專利名稱：劃片機(jī)水霧清理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種保證劃片機(jī)正常工作用的防護(hù)裝置，特別是一種能夠在工件加工過程中實(shí)現(xiàn)清除所產(chǎn)生的水氣及霧狀物的劃片機(jī)水霧清理裝置。
背景技術(shù)：
砂輪劃片機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的一個(gè)很重要的裝備，主要用于半導(dǎo)體芯片、太陽(yáng)能電池等產(chǎn)品的生產(chǎn)。劃片機(jī)的主軸工作時(shí)刀盤高速旋轉(zhuǎn)，使得噴在刀上的切削油或冷卻液快速霧化，工件也會(huì)產(chǎn)生大量顆粒，會(huì)形成大量的含有多氯聯(lián)苯成分的浮游霧狀物，能引起頭疼和皮膚粗糙、紅腫，這些霧狀物如附著在皮膚上，會(huì)使人感到粘膩不適以及腐蝕皮膚；如附著在地板上，容易使人滑倒，發(fā)生意外傷害事故，其將危害人體健康和帶來安全隱患。劃片機(jī)長(zhǎng)時(shí)間處在水霧中會(huì)使機(jī)器部件上產(chǎn)生污垢層，將腐蝕、降低部件強(qiáng)度和影響使用壽命，這種污垢若覆蓋在刀盤表面，會(huì)使切割的精度下降；污垢若覆蓋在電子元器件上，會(huì)使元器件腐蝕，失靈。這不僅影響機(jī)器的壽命，而且使切割質(zhì)量下降，降低工作效率，提高加工成本。因劃片機(jī)是高精密儀器，故一般都在恒溫室內(nèi)工作，為避免有毒油氣長(zhǎng)時(shí)間的擴(kuò)散，創(chuàng)造舒適工作環(huán)境，延長(zhǎng)機(jī)床設(shè)備壽命和提升生產(chǎn)效率，現(xiàn)代大多的劃片機(jī)都配備了相應(yīng)的油霧吸除裝置。在其他同類產(chǎn)品中多數(shù)是采用排風(fēng)扇直接將潮濕的霧氣排到空氣中或室外。如排在室外，會(huì)造成環(huán)境的污染；如排在室內(nèi)，霧氣不但會(huì)降低室內(nèi)冷氣或暖氣的效果，使得空調(diào)費(fèi)用大幅增加，而且將失去排氣的意義。
目前，國(guó)內(nèi)的工業(yè)冷卻油霧/廢氣凈化裝置一般采用常規(guī)的機(jī)械過濾和靜電吸附等凈化技術(shù)，在廢氣的排放路徑中加入過濾裝置以及吸附器，來消除部分油霧污染，成分主要以活性碳為主。主要是利用多微孔及巨大的表面張力等特性將廢氣中的有機(jī)溶劑吸附，使所排廢氣得到凈化。而靜電吸附裝置是通過靜電吸附器用靜電吸塵的原理來消除氣體中的雜質(zhì)。但是這兩種方法存在較大缺陷如凈化效率底、清洗周期短、維護(hù)成本高、易產(chǎn)生二次污染，更不能降解油霧中的有機(jī)物質(zhì)和異味。而且機(jī)床用吸霧裝置功率大、體積大、噪聲大，價(jià)格也很高。因此不能用于劃片機(jī)工件加工中心的水霧氣吸收、排放。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種劃片機(jī)水霧清理裝置，它結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，使用方便，明顯減少制造和維護(hù)成本，將霧狀物凈化處理、過濾后排到室外，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的水霧危害人體健康和帶來安全隱患的問題，從而減少對(duì)環(huán)境的污染，防止事故的發(fā)生，顯著提高生產(chǎn)效率，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的該裝置包括殼體及組裝殼體的蓋板、進(jìn)、出氣接頭，其技術(shù)要點(diǎn)是所述殼體的進(jìn)、出氣接頭組裝有前、后過濾網(wǎng)，前、后過濾網(wǎng)之間設(shè)置軸流風(fēng)扇，前過濾網(wǎng)與軸流風(fēng)扇之間設(shè)置水霧冷凝板，與殼體底部沉積室連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)。
由于本實(shí)用新型的殼體內(nèi)只設(shè)置前、后過濾網(wǎng)和冷凝板、軸流風(fēng)扇，即可避免有毒油氣擴(kuò)散，改善工作環(huán)境條件，所以它結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，使用方便，明顯減少制造和維護(hù)成本。該裝置能將劃片機(jī)工件加工中心的水霧全部都吸入殼體的氣室內(nèi)，并通過其冷凝板和軸流風(fēng)扇的作用，將水霧經(jīng)冷凝后，使含有多氯聯(lián)苯成分的浮游霧狀物在氣室內(nèi)得以沉積凈化處理，使多氯聯(lián)苯的浮游顆粒隨著形成的冷凝水沉降，由殼體底部的沉積室排出。處理后的余氣中殘存的多氯聯(lián)苯的浮游顆粒，再經(jīng)過后過濾網(wǎng)進(jìn)一步過濾，即可將凈化余氣排出。劃片機(jī)工件加工中心的霧狀物經(jīng)凈化處理、過濾后再排到下水管道中就能有效地解決現(xiàn)有技術(shù)存在的水霧不處理危害人體健康和帶來安全隱患的問題，從而減少對(duì)環(huán)境的污染，防止意外傷害事故的發(fā)生，顯著提高生產(chǎn)效率，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。


