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無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方的制作方法

文檔序號:1971883閱讀:247來源:國知局

專利名稱::無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,此玻璃具有較小的熱膨脹系數(shù)、較高的應(yīng)變點、較低的密度、較高的化學(xué)穩(wěn)定性;此玻璃適合平板顯示器玻璃基板,更適合TFT-LCD液晶顯示器玻璃基板。
背景技術(shù)
:顯示器作為信息顯示的終端,在信息社會建設(shè)中起著十分重要的作用。隨著消費者對顯示器件功能需求的不斷提高和科技的進步,出現(xiàn)了液晶顯示器---TFT-lXD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay)、等離子顯示器一-PDP(PlasmaDisplayPanels)、薄膜場致發(fā)光顯示器一-TFED(ThinFilmElectroluminescentDisplays)和OLED等新型平板顯示器。據(jù)Displaysearch對全球平板顯示器市場現(xiàn)狀與前景預(yù)測資料顯示,在各種平板顯示器件中,TFT-LCD所占市場規(guī)模最大。TFT-LCD是目前最為成熟的平板顯示技術(shù)。TFT-LCD玻璃基板是電子信息材料的重要組成部分,是TFT-LCD顯示器的重要物質(zhì)基礎(chǔ),TFT-LCD的性能、質(zhì)量、價格,在很大程度上取決于玻璃基板(由玻璃基板制成的彩色濾光片和后玻璃基板兩項在整個成本中占有百分之二十多的權(quán)重)。玻璃基板主要應(yīng)用在TFT-LCD顯示器前后二塊,前玻璃基板上面用來制作彩色濾光膜,使圖象形成彩色,后玻璃基板用來形成控制光線通過的薄膜晶體管等電器元件。所以玻璃基板作用包括兩方面一是使液晶保持一定厚度;二是承載驅(qū)動所必需的透明電極和開關(guān)元件。在液晶顯示面板的制備過程中,首先要通過濺射、化學(xué)氣相沉積等技術(shù)在基板玻璃表面形成透明導(dǎo)電膜、絕緣膜、半導(dǎo)體膜、金屬膜等,然后通過光蝕刻技術(shù)形成各種電路和圖形。在膜沉淀和光蝕刻階段,玻璃基板要經(jīng)受各種熱處理和化學(xué)處理,半導(dǎo)體膜的形成過程要經(jīng)受50(TC600'C高溫處理。因此,基板玻璃需要滿足如下要求1、成分中不能含有堿金屬氧化物,以避免堿金屬離子經(jīng)由擴散作用移動到電晶體陣列中,造成電路短路。此玻璃料方采用無堿金屬配方,可滿足此要求;2、具有高化學(xué)穩(wěn)定性由于TFT-LCD在制造過程中需要進行各項濺射鍍膜和光蝕刻等,在此過程中要經(jīng)過多次高溫環(huán)境中酸、堿的腐蝕,此玻璃應(yīng)能承受高溫制造過程中所使用的化學(xué)試劑。此玻璃料方引入BeO、Zn0以滿足玻璃化學(xué)穩(wěn)定性要求;3、具有較低的熱膨脹系數(shù)基板玻璃的熱膨脹系數(shù)須與薄膜電晶體中的硅相近。如果基板玻璃與薄膜晶體管(TFT)材料之間熱膨脹系數(shù)差異較大,在熱處理過程中,玻璃板將發(fā)生翹曲,其最佳值為2939X10—7°C,此料方引入BeO、ZnO以滿足低膨脹系數(shù)的要求;4、具有較高的應(yīng)變點在制備半導(dǎo)體膜的過程中,玻璃板要經(jīng)受500°C60(TC的高溫處理,為了在TFT制造過程中精確地對準光蝕刻圖形,要求玻璃應(yīng)變點在60(TC以上,此玻璃配方玻璃應(yīng)變點大于65(TC,能滿足此要求;5、具有較低密度為了得到更加輕便的液晶顯示設(shè)備,對作為顯示設(shè)備里面主要重量的玻璃基板就要求較低密度,本料方密度控制在2.55g/cm3以下;6、較低的生產(chǎn)成本生產(chǎn)出高品質(zhì)的超薄平板玻璃本項要求最難達成。因為要生產(chǎn)不含堿金屬氧化物的玻璃熔體,本來就不太容易,還要把熔融玻璃中的不純物、不均質(zhì)和氣泡完全消除當(dāng)然更加困難,最后還需要一個能生產(chǎn)出超高表面品質(zhì)的成型制品。