專利名稱：劃線裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種劃線裝置，該裝置可以在由玻璃、半導(dǎo)體等脆性材料 構(gòu)成的工件上刻上劃線。
背景技術(shù)：
作為切斷由脆性材料構(gòu)成的工件的方法，己知有例如送入旋轉(zhuǎn)刀輪切 斷為斑點(diǎn)狀的劃片法、及在工件表面上用刀具刻上斑點(diǎn)狀劃線、其后沿劃 線對(duì)工件施加彎曲荷載而切斷工件的劃線法。作為在工件上刻上劃線的劃線裝置，提出了在工件上壓緊算盤珠狀的 可旋轉(zhuǎn)的刀具，用刀具邊給工件加壓邊轉(zhuǎn)動(dòng)刀具、在工件表面刻上劃線的 劃線裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)，及在刀具上邊使其振動(dòng)邊移動(dòng)刀具在工 件表面刻上劃線的劃線裝置。專利文獻(xiàn)1:日本特開2003-212578號(hào)公報(bào)； 專利文獻(xiàn)2:日本特開平10-101967號(hào)公報(bào)。發(fā)明內(nèi)容無論哪種的劃線裝置，都需要在用刀具在工件表面刻上劃線之前，使 刀具下降而載置于工件表面。但是，在刀具下降中，探測刀具與工件表面接觸的狀態(tài)(所謂的零點(diǎn) 位置)，在零點(diǎn)位置停止刀具的下降的動(dòng)作僅用決定刀具的高大的粗動(dòng)機(jī) 構(gòu)是困難的。因此，本發(fā)明提供一種將粗動(dòng)機(jī)構(gòu)和微動(dòng)機(jī)構(gòu)巧妙地配合、 在零點(diǎn)位置能夠準(zhǔn)確地停止刀具的劃線裝置。另外，當(dāng)對(duì)粗動(dòng)機(jī)構(gòu)和微動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置第一及第二直動(dòng)導(dǎo)軌時(shí)，部 件數(shù)量也變多，容易導(dǎo)致劃線裝置大型化。因此，本發(fā)明的另一個(gè)目的在 于，提供使整體裝置能夠緊湊的劃線裝置。下面，就本發(fā)明進(jìn)行說明，需要說明的是，為了便于理解本發(fā)明，加
上寫在括弧里的附圖的參照號(hào)碼，而本發(fā)明不限于圖示的形式。為解決上述問題，本發(fā)明第一方面提供一種劃線裝置，在工件1上刻 上劃線，其特征在于，具備:可平行于工件1的表面進(jìn)行移動(dòng)的基座3、相對(duì)于所述基座3上升下降的移動(dòng)臺(tái)4、在下端設(shè)置用于在所述工件1上 刻上劃線的刀具2且與所述移動(dòng)臺(tái)4 一起上升下降的頭部6、引導(dǎo)所述移 動(dòng)臺(tái)4上升下降的第一直動(dòng)導(dǎo)軌8、 9、引導(dǎo)所述頭部6上升下降的第二直 動(dòng)導(dǎo)軌8、 10，在所述移動(dòng)臺(tái)4及所述頭部6的下降中，即使所述刀具2 接觸所述工件1而使所述頭部6的下降停止，也能夠容許所述移動(dòng)臺(tái)4稍 微下降。本發(fā)明第二方面提供一種劃線裝置，在工件1上刻上劃線，其特征在 于，具備可平行于工件1的表面進(jìn)行移動(dòng)的基座3、相對(duì)于所述基座3 上升下降的移動(dòng)臺(tái)4、在下端設(shè)置用于在所述工件1上刻上劃線的刀具2 且與所述移動(dòng)臺(tái)4 一起上升下降的頭部6、設(shè)置于所述基座3上的共用軌 道梁8、可滑動(dòng)地配置于所述共用軌道梁8上且引導(dǎo)所述移動(dòng)臺(tái)上升下降 的第一移動(dòng)塊9、可滑動(dòng)地配置于所述共用軌道梁8上且引導(dǎo)所述頭部6 上升下降的第二移動(dòng)塊IO，在所述移動(dòng)臺(tái)4及所述頭部6的下降中，即使 所述刀具2接觸所述工件1而使所述頭部6的下降停止，也能夠容許所述 移動(dòng)臺(tái)4稍微下降。