口溝槽le上緊密地貼附有彈性變形材料(如橡膠、柔性塑料等)制成的密閉 圍墻lb，該彈性變形材料厚度優(yōu)選比開口溝槽le的深度大0. 2毫米至0. 6毫米，其輪廓形 狀與平板玻璃4平面輪廓形狀相適，所述彈性變形材料密閉地貼附在開口溝槽le上，剛性 平板la內(nèi)部設(shè)置密閉抽氣孔道lc，并延伸到真空吸盤邊緣之外同側(cè)出口至少5毫米處的的 閥門ld，此外，抽氣孔道lc一端與真空緩沖腔體lf相通，另一端則與密閉圍墻lb所圍空間 的內(nèi)部相通，如圖4所示。閥門ld是垂直于剛性平板la的開孔，通過此閥門ld的開關(guān)來 控制抽氣和/或進氣從而實現(xiàn)裝卸平板玻璃片。當(dāng)平板玻璃鍍有透明導(dǎo)電膜的一面與密閉 圍墻lb輪廓對應(yīng)貼附、密閉空腔抽成真空時玻璃基板牢固地夾持在真空吸盤1上。在具體 制作中，剛性平板la由兩塊同質(zhì)平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當(dāng)抽氣孔道lc 的通孔，另一面銑有充當(dāng)真空緩沖腔體lf的多個溝槽，該通孔與溝槽相通。
本實施例中的真空吸盤呈豎立狀態(tài)，其底部固定有傳輸輥2，傳輸輥2前后端部優(yōu)
選為錐形并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣平行且在同一平面；真空吸盤1頂 部位置固定有多組導(dǎo)向滑輪3，導(dǎo)向滑輪3的轉(zhuǎn)動平面為水平面并且其軸線與真空吸盤1上 的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。在傳送過程中，傳輸輥2落在外圍設(shè)備的凹型 滾輪上，導(dǎo)向滑輪3進入相應(yīng)設(shè)備的導(dǎo)向槽內(nèi)，通過凹槽滾輪的旋轉(zhuǎn)帶動裝置進行移動，導(dǎo) 向滑輪3可保證承載裝置在垂直狀態(tài)下移動并減小阻力。 使用本發(fā)明的承載裝置對透明導(dǎo)電膜玻璃4進行單面減薄時，其具體操作工序如 圖5所示。為進行平板玻璃固定，首先在步驟501中進行平板玻璃4的對位貼合，具體操作 是將平板玻璃4鍍有透明導(dǎo)電膜的一面朝向剛性平板la上密閉圍墻lb圍成的區(qū)域，沿密 閉圍墻lb至少離其邊緣lmm區(qū)域范圍內(nèi)進行對位貼合；在步驟502中，打開閥門ld，連接 外接真空泵源以使平板玻璃4和剛性平板之間的密閉空腔達到所需真空度，在此過程中平 板玻璃4與真空吸盤1的剛性平板la相壓緊，同時密閉圍墻lb與平板玻璃4的側(cè)壁緊密 接觸從而使得整個真空吸盤1內(nèi)部構(gòu)成一密閉整體；在步驟503中，關(guān)閉閥門、切斷真空泵 源；在步驟504中，承載裝置通過底部的傳輸輥2和頂部的導(dǎo)向滑輪3在特定減薄設(shè)備傳輸 軌道內(nèi)開始穩(wěn)定傳輸，并將平板玻璃4傳送入減薄工作區(qū)，在本實施例中，承載裝置將平板 玻璃4傳送進入到噴淋隧道中以便對平板玻璃進行噴淋減薄；在步驟505中，平板玻璃在噴 淋隧道中完成噴淋蝕刻減薄操作，示意圖如圖7所示；在步驟506中，待整個減薄工藝完成 之后，打開閥門，待剛性平板內(nèi)外氣壓平衡后即可進行卸片。
6
本發(fā)明的承載裝置能方便地進行透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄工藝過程的裝卸片，保證工作過程中整個裝置不漏氣、不滲液，并且在對透明導(dǎo)電膜玻璃固定的同時實現(xiàn)對鍍膜面的密閉保護，無需增加額外的鍍膜面保護層制作和去除工序，一方面簡化了單面減薄透明導(dǎo)電玻璃的制造工序，減少原材料和設(shè)備投資，降低了生產(chǎn)成本。另一方面，本發(fā)明的承載裝置實現(xiàn)了透明導(dǎo)電膜玻璃非鍍膜面無任何遮擋的夾持狀態(tài)。從而使化學(xué)藥液與玻璃非鍍膜面全面均勻的接觸，減薄后的透明導(dǎo)電膜玻璃厚度均勻一致。 此外，本發(fā)明的承載裝置上的真空吸盤在達到所需真空度后，即與真空泵源斷開，在整個減薄蝕刻過程中依靠所述真空吸盤上剛性平板內(nèi)設(shè)置的足夠容積的真空緩沖腔體，實現(xiàn)對透明導(dǎo)電膜玻璃的牢固吸附固定，此方法既降低了減薄過程中能源的消耗，又大大簡化了承載裝置的結(jié)構(gòu)。其基本原理利用理想氣體狀態(tài)方程，詳述如下