既要克服各項技術(shù)瓶頸又要兼顧成本因素,這一項要求的難度不言而渝。從技術(shù)觀點來審視玻璃基板的基本特性,不難發(fā)現(xiàn)制造適用于TFT-LCD玻璃基板門檻相當(dāng)高,其包括玻璃本身的材質(zhì)特性,如材質(zhì)、品質(zhì)、耐化學(xué)性、耐熱特性。對材質(zhì)特性而言,其核心技術(shù)在于找出最合適的玻璃組成即玻璃料方,此無堿玻璃料方能滿足低膨脹系數(shù)、高應(yīng)變點、高化學(xué)穩(wěn)定性,同時考慮最經(jīng)濟合理的原材料配方即低生產(chǎn)成本。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種低膨脹系數(shù)、高應(yīng)變點、高化學(xué)穩(wěn)定性、低密度、高透過率的無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方(無堿RO-A1203-B203-Si02玻璃),考慮以上特性要求和經(jīng)濟性添加BeO、Ce02、ZnO作為本料方特點。為達到上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于包括按照質(zhì)量百分比的以下各原料:55%66%的Si02、5.5%14%的B203、14%20%的A1203、0.01%4%的Mg0、3.5%10%的Ca0、0.01%9%的Sr0、0.01%9%的Ba0、0.001%2.5%的Be0、0.001%1.5%的Zn0、0.001%2%的Ce02、0.001%1.5%的ZrO2、0.001%1.5%的Ti02和0.1%2.5%的澄清劑。該玻璃在500nm650nm的波長中,玻璃的光透過率大于96%;抗彎強度大于110Mpa;應(yīng)變點大于65(TC;在25°C300。C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2939X10—7°C;液相線溫度低于1250。C;密度小于2.55g/cm3,其中特征性氧化物為BeO、Ce02、ZnO。一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于包括按照質(zhì)量百分比的以下各原料55%66%的Si02、5.5%14%的B203、14.5%20%的A1203、0.01%3.5%的MgO、3.5%9.5%的CaO、0.01%9%的SrO、0.01%9%的BaO、0.001%2.5W的BeO、0.00W1.5呢的ZnO、0.001%2%的Ce02、0.001%1.5%的Zr02、0.001%1.5的Ti。2和0.1%2.5%的澄清劑。該玻璃在500nm650nm的波長中,玻璃的光透過率大于97%;抗彎強度大于115MPa;應(yīng)變點大于65(TC;在25°C300r范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2938X1(T/。C;液相線溫度低于1230。C;密度為2.32.55g/cm3。一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于包括按照質(zhì)量百分比的、6%14%的8203、14.5%20%的A1203、0.01%3.5%的Mg0、3.5%9.5%的Ca0、0.01%9%的Sr0、0.01%9%的Ba0、0.001%2.5呢的Be0、0.001%1.5%的ZnO、0.001%2%的Ce02、0.001%1.5%的Zr02、0.001%1.5的Ti02和0.1%2.5%的澄清劑。該玻璃在500nm650nm的波長中,玻璃的光透過率大于97.6%;抗彎強度大于120MPa;應(yīng)變點大于650°C;在25°C300。C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2938X10—7°C;液相線溫度低于1200。C。