本發(fā)明第三方面在第二方面的基礎(chǔ)上，提供一種劃線裝置，其特征在 于，所述頭部6具有安裝于所述第二移動(dòng)塊10上的頭部主體18、保持 所述刀具2的保持架30、容納于所述頭部主體18且使所述保持架30振動(dòng) 的促動(dòng)器28，所述劃線裝置還具備可滑動(dòng)地配置于所述共用軌道梁8上且 引導(dǎo)所述保持架30振動(dòng)的第三移動(dòng)塊。本發(fā)明第四方面在第二或第三方面的基礎(chǔ)上，提供一種劃線裝置，其 特征在于，所述劃線裝置還具備對(duì)從刀具2向所述工件1施加的壓力進(jìn)行 調(diào)節(jié)的氣缸21，在所述移動(dòng)臺(tái)4上安裝所述氣缸21的氣缸主體21a，在 所述頭部6連接有從氣缸主體21a伸縮的連桿21b。本發(fā)明第五方面在第二 第四方面中任一方面的基礎(chǔ)上，提供一種劃 線裝置，其特征在于，所述劃線裝置還具備跨所述移動(dòng)臺(tái)4和所述頭部6 之間設(shè)置且降低所述頭部6自重的彈簧27。
根據(jù)本發(fā)明第一方面，可使向工件下降的頭部在刀具接觸工件的位置 (零點(diǎn)位置)能夠準(zhǔn)確地停止。根據(jù)本發(fā)明第二方面，由于引導(dǎo)移動(dòng)臺(tái)上升下降的第一移動(dòng)塊、引導(dǎo) 頭部上升下降的第二移動(dòng)塊配置于共用軌道梁上，故能夠使裝置緊湊。而 且能夠減少部件數(shù)量。根據(jù)本發(fā)明第三方面，由于引導(dǎo)保持架振動(dòng)的第三移動(dòng)塊也配置于共 用軌道梁上，故能夠進(jìn)一步地使裝置緊湊，并且能減少部件數(shù)量。根據(jù)本發(fā)明第四方面，通過調(diào)節(jié)施加于氣缸的氣壓，能夠控制從刀具 施加到工件上的壓力。根據(jù)本發(fā)明第五方面，能夠降低從刀具施加在工件上壓力中的頭部的 自重量。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的劃線裝置的側(cè)視圖(包含一部分剖面圖)； 圖2是所述劃線裝置的主視圖；圖3是表示跨設(shè)于移動(dòng)臺(tái)和頭部之間的彈簧的側(cè)視圖；圖4是直動(dòng)導(dǎo)軌的主視5是直動(dòng)導(dǎo)軌的側(cè)視圖。符號(hào)說明1、 工件2、 刀具3、 基座4、 移動(dòng)臺(tái) 6、頭部8、共用軌道梁 9,10，11、移動(dòng)塊 8，9、第一直動(dòng)導(dǎo)軌 8,10、第二直動(dòng)導(dǎo)軌 18、頭部主體 21氣缸21a氣缸主體 21b、連桿27、 彈簧28、 促動(dòng)器 30、保持架具體實(shí)施方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明一實(shí)施例的劃線裝置進(jìn)行說明。在各圖中同 一機(jī)械要素附以同一符號(hào)。圖l表示劃線裝置的側(cè)視圖，圖2表示劃線裝置的主視圖。劃線裝置 為用于在玻璃、半導(dǎo)體、陶瓷等脆性材料構(gòu)成的薄板狀的工件表面上刻上 劃線的裝置。在劃線裝置的工件工作臺(tái)7的上面，通過真空吸附或夾具固 定工件1。在工件1的表面壓緊刀具2，當(dāng)使該刀具2沿工件1的表面水 平方向移動(dòng)時(shí)，在工件1的表面上刻上劃線。劃線為形成于工件1的表層 的垂直裂縫沿工件1的表面?zhèn)鞑サ膭澗€。劃線裝置大的被劃分為不使刀具振動(dòng)的類型和使刀具振動(dòng)的類型。在 以下的實(shí)施例中，就使刀具振動(dòng)的類型的劃線裝置進(jìn)行說明。當(dāng)然，本發(fā) 明也可以適用于不使刀具振動(dòng)的類型的劃線裝置。劃線裝置具備平行于工件l地沿水平方向(XY軸方向)移動(dòng)的基 座3、相對(duì)于基座3在Z軸方向上升下降的移動(dòng)臺(tái)4、和移動(dòng)臺(tái)4一起在 Z軸方向上升下降的頭部6。