專利名稱：線輪主軸的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種線輪主軸，特別是一種用于半導體專用設備即多線切 割機的線輪主軸。
背景技術：
在半導體制造行業(yè)中，在對單晶、多晶及太陽能材料等進行切割加工 時，多采用帶有單片環(huán)形刀片的設備進行切割。其不足之處是切割效率低、
成本高；切割尺寸范圍?。徊牧锨懈顣r需粘接，切不到頭浪費材料。隨著 現(xiàn)代加工業(yè)的訊猛發(fā)展，新材料、新技術在半導體制造行業(yè)內不斷地涌現(xiàn)， 這類設備已不再適應生產的需要。為了實現(xiàn)快速高質量的切割，目前已有 多線切割機問世。這種設備的關鍵部件是它的結構相同的放線輪主軸和收 線輪主軸機構，因為該機構需承載較重的載荷。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種承載能力強、工作可靠的線輪 主軸。
本發(fā)明采用如下技術方案
本發(fā)明包括軸、軸套、線輪和帶輪，所說軸與軸套間沿左、中、右分 設有三組軸承，每組軸承均為兩個背對背安裝的角接觸球軸承，其中，第 一組軸承設于軸的左端，且"^殳有與軸套左端固定的第一軸承壓蓋和設于第 一組軸承外側的第一內擋圏及第一鎖母；第二組軸承設于軸的中部，其左 側設有第二內擋圈和第二鎖母；第三組軸承設于軸的右端，其左側與第二 組軸承間設有隔圏，右側設有與軸套右端固定的第二軸承壓蓋；帶輪和線 輪分別固定在軸的左、右兩端。
所說第 一鎖母和第二鎖母上均鑲嵌有供鎖止的彈性開口摩擦環(huán)。
所說線輪與軸右端固定是其間設有連接接頭，接頭與線輪及軸間分別 設螺釘連接固定，且接頭與軸間設有一個或一對定位銷。
所說帶輪與軸左端固定是其間設有連接鍵或張緊套連接固定，帶輪為同步齒形帶帶輪。
本發(fā)明的有益效果
本發(fā)明提供了 一種用于半導體行業(yè)專用的多線切割機上的線輪主軸。 本主軸既可用于多線切割機的放線系統(tǒng)，也可用于多線切割機的收線系統(tǒng)， 在本線軸主軸結構中，設于軸左端的第一組軸承主要承載傳動力矩；設于 軸中部的第二組軸承主要起支撐作用；設于軸右端的第三組軸承既傳動力 矩又起支撐作用。三組軸承組合既能傳遞力矩又能承載重載荷。本線輪主 軸結構設計合理，工作可靠。當借助于本線輪主軸將切割線排列在多線切 割機的主輥上進行多線切割時，工效高，成本低，切割尺寸范圍大，切約 原材料。


附圖1為本發(fā)明一種實施例的主視剖視結構示意附圖2為圖,1的局部放大附圖3為圖1所示線輪主視剖視結構示意附圖4為圖1所示接頭主視剖視結構示意附圖5為圖1所示軸的主一見局剖結構示意附圖6為圖1所示第一鎖母主視剖視結構示意附圖7為圖6的左—見附圖8為圖1所示軸套主視剖視結構示意圖。
在附圖中l(wèi)帶輪、2第一軸承壓蓋、3第一內擋圈、4第一組軸承、5 軸、6軸套、7第二組軸承、8隔圈、9第三組軸承、IO第二軸承壓蓋、11 定位銷、12線輪、13接頭、14第二內擋圈、15第二鎖母、16機架、17第 一鎖母、18彈性開口摩擦環(huán)。
具體實施例方式
下面將結合實施例附圖對本發(fā)明作進一步詳述
參見附圖，本實施例包括軸5、軸套6、線輪12和帶輪1,所說軸5 與軸套6間沿左、中、右分設有三組軸承，每組軸承均為兩個背對背安裝 的角接觸球軸承，其中，第一組軸承4設于軸5的左端，且設有與軸套6 左端固定的第一軸承壓蓋2和設于第一組軸承4外側的第一內擋圈3及第一鎖母17;第二組軸承7設于軸5的中部，其左側設有第二內擋圏14和 第二鎖母15;第三組軸承9設于軸5的右端，其左側與第二組軸承7間設 有隔圏8,右側設有與軸套6右端固定的第二軸承壓蓋10;帶輪1和線輪 12分別固定在軸5的左、右兩端。