由于:^BJM;i^B203、A1A、MgO、CaO等氧化物和引入BeO、Ce02、ZnO來降低玻璃膨脹系數(shù)到39X10—7r以下,更優(yōu)達到38.5X10—7'C以下,最優(yōu)達到38X10—V'C以下;本發(fā)明通過對原材料、碎玻璃、及生產(chǎn)過程中金屬雜質(zhì)的控制和添加Ce02使透過率達到96呢以上,更優(yōu)達到97%以上,最優(yōu)達到97.6%以上。本發(fā)明的積極效果如下本發(fā)明涉及一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,此玻璃具有較小的熱膨脹系數(shù)在25"C30(TC范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2939X10—V°C、較高的應(yīng)變點-一應(yīng)變點大于65(TC、較低的密度一-密度小于2.55g/cm3、較高的化學(xué)穩(wěn)定性一-用2N硫酸、2N氫氧化鈉溶液、NH4F-HF緩沖溶液做耐酸性、耐堿性等化學(xué)穩(wěn)定性實驗,較高的透過率。BeO為本發(fā)明料方的特征氧化物之一。本發(fā)明中BeO的質(zhì)量百分率為0.01%2.5%;BeO是中間體氧化物,在堿土金屬中,BeO奪取游離氧的能力最強,能以鈹氧四面體[Be04]的狀態(tài)參加網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),增強了網(wǎng)絡(luò)完整性和強度。因此,BeO能顯著降低玻璃的熱膨脹系數(shù)、提高熱穩(wěn)定性、提高化學(xué)穩(wěn)定性、提高折射率和硬度,增加X-射線和紫外線的透過率。BeO的含量過高其作用并未正比增加,綜合考慮其優(yōu)化作用和降低生產(chǎn)成本,本料方選用BeO的質(zhì)量百分率為O.001%2.5%;Ce02為本發(fā)明料方的特征氧化物之一。本發(fā)明中Ce02的質(zhì)量百分率為0.001%2%;Ce02屬稀土元素氧化物,能提高玻璃吸收紫外線的能力,含Ce02的玻璃在強輻射線的照射下不變色。在玻璃熔制溫度下,Ce02能分解放出氧氣,是一種強氧化劑。本料方中Ce02還起澄清劑的作用。Ce02價格較堿土金屬氧化物很貴,綜合考慮其作用和降低生產(chǎn)成本,本料方選用Ce02的質(zhì)量百分率為0.001%2%;ZnO為本發(fā)明料方的特征氧化物之一。本發(fā)明中ZnO的質(zhì)量百分率為0.001%1.5%;ZnO是中間體氧化物,在一般情況下以鋅氧八面體[Zn06]作為網(wǎng)絡(luò)外體氧化物,當(dāng)玻璃中的游離氧足夠時,可以形成鋅氧四面體[ZnO,]而進入玻璃的結(jié)構(gòu)網(wǎng)絡(luò),使玻璃的結(jié)構(gòu)更趨穩(wěn)定。ZnO能降低玻璃的熱膨脹系數(shù),提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,提高玻璃折射率。但是過多的氧化鋅會使玻璃易于析晶。本料方選用ZnO的質(zhì)量百分率為O.001%1.5%;本發(fā)明料方通過引入特征氧化物BeO、Ce02、ZnO,使玻璃具有較低的膨脹系數(shù)、較高的應(yīng)變點;較強的耐酸浸蝕、較強的耐堿浸蝕等較高的化學(xué)穩(wěn)定性;具有較高透過率;較高的強度和硬度等。此玻璃適合平板顯示器玻璃基板,更適合TFT-LCD液晶顯示器玻璃基柩。具體實施方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明中,5102的質(zhì)量百分率為55%66%;Si02是重要的玻璃形成氧化物,能單獨形成玻璃,以硅氧四面體[Si04]的結(jié)構(gòu)組元形成不規(guī)則的連續(xù)網(wǎng)絡(luò)。Si-O鍵是離子共價混合鍵,鍵能高達106千卡/摩爾,整個硅氧四面體正負電荷重心重合,不帶極性。硅氧四面體之間以角相連,形成一種以三度空間發(fā)展的架狀結(jié)構(gòu),這對于形成不規(guī)則網(wǎng)絡(luò)具有重要意義。