標(biāo)準狀況下，lmol理想氣體的體積約為22. 4L。理想氣體狀態(tài)方程為PV = nRT，其中P表示壓強、V表示氣體體積、n表示物質(zhì)的量、T表示絕對溫度、R為普適氣體常量。
外界大氣壓為1個標(biāo)準大氣壓，即P工=1()Spa，假設(shè)所需進行單面減薄的透明導(dǎo)電膜玻璃尺寸為14英寸X16英寸，即S二 35. 56X40. 64 = 1445cm2。按照不可壓縮的真空緩沖腔體lf的體積和平板玻璃4面積的比為200cm3 : 1000cm2來計算， 一片14英寸X 16英寸的平板玻璃4區(qū)域內(nèi)，剛性平板內(nèi)設(shè)置的密閉真空緩沖腔體體積V。為1445X20% =289cm3。在1個標(biāo)準大氣壓下，該體積內(nèi)空氣的物質(zhì)的量為= V。/22. 4 = 289X 10—3/22. 4=1. 29X10—2mol。若裝片時本發(fā)明承載裝置上真空吸盤內(nèi)的真空度為P2 = 1(fPa，則利用理想氣體狀態(tài)方程可知，此時密閉空腔內(nèi)空氣的物質(zhì)的量為 n2 = P2n乂Pi = 103X 1. 29X 10—2/105 = 1. 29X 10—4mol，此時一片14英寸X 16英寸的透明導(dǎo)電膜玻璃上承受的大氣壓力為 N初二 (P「P2)*S= (105-103) X35. 56X40. 64X 10—4 = 14307N，即相當(dāng)于用1460kg的重物壓在了玻璃表面(按g = 9. 8N/kg計算)。 若減薄工藝過程中本發(fā)明的承載裝置不間斷的漏氣，不斷有空氣進入剛性平板內(nèi)的真空緩沖腔體，假設(shè)每分鐘進入真空緩沖腔體空氣量為3cmVmin、壓強為一個標(biāo)準大氣壓即105Pa，減薄工藝耗時按60min計算。則整個減薄過程中總泄漏空氣量為njtt=3X60X 10—3/22. 4 = 8. OX 10—3mol，則卸片時真空吸盤內(nèi)真空緩沖腔體中氣體總物質(zhì)的量為n3 = n2+nffi= 1. 29X 10—4+8. 0X 10—3mol = 8. 13X 10—^01，利用理想氣體狀態(tài)方程可得，此時壓強為 P3 = P2 n3/n2 = 103X8. 13X 10—3/l. 29X 10—4mol = 6.3X104Pa， 此時 一片14英寸XIS英寸的透明導(dǎo)電膜玻璃上承受的大氣壓力為N末二 (P「P3^S =(105-6. 3X 104) X35. 56X40. 64X 10—4 = 5347N,即相當(dāng)于用546kg的重物壓在了玻璃表面(按g = 9. 8N/kg計算)。即切斷真空泵，減薄工藝進行1小時后仍有相當(dāng)于546kg重物的力作用于鍍膜玻璃表面，由此可見，本發(fā)明的承載裝置上設(shè)置的真空緩沖腔體If至少能保證切斷真空泵后在減薄工藝進行的1小時時間內(nèi)對平板玻璃4的牢固吸附而不致掉落。
顯然，平板玻璃能否實現(xiàn)減薄工藝過程中的密封固定，主要看最終真空吸盤內(nèi)的壓力P3與外界大氣壓Pi之間的氣壓差產(chǎn)生的壓力N^是否足夠?qū)⑵桨宀Ａ荛]固定在承載夾具的真空吸盤上，而真空吸盤內(nèi)外的壓力差N^主要取決于承載裝置內(nèi)設(shè)置的真空緩沖腔體容積和空氣的泄漏量，關(guān)系式如下
