專利名稱：可調(diào)式硬面光掩模基板加工承載清洗器具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硬面光掩?；逯圃祛I(lǐng)域以及光學(xué)玻璃加工領(lǐng)域，尤其是一 種用于硬面光掩?；逯圃爝^(guò)程中的承載清洗器具。
背景技術(shù)：
根據(jù)國(guó)家硬面光掩模基板標(biāo)準(zhǔn)，硬面光掩?；鍢?biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)寬規(guī)格系列7項(xiàng)，標(biāo) 準(zhǔn)厚度規(guī)格系列6項(xiàng)。這些不同規(guī)格產(chǎn)品要經(jīng)過(guò)切割、研磨拋光和清洗制程，在 生產(chǎn)過(guò)程中承載清洗器具對(duì)于簡(jiǎn)化工序操作，減少脆性材料的破損，提高清洗效 能有著關(guān)鍵性的影響。
現(xiàn)有技術(shù)中硬面光掩模基板承載清洗器具采用的是籃筐式結(jié)構(gòu)，如圖1所示。 籃筐式承載清洗架在實(shí)際使用中存在一些問(wèn)題。首先，為了保證器具本身的固形 要求， 一般選擇有一定硬度的工程塑料，操作不當(dāng)容易造成脆性材料工件損傷。 其次，籃筐式承載清洗架的結(jié)構(gòu)，特別是加強(qiáng)筋會(huì)阻擋水流，影響清洗效果。另 外，籃筐式承載清洗架的插槽寬度固定，不同規(guī)格硬面光掩?；枰褂貌煌?規(guī)格承載清洗架，通用性差
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題就是克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能 夠簡(jiǎn)化工序，降低工件損傷，提高清洗功效，使用方便靈活的硬面光掩?；寮?工清洗承載清洗器具。該器具也可適用于光學(xué)玻璃加工領(lǐng)域。
具體的技術(shù)方案是
一種可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，由槽口架al、導(dǎo)向定位桿 a2組合而成，
所述的槽口架al由槽口板bl、筋板b2和b3通過(guò)固定件定位連接而成。在 槽口板bl左右二面開(kāi)有鏡向?qū)ΨQ槽cl和與對(duì)稱槽cl垂直貫通的底部條形槽c2;在槽口板M左右二面端部開(kāi)有供定位安裝導(dǎo)向定位桿a2的導(dǎo)向孔kl 。
上述對(duì)稱槽cl是對(duì)稱梯形槽。對(duì)稱梯形槽cl和與之垂直貫通的底部條形槽 c2組合，適合插入和支撐不同厚度的工件。
在上述槽口板bl底面開(kāi)有貫穿槽口板bl長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)條凹槽c4，所述的 筋板b3插入凹槽c4，以固定件連接槽口板bl與筋板b3。
在上述槽口板bl底面和頂面開(kāi)有貫穿槽口板bl長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)條凹槽c3 和c4,所述的筋板b2和b3分別插入凹槽c3和c4，筋板b2和b3使槽口架al 整體具有鋼性，不易變形，槽口板與筋板由固定螺釘b4固定。
在上述同導(dǎo)向孔kl左右二面垂直的槽口板bl端面開(kāi)有定位銷孔k2，定位銷 孔k2軸線與導(dǎo)向孔kl軸線互相垂直相交，定位銷b5與定位銷孔k2靜配合裝配； 定位銷b5上的導(dǎo)向孔k3與槽口板bl左右二面端部導(dǎo)向孔kl同心裝配，定位銷 b5通過(guò)定位孔K4與定位螺釘b6固定。
上述器具中還包括導(dǎo)向桿a3，在上述槽口板bl中部開(kāi)有供安裝導(dǎo)向桿a3的 導(dǎo)向孔k5，導(dǎo)向桿a3的一端有螺紋，通過(guò)緊固螺母a4與槽口架al固定。
上述導(dǎo)向定位桿a2的端面為缺損圓形或圓形。
上述槽口架al是聚四氟乙烯材料，導(dǎo)向定位桿a2和導(dǎo)向桿a3是不銹鋼材料， 可根據(jù)需要制成各種長(zhǎng)度。
一種可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具的裝配方法，選用適當(dāng)長(zhǎng)度的 二根或多根導(dǎo)向定位桿a2,將二個(gè)或多個(gè)槽口架al通過(guò)槽口架定位孔kl串聯(lián)， 根據(jù)工件寬度尺寸，槽口架與槽口架之間間距可沿導(dǎo)向桿長(zhǎng)度方向調(diào)整并用螺釘 b6固定，合圍構(gòu)成一個(gè)或多個(gè)平行并列有槽容置空腔。