圖1是本實(shí)用新型的一種具體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是
圖1沿A-A線的剖視圖。
圖中各序號(hào)說明1進(jìn)氣接頭、2殼體、3前過濾網(wǎng)、4冷凝板、5軸流風(fēng)扇、6蓋板、7出氣接頭、8后過濾網(wǎng)、9下過濾網(wǎng)、10沉積室。
具體實(shí)施方式
根據(jù)
圖1-2詳細(xì)說明本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)。該裝置包括殼體2及組裝殼體2的蓋板6、進(jìn)氣接頭1、出氣接頭7、沉積室等件。其中殼體2的規(guī)格、大小應(yīng)根據(jù)需要安裝在劃片機(jī)箱體內(nèi)，進(jìn)氣接頭7通過軟管與工件加工中心連通，出氣接頭7通過排氣管連接到劃片機(jī)箱體外的下水管道中。進(jìn)氣接頭1、出氣接頭7的通孔端組裝有前過濾網(wǎng)3、后過濾網(wǎng)8。在前過濾網(wǎng)3、后過濾網(wǎng)8之間設(shè)置軸流風(fēng)扇5。前過濾網(wǎng)3與軸流風(fēng)扇5之間設(shè)置水霧冷凝板4，與殼體2底部沉積室10連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)9。沉積室10的下方設(shè)置與下水管道連通的排水管(圖中未示出)。
該裝置工作時(shí)，軸流風(fēng)扇5將工件加工中心的水霧由進(jìn)氣接頭1經(jīng)前過濾網(wǎng)3吸入到殼體2的氣室中。前過濾網(wǎng)3將比較大的粉塵顆粒擋在氣室外面，以防止大的粉塵顆粒進(jìn)入氣室損傷軸流風(fēng)扇5。因在工件加工中心形成的水霧溫度比較高，當(dāng)其進(jìn)入到氣室內(nèi)遇到較低溫的冷凝板4便立即形成冷凝水，使含有多氯聯(lián)苯成分的浮游霧狀物在氣室內(nèi)得以沉積凈化處理，使多氯聯(lián)苯的浮游顆粒隨著形成的冷凝水沉降，經(jīng)底部過濾網(wǎng)9過濾，冷凝水落入沉積室10中由排水管排出，多氯聯(lián)苯顆粒留在網(wǎng)上待統(tǒng)一處理。處理后的余氣中殘存的多氯聯(lián)苯的浮游顆粒，再經(jīng)過后過濾網(wǎng)利用多微孔及巨大的表面張力等特性，將廢氣中的雜質(zhì)進(jìn)一步吸附過濾，由與出氣接頭7連接的排氣管排到下水管道中，以減少對(duì)環(huán)境的污染。
權(quán)利要求1.一種劃片機(jī)水霧清理裝置，包括殼體及組裝殼體的蓋板、進(jìn)、出氣接頭，其特征在于所述殼體的進(jìn)、出氣接頭組裝有前、后過濾網(wǎng)，前、后過濾網(wǎng)之間設(shè)置軸流風(fēng)扇，前過濾網(wǎng)與軸流風(fēng)扇之間設(shè)置水霧冷凝板，與殼體底部沉積室連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)。
專利摘要一種能夠在工件加工過程中實(shí)現(xiàn)清除所產(chǎn)生的水氣及霧狀物的劃片機(jī)水霧清理裝置，它包括殼體及組裝殼體的蓋板、進(jìn)、出氣接頭，其技術(shù)要點(diǎn)是所述殼體的進(jìn)、出氣接頭組裝有前、后過濾網(wǎng)，前、后過濾網(wǎng)之間設(shè)置軸流風(fēng)扇，前過濾網(wǎng)與軸流風(fēng)扇之間設(shè)置水霧冷凝板，與殼體底部沉積室連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)。結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，使用方便，明顯減少制造和維護(hù)成本，將霧狀物凈化處理、過濾后排到室外，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的水霧危害人體健康和帶來安全隱患的問題，從而減少對(duì)環(huán)境的污染，防止事故的發(fā)生，顯著提高生產(chǎn)效率，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
文檔編號(hào)B28D5/02GK2931051SQ20062009191
公開日2007年8月8日 申請(qǐng)日期2006年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月7日
發(fā)明者馬巖, 余胡平, 劉榮才, 周志剛, 李民, 李艷麗, 袁慧珠, 白宇, 張明明, 孫家全, 鞠仁忠 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院