N#= PiS(l-22. 4nffi/V0)_P2S 其中，P工為常數(shù)；當(dāng)平板玻璃尺寸一定時，S也為常數(shù)；因此要想提高N^則要減小空氣的泄漏量nit或增大真空緩沖腔體容積V。， n^可通過盡量控制承載裝置上各部分連接處的氣密性來減小，而V。則通過承載裝置剛性平板上的真空緩沖腔體圖案的設(shè)計來實現(xiàn)。但并非V。越大越好，還要考慮到剛性平板本身的剛性支撐作用，因此本發(fā)明優(yōu)選的所述剛性平板上不可壓縮的真空緩沖腔體的體積和平板玻璃面積的比例范圍是200cm3 : 1000cm2至600cm3 : 1000cm2。 圖6所示的是使用本發(fā)明承載裝置進行噴淋減薄的示意圖。其中，平板玻璃4位于真空吸盤1上接受噴淋設(shè)備7對其進行的噴淋減薄操作。本發(fā)明的承載裝置，在實現(xiàn)透明導(dǎo)電膜玻璃鍍膜面密閉固定的同時，可借助承載裝置底部的傳輸輥2和頂部的導(dǎo)向滑輪3在特定減薄設(shè)備傳輸軌道內(nèi)穩(wěn)定傳輸，此方法使得透明導(dǎo)電膜玻璃的減薄面在運動過程中與減薄設(shè)備噴射出的化學(xué)藥液均勻接觸，通過藥液的沖刷作用及時清除掉玻璃表面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物，避免產(chǎn)物的附著和堆積，從而提高了透明導(dǎo)電膜玻璃減薄面的表觀質(zhì)量和厚度均勻性。 如圖7所示本實施例中，還可以在剛性平板la的兩側(cè)獨立地設(shè)置密閉圍墻lb和閥門ld，用于同時裝載兩片相對的透明導(dǎo)電膜玻璃4，真空緩沖腔體If在兩片玻璃4之間的剛性平板la中，真空緩沖腔體If通過抽氣孔道lc與密閉圍墻lb內(nèi)的區(qū)域相同，剛性平板la的真空吸盤1的頂部有導(dǎo)向滑輪3，底部有傳輸輥3，從而實現(xiàn)一個承載裝置承載兩塊透明導(dǎo)電玻璃，同時進行單面減薄。 進一步地，如圖8所示，還可以在剛性平板la兩側(cè)獨立地設(shè)置4組密閉圍墻lb和
閥門ld，實現(xiàn)同時裝載4片透明導(dǎo)電膜玻璃4，同時對4片玻璃的單面進行減薄而另一導(dǎo)電
膜得以完美保護。同樣的，真空吸盤l的頂部有導(dǎo)向滑輪3，底部有傳輸輥3。 上面結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例進行了描述，但是本發(fā)明并不局限于上述的具體
實施方式，上述的具體實施方式
僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員
在本發(fā)明的啟示下，在不脫離本發(fā)明宗旨和權(quán)利要求所保護的范圍情況下，還可做出很多
形式，這些均屬于本發(fā)明的保護范圍。
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權(quán)利要求
一種透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置，其特征在于，所述裝置包括密封并全面覆蓋平板玻璃(4)導(dǎo)電膜面并將平板玻璃(4)吸附住的真空吸盤(1)；在真空吸盤(1)內(nèi)部設(shè)有密閉的抽氣孔道(1c)以及與所述抽氣孔道相通的真空緩沖腔體(1f)，通過抽氣孔道(1c)與真空緩沖腔體(1f)形成的密閉腔室，在與外接真空泵源斷開情況下維持真空吸盤(1)與平板玻璃(4)之間的真空度在整個減薄蝕刻流程中吸附住平板玻璃(4)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述真空吸盤(1)包括用作支撐骨 架的剛性平板(la)、分別設(shè)置在剛性平板(la)上用于貼合平板玻璃(4)邊緣的密閉圍墻 (lb)以及用于控制真空吸盤(1)抽氣和/或進氣操作的常閉閥門(Id);所述抽氣孔道(lc) 連通密閉圍墻(lb)內(nèi)部區(qū)域與閥門(ld)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的承載裝置，其特征在于，所述剛性平板(la)由兩塊同質(zhì)平板 貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當(dāng)抽氣孔道(lc)的通孔，另一面銑有充當(dāng)真空緩沖 腔體(If)的多個溝槽，所述通孔與溝槽相通。