玻璃中隨著Si02的增加可以降低玻璃的熱膨脹系數(shù)、提高玻璃的機械強度、提高玻璃應(yīng)變點、增強介電性能和化學(xué)穩(wěn)定性。但隨著Si02的增加玻璃熔點會升高,造成玻璃熔制溫度過高,提高生產(chǎn)成本,本料方控制Si02質(zhì)量百分率為55%66%;本發(fā)明中,8203的質(zhì)量百分率為5.5%14%;8203也是玻璃形成氧化物,能單獨形成玻璃。在不同條件下硼能以三角體[B03]或四面體[B04]存在,在高溫熔制條件時,一般難于形成硼氧四面體[B04],而只能以三角體[B03]的方式存在,這是8203降低玻璃高溫粘度的主要原因。但低溫時,在一定條件下83+有奪取游離氧形成四面體[B04]的趨勢,使結(jié)構(gòu)緊密而提高玻璃的低溫粘度,這也是在溢流下拉法生產(chǎn)工藝中良好的一面。適量的B203能降低玻璃的膨脹系數(shù),提高玻璃的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、增加玻璃的折射率,改善玻璃的光澤,提高玻璃的機械性能。當(dāng)B203引入過高時,由于硼氧三角體增多,玻璃的膨脹系數(shù)反而增大,發(fā)生反常現(xiàn)象。由于它有高溫降低玻璃粘度和低溫提高玻璃粘度的特性,也決定在TFT-LCD玻璃基板中的含量范圍較小,本料方選用了質(zhì)量百分率5.5%-14%。本發(fā)明中,8203還起到助熔劑的作用,來加速玻璃的澄清和降低玻璃的結(jié)晶能力;本發(fā)明中Al203的質(zhì)量百分率為14962(m;Al20Jl于中間體氧化物,當(dāng)玻璃中氧足夠多時,形成鋁氧四面體[A104],與硅氧四面體形成連續(xù)的網(wǎng)絡(luò)。當(dāng)玻璃中氧不足時,形成鋁氧八面體[A10J,為網(wǎng)絡(luò)外體而處于硅氧結(jié)構(gòu)網(wǎng)絡(luò)空穴中。因此Al203能提高玻璃的粘度、提高玻璃的熱穩(wěn)定性、降低玻璃的結(jié)晶傾向,增加玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性、機械強度、硬度;盡管八1203能改善玻璃的許多性能,但它對于玻璃的電學(xué)性質(zhì)有不良作用,這是一種反?,F(xiàn)象。在硅酸鹽玻璃中當(dāng)以Al203取代Si02時,介電損耗和導(dǎo)電率都上升,所以Al203含量不能太高。本料方選用了質(zhì)量百分率14y。2(Fo以滿足TFT-LCD基板玻璃各項性能要求;本發(fā)明中MgO的質(zhì)量百分率為O.OP/。496;MgO是網(wǎng)絡(luò)外體氧化物,在玻璃中以4。/。以下的MgO代替部分CaO,可以使玻璃的硬化速度變慢,改善玻璃的成型性能。MgO還能降低結(jié)晶傾向和結(jié)晶速度,增加玻璃的高溫粘度,提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和機械強度。但是過高含量的MgO又會造成玻璃容易析晶和膨脹系數(shù)過高。本料方選用了質(zhì)量百分率O.019649&以滿足TFT-LCD基板玻璃各項性能要求;本發(fā)明中030的質(zhì)量百分率為3.5%10%;CaO是網(wǎng)絡(luò)外體氧化物,在玻璃中的主要作用是穩(wěn)定劑,即增加玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和機械強度,在高溫時能降低玻璃的粘度,促進玻璃的熔化和澄清,當(dāng)溫度降低時,粘度增加很快,使成型困難;由于Ca"具有"積聚"作用,過多的CaO能使玻璃的結(jié)晶傾向增大,而且易使玻璃發(fā)脆。本料方選用了CaO質(zhì)量百分率3.596l(m,最優(yōu)3.5%9.5%;本發(fā)明中51~0的質(zhì)量百分率為0.01%9%;SrO是網(wǎng)絡(luò)外體氧化物,適量的SrO能提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性、吸收軟X-射線,但過高的SrO能使玻璃密度和膨脹系數(shù)增高,不利于獲得低膨脹、低密度的TFT-LCD基板玻璃,因此本料方選用SrO的質(zhì)量百分率為O.01%9%;本發(fā)明中BaO的質(zhì)量百分率為0.01呢9y。