在頭部6的下端設(shè)置輪形或者金剛石片形的 刀具2。在刀具2上，例如使用形成算盤珠狀的輪形工具、或者形成將四 角錐、三角錐、或者三角錐的前端作成平的形狀的金剛石工具。例如，在 工件1為半導(dǎo)體晶片時(shí)使用金剛石工具，在工件1為玻璃時(shí)使用形成為算 盤珠狀的輪形工具。基座3與XY軸工作臺(tái)5結(jié)合。XY軸工作臺(tái)5通過未圖示的XY軸 移動(dòng)機(jī)構(gòu)在水平方向移動(dòng)。XY軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有電動(dòng)機(jī)滾珠絲杠結(jié)構(gòu)、線 性電動(dòng)機(jī)作為驅(qū)動(dòng)源，另外，具有引導(dǎo)XY軸工作臺(tái)5滑動(dòng)的XY軸直動(dòng) 導(dǎo)軌12。在工件工作臺(tái)7側(cè)設(shè)置有X軸或Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)，XY軸工作 臺(tái)5側(cè)可以為X軸或Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的任一個(gè)。將XY軸工作臺(tái)5在工件
工作臺(tái)7上平行地在水平方向移動(dòng)，由此能夠在工件1的表面刻上在水平方向延伸的劃線。在基座3上設(shè)置在Z軸方向上升下降的移動(dòng)臺(tái)4。在基座3上安裝沿 Z軸方向延伸的共用軌道梁8。該共用軌道梁8上可滑動(dòng)地配置第一移動(dòng) 塊9。在第一移動(dòng)塊9上安裝移動(dòng)臺(tái)4。由這些共用軌道梁8及第一移動(dòng) 塊9構(gòu)成的第一直動(dòng)導(dǎo)軌相對(duì)于基座3引導(dǎo)移動(dòng)臺(tái)4在Z軸方向滑動(dòng)。移動(dòng)臺(tái)4連接于由Z軸電動(dòng)機(jī)13及滾珠絲杠機(jī)構(gòu)14、 15構(gòu)成的Z軸 移動(dòng)機(jī)構(gòu)16，沿Z軸方向被驅(qū)動(dòng)。當(dāng)Z軸電動(dòng)機(jī)13旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)時(shí)，絲杠軸 14旋轉(zhuǎn)，擰合于絲杠軸14的螺母15以及與螺母15結(jié)合的移動(dòng)臺(tái)4在絲 杠軸14的軸線方向移動(dòng)。另外，在基座3上設(shè)置與移動(dòng)臺(tái)4 一起在Z軸方向上升下降的頭部6， 并可確保頭部6可滑動(dòng)。在共用軌道梁8上配置第二移動(dòng)塊10，并可確保 第二移動(dòng)塊10滑動(dòng)。在第二移動(dòng)塊10上安裝頭部6 (準(zhǔn)確地說是頭部主 體18)。由這些共用軌道梁8及第二移動(dòng)塊10構(gòu)成的第二直動(dòng)導(dǎo)軌相對(duì)于 基座3引導(dǎo)頭部6在Z軸方向滑動(dòng)。頭部6的構(gòu)造后面敘述。在移動(dòng)臺(tái)4上安裝氣缸21的筒狀的氣缸主體21a，且將連桿21b朝向 Z軸方向安裝。在氣缸21的連桿21b的前端，通過測力傳感器等傳感器、 或者觸點(diǎn)開關(guān)等開關(guān)22安裝Z加壓軸23。該Z加壓軸23貫穿固定于移 動(dòng)臺(tái)4上的抵接板24。當(dāng)自氣缸主體21a將連桿21b伸長規(guī)定量以上時(shí)， Z加壓軸23的上部的大直徑部23a與抵接板24的上面當(dāng)接，限制連桿21b 的伸展量。在第二移動(dòng)塊10上安裝頭部主體18，同時(shí)在其上部安裝托架 25，在該托架25上連接加壓軸23。