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述真空緩沖腔體(If)的體積與平 板玻璃面積成正比，并且其比例范圍優(yōu)選介于200cm3 : 1000cm2至600cm3 : 1000cm2之間。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述剛性平板(la)上還設(shè)置有用于 嵌入所述密閉圍墻(lb)的環(huán)形開口溝槽(le)，所述環(huán)形開口溝槽(le)的輪廓形狀與密閉 圍墻(lb)邊框輪廓形狀相適，并且二者的平面輪廓形狀與平板玻璃(4)的輪廓形狀相適。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的承載裝置，其特征在于，還包括固定在真空吸 盤(1)底部的傳輸輥(2)，以及固定在真空吸盤(1)頂部的導(dǎo)向滑輪(3)。
7. —種利用如權(quán)利要求1所述裝置承載透明導(dǎo)電膜玻璃進行單面減薄方法，其特征在 于，包括如下步驟A:將平板玻璃(4)的鍍膜面與真空吸盤(1)的密閉圍墻(lb)區(qū)域進行對位貼合； B :連接真空泵源，打開真空吸盤閥門(Id)對真空吸盤(1)抽真空；C:將貼合了平板玻璃(4)的承載裝置傳送入減薄工作區(qū)，對暴露在外的平板玻璃(4) 的另一面，以利用化學(xué)液體噴淋方式完成單面減??； D :卸下平板玻璃(4)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的減薄方法，其特征在于，所述步驟B進一步包括在真空吸盤(1)與平板玻璃(4)之間達到足夠吸附平板玻璃(4)的真空度后，關(guān)閉閥門(ld)，切斷真空 泵源。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的減薄方法，其特征在于，所述步驟C中對平板玻璃(4)的傳送 是通過分別設(shè)置在承載裝置上、下的導(dǎo)向滑輪(3)及傳輸輥(2)實現(xiàn)的。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的減薄方法，其特征在于，所述步驟D進一步包括打開閥門 (ld)，待真空吸盤(1)內(nèi)、外部的氣壓平衡后，卸下平板玻璃(4)。
全文摘要
本發(fā)明涉及透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄承載裝置及其減薄方法，所述裝置包括密封并全面覆蓋平板玻璃4導(dǎo)電膜面并將平板玻璃4吸附住的真空吸盤1；在真空吸盤1內(nèi)部設(shè)有密閉的抽氣孔道1c以及與所述抽氣孔道相通的真空緩沖腔體1f，通過抽氣孔道1c與真空緩沖腔體1f形成的密閉腔室，在與外接真空泵源斷開情況下維持真空吸盤1與平板玻璃4之間的真空度在整個減薄蝕刻流程中始終吸附住平板玻璃4。利用本發(fā)明裝置承載的平板玻璃在其減薄過程中，其一面沒有任何遮擋便于減薄處理而被密閉的另一面可保證透明導(dǎo)電膜免受化學(xué)溶液侵蝕，使透明導(dǎo)電膜玻璃的單面減薄過程大大簡化，也降低了成本。
文檔編號C03C15/00GK101781091SQ20091010507
公開日2010年7月21日 申請日期2009年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月16日
發(fā)明者劉志斌, 張莉, 金弼 申請人:中國南玻集團股份有限公司