;BaO是網(wǎng)絡(luò)外體氧化物,在堿士金屬元素中,它的原子序數(shù)最大,離子半徑最大,堿性最強,這些決定了它具有提高玻璃折射率、密度、化學(xué)穩(wěn)定性、防輻射和助熔等特性。用適量的BaO取代CaO可增長料性,為成型創(chuàng)造較寬工藝帶。但過高的BaO能使玻璃密度和膨脹系數(shù)增高,不利于獲得低膨脹、低密度的TFT-LCD基板玻璃,因此本料方選用BaO的質(zhì)量百分率為O.01%9%;BeO為本發(fā)明料方的特征氧化物之一。本發(fā)明中BeO的質(zhì)量百分率為0.01%2.5%;BeO是中間體氧化物,在堿土金屬中,BeO奪取游離氧的能力最強,能以鈹氧四面體[Be04]的狀態(tài)參加網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),增強了網(wǎng)絡(luò)完整性和強度。因此,BeO能顯著降低玻璃的熱膨脹系數(shù)、提高熱穩(wěn)定性、提高化學(xué)穩(wěn)定性、提高折射率和硬度,增加X-射線和紫外線的透過率。BeO的含量過高其作用并未正比增加,綜合考慮其優(yōu)化作用和降低生產(chǎn)成本,本料方選用BeO的質(zhì)量百分率為O.001%2.5%;Ce02為本發(fā)明料方的特征氧化物之一。本發(fā)明中Ce02的質(zhì)量百分率為0.001%2%;Ce02屬稀土元素氧化物,能提高玻璃吸收紫外線的能力,含&02的玻璃在強輻射線的照射下不變色。在玻璃熔制溫度下,Ce02能分解放出氧氣,是一種強氧化劑。本料方中Ce02還起澄清劑的作用。Ce02價格較堿土金屬氧化物很貴,綜合考慮其作用和降低生產(chǎn)成本,本料方選用Ce02的質(zhì)量百分率為0.001%2%;ZnO為本發(fā)明料方的特征氧化物之一。本發(fā)明中ZnO的質(zhì)量百分率為0.001%1.5%;ZnO是中間體氧化物,在一般情況下以鋅氧八面體[Zn06]作為網(wǎng)絡(luò)外體氧化物,當(dāng)玻璃中的游離氧足夠時,可以形成鋅氧四面體[Zn04]而進入玻璃的結(jié)構(gòu)網(wǎng)絡(luò),使玻璃的結(jié)構(gòu)更趨穩(wěn)定。ZnO能降低玻璃的熱膨脹系數(shù),提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,提高玻璃折射率。但是過多的氧化鋅會使玻璃易于析晶。本料方選用ZnO的質(zhì)量百分率為O.001%1.5%;本發(fā)明中ZrO2的質(zhì)量百分率為0.00P/。1.59G;ZrOJS于中間體氧化物,可以有效降低玻璃的膨脹系數(shù)、提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性物別是提高玻璃耐堿性、提高玻璃硬度、彈性模量;由于Zr02在玻璃中熔解度小,會增加玻璃的高溫粘度,當(dāng)含量高時很容易析晶;本料方選用Zr02的質(zhì)量百分率為0.0019G1.5呢;本發(fā)明中1102的質(zhì)量百分率為0.001%1.5%;Ti02屬于中間體氧化物,一部分以鈦氧四面體[Ti04]進入結(jié)構(gòu)網(wǎng)中,一部分以鈦氧八四面體[Ti06]處于結(jié)構(gòu)網(wǎng)外。Ti02可以提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性物別是提高玻璃的耐酸性,增加吸收X-射線和紫外線的能力,但高含量的鈦在玻璃中極易析晶。本料方選用Ti02的質(zhì)量百分率為O.001%1.5%本發(fā)明中澄清劑的質(zhì)量百分率為O.1%2.5%;至少有一種選自下列組分中的澄清劑As203、Sb203。液晶玻璃對氣泡的控制特別嚴格,要想避免氣泡產(chǎn)生,則須在玻璃原料中加入好的澄清劑。雖然環(huán)保玻璃是未來產(chǎn)品發(fā)展的趨勢,但目前為止,特種玻璃制作原料中仍然使用As203,因為A&03是已知能耐最高溫度的澄清劑。