專(zhuān)利名稱(chēng)：玻璃模造用的多層膜模仁的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃模造用的模仁(molding core)，特別是涉及一種玻璃模造用的多層膜(multi layer)模仁。
背景技術(shù)：
近年來(lái)應(yīng)用于玻璃模造用的模仁上常遇到的問(wèn)題，通常是在于無(wú)法取得適當(dāng)?shù)哪Ｈ叔兡げ牧?。形成在模仁基材上的貴金屬(noblemetal)合金膜由于具有化學(xué)惰性，因此，不易與玻璃及模造氣氛中的活性氣體起反應(yīng)。但是在高溫模造長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用下，卻容易因晶粒成長(zhǎng)(grain growth)產(chǎn)生表面粗糙化(roughen)，使得玻璃于模造后無(wú)法符合光學(xué)品質(zhì)的要求。另外，雖然形成于模仁基材上的陶瓷膜(如氮化鉻(CrN)、氮化鉭(TaN)等)的耐高溫性佳且與碳化鎢(tungstencarbide；以下簡(jiǎn)稱(chēng)WC)基材的附著性良好，但于高溫模造應(yīng)用時(shí)，卻容易與玻璃及模造氣氛中的活性氣體起反應(yīng)，導(dǎo)致陶瓷膜表面產(chǎn)生變色或與玻璃間產(chǎn)生粘著。
如圖1所示，日本第05-294642號(hào)專(zhuān)利揭露出一種玻璃模造用的多層膜模仁1。該多層膜模仁1在高溫模造長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用下，可抑制貴金屬合金產(chǎn)生晶粒成長(zhǎng)，亦可解決陶瓷膜表面變色或玻璃粘著等問(wèn)題。該多層膜模仁1包含一由WC所制成的基材11及一形成在該基材11的一表面的多層膜12。
該多層膜12是具有數(shù)種材料為氮化鈦(TiN)的陶瓷層、及數(shù)種材料為鉑銥(Pt-Ir)合金的金屬層，且該等陶瓷層及金屬層是呈相互交錯(cuò)堆疊狀，其中連接于該基材11處的材料為陶瓷層。
上面所提及的玻璃模造用的多層膜模仁1，雖然在高溫模造長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用下，可抑制貴金屬合金產(chǎn)生晶粒成長(zhǎng)，亦可解決陶瓷膜表面變色或玻璃粘著等問(wèn)題，但由于該陶瓷層及金屬層兩種材料間的表面特性差異極大，因此如何提高該陶瓷層及金屬層之間的附著性，是當(dāng)前開(kāi)發(fā)玻璃模造用的多層膜模仁相關(guān)業(yè)者所需克服的一大難題。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是在于提供一種玻璃模造用的多層膜模仁，利用增加陶瓷材料及金屬材料界面間同質(zhì)性的原理，可提高各層之間的附著性，并避免多層膜模仁的表面糙化，以符合玻璃于模造后的光學(xué)品質(zhì)的要求。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于其包含一基材；及一連接于該基材的第一保護(hù)膜，該第一保護(hù)膜由該基材向遠(yuǎn)離該基材的方向依序具有一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層，該金屬層是由一含貴金屬元素的組份(noble metal-containing component)所制成；其中，該第一緩沖層(buffer layer)是具有一陶瓷材料及一貴金屬材料，且該第一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該富含陶瓷側(cè)是連接于該陶瓷層。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于還包含至少一連接于該第一保護(hù)膜的第二保護(hù)膜，該第二保護(hù)膜由該第一保護(hù)膜向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜的方向依序具有一第二緩沖層、一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層，該金屬層是由含上述貴金屬元素的組份所制成，該第二保護(hù)膜的每一緩沖層是具有上述陶瓷材料及貴金屬材料，且每一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該等緩沖層的富含陶瓷側(cè)是分別連接于該等陶瓷層。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于每一陶瓷層是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該含貴金屬元素的組份是包含選自于下列所構(gòu)成的群組中的貴金屬元素銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份還包含一選自于下列所構(gòu)成的群組的高熔點(diǎn)元素鉭、碳、鈦、鉻、鎢及錳。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該高熔點(diǎn)元素是鉭。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該陶瓷材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該貴金屬材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組中的含貴金屬元素的組份所制成銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于包含六至二十層的第二保護(hù)膜，且每一陶瓷層、第一緩沖層、金屬層及第二緩沖層的厚度是介于10nm至30nm。
