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一種氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱體的制作方法

文檔序號(hào):1937793閱讀:214來源:國知局

專利名稱::一種氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及一種氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱體。
背景技術(shù)
:99113534.2公開了一種氮化硅發(fā)熱體及其制造方法,采用氮化硅作為發(fā)熱本體,以鎢絲作為發(fā)熱源,經(jīng)熱壓燒結(jié)而成,其發(fā)熱本體的配方如下(重量百分?jǐn)?shù))氮化硅82%93%,三氧化二鋁O.1%5%,三氧化二釔4%8%,氮化鋁3%5%。這種發(fā)熱體彌鵬,爐,繊輔^^m;點(diǎn)i^a^誠,總鵬諧^^m
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種發(fā)熱體導(dǎo)熱性能更好的氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱體。本發(fā)明的技術(shù)方案是由發(fā)熱源及氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱基體經(jīng)熱壓燒結(jié)而成,所述的發(fā)熱源為鎢合金絲或鎢合金印刷導(dǎo)電膜,所述氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱基體由以下組分及重量百分?jǐn)?shù)組成Si美7187.05%,MgAl204:0.756%,Y203:310%,Ta205:0.12%,La203:0.l4%,A1N:1.56%,BN:512%,Ba0:0.15%。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明產(chǎn)品導(dǎo)熱性更好,導(dǎo)熱系數(shù)可提高1117%,耐高溫、熱震性更好,耐腐蝕,強(qiáng)度高,壽命長,使用安全可靠。具體實(shí)施例方式實(shí)施例1-4:(1)原料的配制按表1的量比稱配料,經(jīng)振動(dòng)磨球磨8小時(shí),卸料、過篩、恒溫烘烤,和蠟制成蠟餅,密封保存。(2)素坯制備按發(fā)熱體外形要求加工金屬模具,采用熱壓鑄制備素坯。(2)燒結(jié)制備好的素坯裝模,裝爐、脫蠟、在流動(dòng)氮?dú)獗Wo(hù)下熱壓,勻速升溫,燒成溫度為1720土3。C;同時(shí)壓力也緩慢增加,壓力控制在200—250kg/cm2。達(dá)到燒成溫度后恒溫、恒壓l小時(shí),隨后降溫保壓至1550'C時(shí)斷電停爐。在斷電停爐后2.5小時(shí)至3小時(shí)出爐脫模,初檢、送檢,進(jìn)下一工序。四個(gè)實(shí)施例的產(chǎn)品測(cè)出的導(dǎo)熱系數(shù)列于表1中表1四個(gè)實(shí)施例發(fā)熱本體配方(wt%)及產(chǎn)品導(dǎo)熱系數(shù)<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>說明產(chǎn)品導(dǎo)熱系數(shù)采用HOTDISK熱常數(shù)分析儀測(cè)試,測(cè)試室溫25。C。權(quán)利要求1.一種氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱體,其特征在于,由發(fā)熱源及氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱基體經(jīng)熱壓燒結(jié)而成,所述的發(fā)熱源為鎢合金絲或鎢合金印刷導(dǎo)電膜,所述氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱基體由以下組分及重量百分?jǐn)?shù)組成Si3N471~87.05%,MgAl2O40.75~6%,Y2O33~10%,Ta2O50.1~2%,La2O30.1~4%,AlN1.5~6%,BN5~12%,BaO0.1~5%。全文摘要本發(fā)明公開了一種氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱體。由發(fā)熱源及氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱基體經(jīng)熱壓燒結(jié)而成,所述的發(fā)熱源為鎢合金絲或鎢合金印刷導(dǎo)電膜,所述氮化硅復(fù)合陶瓷發(fā)熱基體由以下組分及重量百分?jǐn)?shù)組成Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>71~87.05%,MgAl<sub>2</sub>O<sub>4</sub>0.75~6%,Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>3~10%,Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>0.1~2%,La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>0.1~4%,AlN1.5~6%,BN5~12%,BaO0.1~5%。本發(fā)明產(chǎn)品導(dǎo)熱性更好,導(dǎo)熱系數(shù)可提高11~17%,耐高溫、熱震性更好,耐腐蝕,強(qiáng)度高,壽命長,使用安全可靠。文檔編號(hào)C04B35/584GK101318822SQ200810031670公開日2008年12月10日申請(qǐng)日期2008年7月4日優(yōu)先權(quán)日2008年7月4日發(fā)明者胡鐵武申請(qǐng)人:冷水江市明玉陶瓷工具有限責(zé)任公司
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