八5203即使在很高的熔解溫度(1450°C)下,玻璃熔體中的AS205仍會持續(xù)釋放出02,這種在高溫下釋放02的動作,有助于生成玻璃時在熔解與澄清階段移除內(nèi)部氣泡。熔解初期的較低溫度階段,玻璃中的02極易被As203吸附生成AsA。Sb203的澄清作用與AsA相似。澄清劑的作用是為了提高玻璃的熔制質(zhì)量,減少玻璃中的氣泡,但過多的澄清劑會導(dǎo)致玻璃穩(wěn)定性下降,尤其毒性大,盡量少用。本料方選用澄清劑的質(zhì)量百分率為0.1%2.5%。以下用實例進一步說明本發(fā)明,但數(shù)據(jù)的目的在于說明和示例,而不以任何方式限制本發(fā)明。表l-2為本發(fā)明的一些實例,這些實例中按各種氧化物質(zhì)量百分比計算出引入各氧化物原料用量,每份料重900克,盛于鉑銠坩堝中,將坩堝與料一起放入已升溫的馬弗爐中,在165(TC左右熔制16小時,熔解過程中用鉬金棒攪拌數(shù)次,以加快玻璃液熔解和均化。然后將玻璃液迅速倒入耐火材料模板中成型為板塊狀樣品。將樣品放入適當(dāng)退火曲線的退火爐中,當(dāng)退火爐降到室溫后,取出樣品,進行如下物理化學(xué)參數(shù)測試(1)密度P[g/cm3]:采用阿基米德法測定;(2)25。C30(TC的平均線熱膨脹系數(shù)ci253。。[l(r7。C]:采用包特文金-索洛明(橫式)膨脹計,以線膨脹系數(shù)表示;(3)應(yīng)變點Ps[。C],粘度為10",白時的溫度玻璃絲荷重伸長法;(4)退火點Ta[。C],粘度為10"泊時的溫度玻璃絲荷重伸長法;(5)軟化點TsrC],粘度為10"泊時的溫度:無荷重玻璃絲伸長法即自重玻璃絲法和膨脹曲線測軟化點法;(6)工作點Twrc],粘度為KT泊時的溫度玻璃的高溫粘度采用旋轉(zhuǎn)式粘度計按ASTMC965-96法測定,用VFT公式計算得到工作點溫度;同時計算出熔化溫度;(7)玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性稱重法一測定用試劑處理后玻璃制品的失重;耐氫氟酸緩沖液腐蝕性BHF[mg/cm2]:樣品各面全拋光的玻璃塊在25"C,用10%濃度的NH4F-HF緩沖溶液浸泡20分鐘的重量損失。(8)玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性耐酸性一用2NH2S04溶液處理樣品后的重量損失(%);(9)玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性耐堿性一用2NNa0H溶液處理樣品后在100厘米2表面上的失重(毫克);用以上方法對各種樣品進行測試得到下列表-l和表-2各特性值。<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>注上用耐酸性和耐堿性測試結(jié)果欄中,可視為能看出液體混濁,但測不出數(shù)據(jù);O未發(fā)現(xiàn)液體混濁。權(quán)利要求1、一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于包括按照質(zhì)量百分比的以下各原料55%~66%的SiO2、5.5%~14%的B2O3、14%~20%的Al2O3、0.01%~4%的MgO、3.5%~10%的CaO、0.01%~9%的SrO、0.01%~9%的BaO、0.001%~2.5%的BeO、0.001%~1.5%的ZnO、0.001%~2%的CeO2、0.001%~1.5%的ZrO2、0.001%~1.5%的TiO2和0.1%~2.5%的澄清劑。2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于該玻璃在500nm650nm的波長中,玻璃的光透過率大于96%;抗彎強度大于110Mpa;應(yīng)變點大于65(TC;在25°C300'C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2939X10—7'C;液相線溫度低于1250°C;密度小于2.55g/cm3,其中特征性氧化物為BeO、Ce02、ZnO。