由此，氣缸21的連桿21b與頭部主體 18連接。在刀具2與工件1接觸的狀態(tài)下，使氣缸21工作時(shí)，由刀具2向工 件1施加壓力。在刻上劃線的期間，將該壓力保持一定。利用程序電操作 連接于氣缸21的電動(dòng)空氣調(diào)節(jié)器，控制由電動(dòng)空氣調(diào)節(jié)器供給氣缸的氣 壓，進(jìn)而控制由刀具2向工件1增加的壓力。如圖3所示，跨移動(dòng)臺(tái)4和托架25之間設(shè)置作為彈簧的拉伸螺旋彈 簧27。該彈簧27的拉力以保持頭部6的自重的方式作用，降低由刀具2 向工件1施加的壓力中的頭部6的自重。狀的頭部主體18內(nèi)設(shè)置產(chǎn)生振動(dòng)的促動(dòng)器 28。促動(dòng)器28例如使用當(dāng)施加外部電場時(shí)產(chǎn)生變形的壓電元件(壓電促 動(dòng)器)。當(dāng)使施加在壓電元件上的電壓以規(guī)定的頻率變化時(shí)，壓電元件周 期性地伸縮。另外，作為促動(dòng)器28有時(shí)也使用當(dāng)施加磁場時(shí)在磁性體上 產(chǎn)生變形的超磁變形元件等磁性材料。當(dāng)使施加于超磁變形元件上的磁場 以規(guī)定的頻率變化時(shí)，超磁變形元件周期性地伸縮。促動(dòng)器28在上下方向上被一對(duì)促動(dòng)器導(dǎo)軌29a、 29b挾持。上方的促 動(dòng)器導(dǎo)軌29a安裝于第二移動(dòng)塊10上，下方的促動(dòng)器導(dǎo)軌29b安裝于第 三移動(dòng)塊ll上。該第三移動(dòng)塊11可滑動(dòng)地配置于共用軌道梁8上。在第 三移動(dòng)塊11上安裝保持刀具2的保持架30。由這些共用軌道梁8及第三移動(dòng)塊11構(gòu)成的第三直動(dòng)導(dǎo)軌引導(dǎo)保持 架30在Z軸方向上振動(dòng)。當(dāng)氣缸21工作時(shí)，頭部主體18側(cè)的位置難以 變化。因此，當(dāng)使促動(dòng)器28伸縮時(shí)，不僅頭部主體18側(cè)振動(dòng)，而且保持 架30側(cè)也振動(dòng)。第三導(dǎo)軌引導(dǎo)該保持架30的Z軸方向的振動(dòng)。使刀具2振動(dòng)的促動(dòng)器28沿Z軸方向伸縮，但不僅在Z軸方向而且 在任一XY軸方向都伸縮。當(dāng)?shù)毒?沿XY軸方向振動(dòng)時(shí)，對(duì)在工件l上 形成的劃線造成不良影響。為了在Z軸方向上矯正促動(dòng)器28的振動(dòng)，用 第三移動(dòng)塊11引導(dǎo)保持架30在Z軸方向上振動(dòng)。在下方的促動(dòng)器導(dǎo)軌29b和頭部主體18之間設(shè)置將促動(dòng)器導(dǎo)軌29b 向促動(dòng)器28施力的碟形板簧31。當(dāng)使擰合于頭部主體18的下部的螺栓 32旋轉(zhuǎn)，使該螺栓32上下動(dòng)時(shí)，板簧31的彎曲量被調(diào)節(jié)。由此，由一對(duì) 促動(dòng)器導(dǎo)軌29a、 29b夾著促動(dòng)器28的壓力(即預(yù)壓)被調(diào)節(jié)。通過給予 促動(dòng)器28預(yù)壓，可使保持架30的振動(dòng)追隨促動(dòng)器28的伸縮。圖4及圖5表示由共用軌道梁8及第一 第三的移動(dòng)塊9、 10、 11構(gòu) 成的直動(dòng)軌道。圖4表示直動(dòng)軌道的主視圖，圖5表示直動(dòng)軌道的側(cè)視圖。 移動(dòng)塊9、 10、 ll經(jīng)由作為多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體的球滑動(dòng)自如地組裝在共用軌道梁 8上。作為轉(zhuǎn)動(dòng)體，也使用滾輪作為球的替代物。共用軌道梁8以剖面為扁平的四角形狀細(xì)長地延伸。在共用軌道梁8 的上面的左右緣、以及左右側(cè)面上，形成沿長度方向延伸的多條球滾動(dòng)槽 8a。