一種可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具的裝配方法，選用適當(dāng)長(zhǎng)度的 二根或多根導(dǎo)向定位桿a2和a3，將二個(gè)或多個(gè)槽口架al通過(guò)槽口架定位孔kl 和k5串聯(lián)，根據(jù)工件寬度尺寸，槽口架與槽口架之間間距可沿導(dǎo)向桿長(zhǎng)度方向 調(diào)整并用螺釘b6固定，合圍構(gòu)成一個(gè)或多個(gè)平行并列有槽容置空腔。
本實(shí)用新型的有益效果
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，所述承載清洗器具優(yōu)點(diǎn)在于 一是器具通用性好，只要按 工件的寬度規(guī)格調(diào)整好槽口架之間的間距，可以用于不同規(guī)格的工件承載清洗。 二是靈活方便，不同規(guī)格工件可以同時(shí)組合清洗。三是整體不易變形，而槽口富
5有彈性，易于工件插入和固定，不易造成工件損傷。四是清洗過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)水 流阻擋現(xiàn)象，可以增加待清洗工件和水流接觸，能有效提高工件的潔凈度和操作 功效。


圖1現(xiàn)有技術(shù)硬面光掩模基板制造承載清洗器具示意圖2本實(shí)用新型可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具示意圖3本實(shí)用新型可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具槽口架al結(jié)構(gòu)示意圖4本實(shí)用新型可調(diào)式硬面光掩模基板加工承載清洗器具導(dǎo)向定位桿a2、導(dǎo)向
桿a3結(jié)構(gòu)示意圖5、 6本實(shí)用新型可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具裝配示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將以承載清洗2.5英寸和3.5英寸硬面光掩?；鍨槔f(shuō)明本實(shí)用新型 清洗器具的結(jié)構(gòu)及裝配方法，請(qǐng)一并參閱圖5和圖6。 2.5英寸硬面光掩?；?規(guī)格為63.5mmX63.5mmX3.05mm， 3.5英寸硬面光掩?；逡?guī)格為88.9mmX 88.9mmX3.8mm。
步驟一、用定位螺釘b6將W槽口架al固定在穿過(guò)二個(gè)端部導(dǎo)向定位孔kl 的二根導(dǎo)向定位桿a2的端部，導(dǎo)向桿a3穿過(guò)中間的向定位孔k5。參閱圖5-l。
步驟二、 2弁槽口架al與W槽口架al同向平行并列，二根導(dǎo)向定位桿a2和 導(dǎo)向桿a3穿過(guò)對(duì)過(guò)對(duì)應(yīng)的2存槽口架al的端部導(dǎo)向定位孔kl和中間定位孔k5; 用3.5英寸硬面光掩模基板樣片A作為基準(zhǔn)，調(diào)整2#槽口架al與1#槽口架al 間的間距。參閱圖5-2。
步驟三、用定位螺釘b6將2弁槽口架al與二根導(dǎo)向定位桿a2定位固定。參 閱圖5-3。
步驟四、3弁槽口架al與2^槽口架al同向平行并列，二根導(dǎo)向定位桿a2和 導(dǎo)向桿a3穿過(guò)對(duì)應(yīng)的3#槽口架al的端部導(dǎo)向定位孔kl和中間定位孔k5;用 2.5英寸硬面光掩?；鍢悠珺作為基準(zhǔn)，調(diào)整3弁槽口架al與2^槽口架al間的 間距。參閱圖5-4。步驟五、用定位螺釘b6將3#槽口架&1與二根導(dǎo)向定位桿a2定位固定。自 然旋緊緊固螺母a4。參閱圖5-5。
步驟六、卸除樣片，插入待承載清洗硬面光掩?；濉㈤唸D5-6和圖6-4 多規(guī)格多列。
同上述裝配方法，也可如圖6-l，圖6-2，圖6-3所示，根據(jù)需要裝配成單規(guī) 格單列，或單規(guī)格多列等。
所述承載清洗器具優(yōu)點(diǎn)在于器具通用性好，梯形槽cl可以插入不同厚度 的工件，與梯形槽垂直貫通的底部條形槽c2的底面作為工件垂直方向的支撐， 所以只要按工件樣片的規(guī)格調(diào)整好槽口架之間的間距，可以用于不同規(guī)格的工件 承載清洗。二是靈活方便，如圖6-4所示，不同規(guī)格工件可以同時(shí)組合清洗。三 是整體不易變形，而槽口富有彈性，易于工件插入和固定，不易造成工件損傷。 四是清洗過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)水流阻擋現(xiàn)象，可以增加待清洗工件和水流接觸，能有 效提高工件的潔凈度和操作功效。