3、一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于包括按照質(zhì)量百分比的以下各原料55%66%的Si02、5.5%14%的8203、14.5%20%的A1203、0.01%3.5%的MgO、3.5%9.5%的CaO、0.01%9%的SrO、0.01%9%的BaO、0.001%2.5%的BeO、0.001%1.5%的ZnO、0.001%2%的Ce02、0.001%1.5%的Zr02、0.001%1.5的Ti。2和0.1%2.5%的澄清劑。4、根據(jù)權(quán)利要求書3所述的無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于該玻璃在500nm650nm的波長中,玻璃的光透過率大于97%;抗彎強度大于115MPa;應(yīng)變點大于650。C;在25°C300"范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2938X10—7。C;液相線溫度低于1230。C;密度為2.32.55g/cm3。5、一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于包括按照質(zhì)量百分比的以下各原料55%66%的Si02、6%14%的8203、14.5%20%的A1A、0.01%3.5%的MgO、3.5%9.5%的CaO、0.01%9%的SrO、0.01%9%的BaO、0.001%2.5%的BeO、0.001%1.5%的ZnO、001%2%的Ce02、0.001%1.5%的Zr02、0.001%1.5的m和0.1%2.5%的澄清劑。6、根據(jù)權(quán)利要求書5所述的無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,其特征在于該玻璃在500nm650nm的波長中,玻璃的光透過率大于97.6%;抗彎強度大于120MPa;應(yīng)變點大于650°C;在25°C300"C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為2938X10—7°C;液相線溫度低于1200°C。全文摘要本發(fā)明涉及一種無堿鈹鈰鋅硼硅酸鹽玻璃料配方,按照質(zhì)量百分比55%~66%的SiO<sub>2</sub>,5.5%~14%的B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>,14%~20%的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>,0.01%~4%的MgO,3.5%~10%的CaO,0.01%~9%的SrO,0.01%~9%的BaO,0.001%~2.5%的BeO,0.001%~1.5%的ZnO,0.001%~2%的CeO<sub>2</sub>,0.001%~1.5%的ZrO<sub>2</sub>,0.001%~1.5的TiO<sub>2</sub>和0.1%~2.5%的澄清劑,該玻璃在500nm~650nm的波長中,玻璃的光透過率大于96%;抗彎強度大于110MPa;應(yīng)變點大于650℃;在25℃~300℃范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)為29~39×10<sup>-7</sup>/℃;液相線溫度低于1250℃;密度小于2.55g/cm<sup>3</sup>,玻璃具有較低的膨脹系數(shù)、較高的應(yīng)變點、較強的耐酸浸蝕、較強的耐堿浸蝕等較高的化學(xué)穩(wěn)定性;具有較高透過率;較高的強度和硬度,適合平板顯示器玻璃基板。文檔編號C03C3/076GK101531458SQ20091006454公開日2009年9月16日申請日期2009年4月1日優(yōu)先權(quán)日2009年4月1日發(fā)明者杰張,張曉華,徐勝利,楊丕兵,王俊明,肖繼溫,鄭紹文申請人:河南安飛電子玻璃有限公司
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