移動(dòng)塊9、 10、 ll形成為鞍狀，具備與共用軌道梁8的上面對(duì)置的中 央部31、從中央部31左右兩側(cè)向下方延伸且與共用軌道梁8的左右側(cè)面 對(duì)置的側(cè)壁部32。在移動(dòng)塊9、 10、 11的中央部31的底面及側(cè)壁部32的 內(nèi)側(cè)形成與共用軌道梁8的球滾動(dòng)槽8a對(duì)置的多條負(fù)荷球滾動(dòng)槽31a。在球滾動(dòng)槽8a和負(fù)荷球滾動(dòng)槽31a之間排列多個(gè)球。當(dāng)相對(duì)于共用 軌道梁8使移動(dòng)塊9、 10、 11滑動(dòng)時(shí)，多個(gè)球在球滾動(dòng)槽8a和負(fù)荷球滾 動(dòng)槽31a之間邊承受載重邊滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)。滾動(dòng)到移動(dòng)塊9、 10、 11的負(fù)荷球滾動(dòng)槽31a的一端的球在經(jīng)由底板 33內(nèi)的U字狀的方向轉(zhuǎn)換通路后，進(jìn)入負(fù)荷球滾動(dòng)槽31a和平行延伸的 無負(fù)荷球返回通路。通過無負(fù)荷球返回通路的球在經(jīng)由相反側(cè)的底板33 的方向轉(zhuǎn)換通路后，再進(jìn)入負(fù)荷球滾動(dòng)槽31a。由這些負(fù)荷球滾動(dòng)槽31a、 方向轉(zhuǎn)換通路及無負(fù)荷球返回通路形成環(huán)形的球循環(huán)通路。直動(dòng)導(dǎo)軌除上述的LM導(dǎo)軌(THK公司注冊商標(biāo))以外，還可以使用 滾珠花鍵、滾珠襯套、滑動(dòng)軸承等。其次，基于圖l對(duì)本實(shí)施例的劃線裝置的使用方法進(jìn)行說明。首先， 在劃線裝置的工件工作臺(tái)7的上面載置工件1。其次，利用XY軸移動(dòng)機(jī) 構(gòu)使頭部6在工件1的上方移動(dòng)。然后將Z軸電動(dòng)機(jī)13驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，使移 動(dòng)臺(tái)4及頭部6朝向工件下降。用編碼器36測定Z軸電動(dòng)機(jī)13的旋轉(zhuǎn)角 度，以使其能夠控制移動(dòng)臺(tái)4及頭部6的下降量。當(dāng)頭部6下降，頭部6下端的刀具2接觸工件1時(shí)，頭部6不能再下 降而停止。盡管如此，Z軸電動(dòng)機(jī)13仍不停止旋轉(zhuǎn)，而使移動(dòng)臺(tái)4進(jìn)一 步下降，因此，移動(dòng)臺(tái)4稍微下降而接近頭部6。在抵接板24和托架25 之間空出用于使移動(dòng)臺(tái)4接近頭部6的縫隙。傳感器或者開關(guān)22探測移 動(dòng)臺(tái)4與頭部6接近，向控制裝置傳送信號(hào)。收到來自開關(guān)22的信號(hào)后， 控制裝置停止Z軸電動(dòng)機(jī)13的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，并存儲(chǔ)此時(shí)刀具2的位置為零 點(diǎn)位置。然后，操作者將切入深度及切入壓力及水平方向的刀具的軌跡輸入控 制裝置。根據(jù)設(shè)定的切入壓力，電動(dòng)空氣調(diào)節(jié)器向氣缸21供給空氣?？?到測試切割的情況之后，操作者也可以再次設(shè)定切入壓力。當(dāng)設(shè)定切入深度時(shí)，Z軸電動(dòng)機(jī)13進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)切入深度的量，移動(dòng)