權(quán)利要求1.一種可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征在于，由槽口架(a1)、導(dǎo)向定位桿(a2)組合而成；所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通過(guò)固定件定位連接而成，在槽口板(b1)左右二面開(kāi)有鏡向?qū)ΨQ槽(c1)和與對(duì)稱槽(c1)垂直貫通的底部條形槽(c2)；在槽口板(b1)左右二面端部開(kāi)有供定位安裝導(dǎo)向定位桿(a2)的導(dǎo)向孔(k1)。
2 根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征 在于，所述對(duì)稱槽(cl)是對(duì)稱梯形槽。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征 在于，所上述槽口板(bl)底面開(kāi)有貫穿槽口板(bi)長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)條凹槽(c4)， 所述的筋板(b3)插入凹槽(c4)，以固定件連接槽口板(bl)與筋板(b3)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征 在于，所上述槽口板(bl)底面和頂面開(kāi)有貫穿槽口板(bl)長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)條 凹槽(c3)和(c4)，所述的筋板(b2)和(b3)分別插入凹槽(c3)和(c4)， 槽口板與筋板由固定螺釘(b4)固定。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征 在于，所述同導(dǎo)向孔(kl)左右二面垂直的槽口板(bl)端面開(kāi)有定位銷孔(k2)， 定位銷孔(k2)軸線與導(dǎo)向孔(kl)軸線互相垂直相交，定位銷(b5)與定位銷 孔(k2)靜配合裝配；定位銷(b5)上的導(dǎo)向孔(k3)與槽口板(bl)左右二面 端部導(dǎo)向孔(kl)同心裝配，定位銷(b5)通過(guò)定位孔(K4)與定位螺釘(b6) 固定。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征 在于，所述器具中還包括導(dǎo)向桿(a3),在上述槽口板(bl)中部開(kāi)有供安裝導(dǎo) 向桿(a3)的導(dǎo)向孔(k5)，導(dǎo)向桿(a3)的一端有螺紋，通過(guò)緊固螺母(a4) 與槽口架(al)固定。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征 在于，所述導(dǎo)向定位桿(a2)的端面為缺損圓形或圓形。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式硬面光掩?；寮庸こ休d清洗器具，其特征在于，所述槽口架(al)是聚四氟乙烯材料，導(dǎo)向定位桿(a2)和導(dǎo)向桿(a3) 是不銹鋼材料。
專利摘要本實(shí)用新型涉及硬面光掩?；逯圃祛I(lǐng)域以及光學(xué)玻璃加工領(lǐng)域，尤其是一種用于硬面光掩?；逯圃爝^(guò)程中的承載清洗器具及其裝配方法。其由槽口架(a1)、導(dǎo)向定位桿(a2)組合而成；所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通過(guò)固定件定位連接而成，在槽口板(b1)左右二面開(kāi)有鏡向?qū)ΨQ槽(c1)和與對(duì)稱槽(c1)垂直貫通的底部條形槽(c2)；在槽口板(b1)左右二面端部開(kāi)有供定位安裝導(dǎo)向定位桿(a2)的導(dǎo)向孔(k1)。本實(shí)用新型承載清洗器具具有通用性好，靈活方便，整體不易變形，清洗過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)水流阻擋現(xiàn)象，能有效提高工件的潔凈度和操作功效。
文檔編號(hào)C03C19/00GK201222166SQ20082015087
公開(kāi)日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2008年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月16日
發(fā)明者袁克文 申請(qǐng)人:上海棱光實(shí)業(yè)股份有限公司