在本實施例中，為了便于制作，將線輪12與接頭13分體制作，然后 用6個M8 x 25的螺釘把二者連接固定為一體。當與軸5的右端固定連接時， 接頭13的中心軸與軸5右端面上的中心孔對接配合定心，再用一對定位鎖 11定位，定位銷11選用(])12的圓柱銷。之后用4個M12 x 50的螺4丁將軸 5與接頭13連接固定。
軸5左端所固定的帶輪1為用于動力輸入的同步齒形帶帶輪，以便帶 動線軸主軸旋轉，用來;^丈線或收線。帶輪1與軸5間可釆用4建連接，也可 采用張緊套連接。
第一軸承壓蓋2和第二軸承壓蓋10分別壓在第一組軸承4和第三組軸 承9的外圏上，并分別與軸套6左、右兩端固定，當安裝^f吏用本線輪主軸 時，軸套6與機架16固定。
第一內擋圈3、第一鎖母17和第二內擋圈14、第二鎖母15用來分別 壓緊第一組軸承4和第二組軸承7的內圈，防止其產生軸向位移。
第一鎖母17和第二鎖母15的結構完全相同，只是其關見格不同。圖6、 圖7所示只是以第一鎖母17為例說明其結構，圖中所示鎖母17的內圓一 端鑲嵌有一彈性開口摩擦環(huán)18.使用時，彈性開口摩擦環(huán)18卡在螺紋的牙 隙間，具有鎖緊止退功能。當本線輪主軸正轉或反轉工作時，鎖緊的鎖母 均不會產生^^動。
在本實施例中，第一組軸承4選用型號為7207GYNDB/P4的角接觸球軸 承；第二組軸承7選用型號為7010CTYNDB/P4的角接觸J求軸承；第三組軸 承9選用型號為7210CTYNDB/P4的角接觸球軸承。
權利要求
1、一種線輪主軸，其特征是它包括軸(5)、軸套(6)、線輪(12)和帶輪(1)，所說軸(5)與軸套(6)間沿左、中、右分設有三組軸承，每組軸承均為兩個背對背安裝的角接觸球軸承，其中，第一組軸承(4)設于軸(5)的左端，且設有與軸套(6)左端固定的第一軸承壓蓋(2)和設于第一組軸承(4)外側的第一內擋圈(3)及第一鎖母(17)；第二組軸承(7)設于軸(5)的中部，其左側設有第二內擋圈(14)和第二鎖母(15)；第三組軸承(9)設于軸(5)的右端，其左側與第二組軸承(7)間設有隔圈(8)，右側設有與軸套(6)右端固定的第二軸承壓蓋(10)；帶輪(1)和線輪(12)分別固定在軸(5)的左、右兩端。
2、 根據權利要求1所述的線輪主軸，其特征是所說第一鎖母(17 )和第二鎖母(15)上均鑲嵌有供鎖止的彈性開口摩擦環(huán)。
3、 根據權利要求1所述的線輪主軸，其特征是所說線輪(12 )與軸(5 )右端固定是其間設有連接接頭(13),接頭(13)與線輪(12)及軸(5)間分別設螺釘連接固定，且接頭(13)與軸(5)間設有一個或一對定位銷(11)。
4、 根據權利要求1所述的線輪主軸，其特征是所說帶輪(1)與軸(5 )左端固定是其間設有連接鍵或張緊套連接固定，帶輪(1)為同步齒形帶帶輪。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種線輪主軸，它包括軸、軸套、線輪和帶輪，所說軸與軸套間沿左、中、右分設有三組軸承，每組軸承均為兩個背對背安裝的角接觸球軸承，其中，第一組軸承設于軸的左端，且設有與軸套左端固定的第一軸承壓蓋和設于第一組軸承外側的第一內擋圈及第一鎖母；第二組軸承設于軸的中部，其左側設有第二內擋圈和第二鎖母；第三組軸承設于軸的右端，其左側與第二組軸承間設有隔圈，右側設有與軸套右端固定的第二軸承壓蓋；帶輪和線輪分別固定在軸的左、右兩端。本發(fā)明工效高，成本低，切割尺寸范圍大，切約原材料。
文檔編號B28D5/04GK101670623SQ20091007557
公開日2010年3月17日 申請日期2009年9月29日 優(yōu)先權日2009年9月29日
發(fā)明者田惠蘭 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所