臺(tái)4進(jìn)一步接近頭部6切入深度量。在該狀態(tài)下使氣缸21工作時(shí)，刀具2 進(jìn)入工件1內(nèi)切入深度的量。從刀具2向工件1施加的壓力由設(shè)于從工件1沿水平方向離開的位置 的測力傳感器測定。在測力傳感器上移動(dòng)刀具2后，使刀具2與測力傳感 器接觸，用測力傳感器測定作用于刀具2前端的壓力。需要說明的是，當(dāng) 設(shè)于連桿21b的前端的開關(guān)22的替代物使用測力傳感器時(shí)，測力傳感器 可兼具探測零點(diǎn)的功能和測定從刀具向工件1施加壓力的功能。切入深度、切入壓力、水平方向的刀具軌跡的設(shè)定結(jié)束后，實(shí)際上開 始用刀具2給工件1刻上劃線的作業(yè)。劃線的刻劃作業(yè)有兩種使刀具2 移動(dòng)到從工件1沿水平方向錯(cuò)開的位置，其后，使刀具2向工件1移動(dòng)， 將刀具2放置于工件1上，從工件1的一端刻上劃線的方法；使刀具2直 接接觸工件1的表面，從該位置使刀具2向水平方向移動(dòng)從而刻上劃線的 方法。在前者刻劃方法中，對(duì)切入深度設(shè)定放置前的值和放置后的值。在 工件1的水平方向的外側(cè)的刀具2向工件1移動(dòng)時(shí)，設(shè)定放置前的切入深 度，刀具2以從工作臺(tái)7浮起的狀態(tài)移動(dòng)。刀具2—放置于工件1上后， 就設(shè)定放置后的切入深度，使刀具2在工件1上切割規(guī)定的切入深度的量。 當(dāng)在促動(dòng)器28上施加高頻電場等并使其周期性振動(dòng)，同時(shí)使刀具2沿工 件1的表面移動(dòng)時(shí)，在工件1的表層部刻上垂直裂縫傳播的劃線。在后者 的刻劃方法中，切入深度只設(shè)定放置后的值。而且，使刀具2切割工件1 規(guī)定的切入深度的量，并在促動(dòng)器28上施加高頻電場等使其周期性振動(dòng)， 同時(shí)刀具2沿工件1的表面移動(dòng)。加工一結(jié)束，Z軸電動(dòng)機(jī)13使移動(dòng)臺(tái)4以及頭部6上升。頭部6的 上升高度由位置傳感器37決定。將刻上劃線的工件1從工件工作臺(tái)7卸 下，由未圖示的破碎機(jī)沿劃線切斷。在切斷薄的工件時(shí)，由于只在工件的 表面刻上劃線，有時(shí)形成到達(dá)工件背面的垂直裂縫，所以，有時(shí)也可省略 破碎工序。在由現(xiàn)有的小塊刀具進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的切斷中，存在的問題有，用旋 轉(zhuǎn)刀輪斑點(diǎn)狀切斷半導(dǎo)體晶片時(shí)，有時(shí)半導(dǎo)體晶片上產(chǎn)生熱、或者因去除 體積而產(chǎn)生細(xì)小的粉塵。如本實(shí)施例，若采用在刻上劃線后再進(jìn)行切斷的 方法，則既不會(huì)產(chǎn)生熱，也沒有細(xì)小的粉塵。另外，由于沒有產(chǎn)生熱，故 不必使用冷卻液，在干燥的狀態(tài)下也能夠進(jìn)行加工。需要說明的是，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，在不改變其要點(diǎn)的狀態(tài)下 可對(duì)各種實(shí)施例具體化。例如，也可以將共用軌道梁8沿長度方向分割， 與第一或者第三移動(dòng)塊各移動(dòng)塊相對(duì)應(yīng)地設(shè)置第一或第三的軌道梁。另外，也可以由第三移動(dòng)塊ll的替代物即滾珠花鍵引導(dǎo)保持架30振動(dòng)。該 情況下，保持架30形成為軸狀。在不使刀具2振動(dòng)的類型的劃線裝置中， 當(dāng)然不需要第三移動(dòng)塊ll。進(jìn)一步地，在同時(shí)形成多條劃線時(shí)，有時(shí)也在 一個(gè)劃線裝置上設(shè)置多個(gè)頭部。本說明書基于2005年3月23日申請的日本專利申請2005-084998， 該內(nèi)容全部包含于其中。
權(quán)利要求
1、 一種劃線裝置，其在工件上刻上劃線，該劃線裝置的特征在于， 具備可平行于工件表面移動(dòng)的基座； 相對(duì)于所述基座上升下降的移動(dòng)臺(tái)；在下端設(shè)置用于在所述工件上刻上劃線的刀具、且與所述移動(dòng)臺(tái)一起 上升下降的頭部；引導(dǎo)所述移動(dòng)臺(tái)上升下降的第一直動(dòng)導(dǎo)軌；以及 引導(dǎo)所述頭部上升下降的第二直動(dòng)導(dǎo)軌，其中，在所述移動(dòng)臺(tái)及所述頭部的下降中，即使所述刀具接觸所述工 件而使所述頭部的下降停止，也能夠容許所述移動(dòng)臺(tái)稍微下降。
2、 一種劃線裝置，其在工件上刻上劃線，該劃線裝置的特征在于， 具備可平行于工件表面移動(dòng)的基座； 相對(duì)于所述基座上升下降的移動(dòng)臺(tái)；在下端設(shè)置用于在所述工件上刻上劃線的刀具、且與所述移動(dòng)臺(tái)一起 上升下降的頭部；設(shè)置于所述基座上的共用軌道梁；可滑動(dòng)地配置于所述共用軌道梁上、且引導(dǎo)所述移動(dòng)臺(tái)上升下降的第 一移動(dòng)塊；以及可滑動(dòng)地配置于所述共用軌道梁上、且引導(dǎo)所述頭部上升下降的第二 移動(dòng)塊，其中，在所述移動(dòng)臺(tái)及所述頭部的下降中，即使所述刀具接觸所述工 件而使所述頭部的下降停止，也能夠容許所述移動(dòng)臺(tái)稍微下降。
3、 如權(quán)利要求2所述的劃線裝置，其特征在于， 所述頭部具有安裝于所述第二移動(dòng)塊上的頭部主體、 保持所述刀具的保持架、以及容納于所述頭部主體中并使所述保持架振動(dòng)的促動(dòng)器， 所述劃線裝置還具備可滑動(dòng)地配置于所述共用軌道梁上并引導(dǎo)所述 保持架振動(dòng)的第三移動(dòng)塊。
4、 如權(quán)利要求2或3所述的劃線裝置，其特征在于， 所述劃線裝置還具備對(duì)從所述刀具向所述工件施加的壓力進(jìn)行調(diào)解的氣缸，在所述移動(dòng)臺(tái)上安裝有所述氣缸的氣缸主體， 在所述頭部連接有從所述氣缸主體伸縮的連桿。
5、 如權(quán)利要求2 4中任一項(xiàng)所述的劃線裝置，其特征在于，所述劃 線裝置還具備跨所述移動(dòng)臺(tái)和所述頭部之間設(shè)置并降低所述頭部的自重 的彈簧。
全文摘要
本發(fā)明提供一種劃線裝置，在工件上刻上劃線的劃線裝置中，將粗動(dòng)機(jī)構(gòu)和微動(dòng)機(jī)構(gòu)巧妙地配合，從而能夠在零點(diǎn)位置準(zhǔn)確地停止刀具。本發(fā)明的劃線裝置具備可平行于工件表面移動(dòng)的基座(3)；相對(duì)于基座(3)上升下降的移動(dòng)臺(tái)(4)；在下端設(shè)置用于在工件上刻上劃線的刀具(2)、且與移動(dòng)臺(tái)(4)一起上升下降的頭部(6)；引導(dǎo)移動(dòng)臺(tái)(4)上升下降的第一直動(dòng)導(dǎo)軌(8)、(9)；引導(dǎo)頭部(6)上升下降的第二直動(dòng)導(dǎo)軌(8)、(10)。而且，在移動(dòng)臺(tái)(4)及頭部(6)的下降中，即使刀具(2)接觸工件(1)而使頭部(6)的下降停止，也能夠容許移動(dòng)臺(tái)(4)稍微下降。
文檔編號(hào)B28D5/00GK101146657SQ20068000961
公開日2008年3月19日 申請日期2006年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月23日
發(fā)明者三戶雅德, 岡英夫, 女柳信義, 宍戶善明, 星野京延, 河野貴哉, 羽生明夫 申請人:株式會(huì)社貝爾德克斯;Thk株式會(huì)社