本發(fā)明還提供一種玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于其包含一基材；一連接于該基材的第一保護(hù)膜，該第一保護(hù)膜由該基材向遠(yuǎn)離該基材的方向依序具有一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層；及至少一連接于該第一保護(hù)膜的第二保護(hù)膜，該第二保護(hù)膜由該第一保護(hù)膜向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜的方向依序具有一第二緩沖層、一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層；其中，每一金屬層是由一含貴金屬元素的組份所制成，每一第一及第二緩沖層是具有一陶瓷材料及一貴金屬材料，且每一第一及第二緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該等第一及第二緩沖層的富含陶瓷側(cè)是分別連接于該等陶瓷層。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于每一陶瓷層是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該含貴金屬元素的組份是包含選自于下列所構(gòu)成的群組中的貴金屬元素銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份還包含一選自于下列所構(gòu)成的群組的高熔點(diǎn)元素鉭、碳、鈦、鉻、鎢及錳。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該高熔點(diǎn)元素是鉭。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該陶瓷材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該貴金屬材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組中的含貴金屬元素的組份所制成銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于包含六至二十層的第二保護(hù)膜，且每一陶瓷層、第一緩沖層、金屬層及第二緩沖層的厚度是介于10nm至30nm。
根據(jù)所述，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁的各具體實(shí)施例具有以下數(shù)項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)一、利用增加陶瓷材料及金屬材料界面間同質(zhì)性的原理，以提高各層之間的附著性，并延長(zhǎng)該模仁的使用壽命。
二、借由每一金屬層厚低于30nm的原理，使得貴金屬內(nèi)部晶粒尺寸低于一預(yù)定成核尺寸，進(jìn)而抑制晶粒成長(zhǎng)，并避免該多層膜模仁的表面產(chǎn)生糙化，以符合玻璃于模造后的光學(xué)品質(zhì)的要求。
三、位于該模仁最上層的金屬層(貴金屬)，由于具有化學(xué)鈍性，不易與玻璃及模造氣氛中的活性氣體起反應(yīng)，因此，不會(huì)有金屬層表面變色或玻璃粘著等問(wèn)題。
四、陶瓷層提供足夠的硬度，借以抵抗因摩擦而產(chǎn)生的損壞，且優(yōu)異的耐熱震(thermal shock)性質(zhì)以提高模仁的膜造次數(shù)。

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明圖1是一側(cè)視示意圖，說(shuō)明一種現(xiàn)有的玻璃模造用的多層膜模仁。
圖2是一側(cè)視示意圖，說(shuō)明本發(fā)明玻璃模造用的多層膜模仁的一圖3是該圖2的局部放大示意圖，說(shuō)明該具體實(shí)施例一中一第二保護(hù)膜的細(xì)部結(jié)構(gòu)。
圖4是一成分比例示意圖，說(shuō)明一第一緩沖層在一施鍍過(guò)程中，一陶瓷材料及一貴金屬材料的濃度梯度的變化。
圖5是一成分比例示意圖，說(shuō)明一第二緩沖層在一施鍍過(guò)程中，一陶瓷材料及一貴金屬材料的濃度梯度的變化。
圖6是一側(cè)視示意圖，說(shuō)明本發(fā)明玻璃模造用的多層膜模仁的一圖7是該圖6的局部放大示意圖，說(shuō)明該具體實(shí)施例二中的第二保護(hù)膜的細(xì)部結(jié)構(gòu)。
圖8是一側(cè)視示意圖，說(shuō)明本發(fā)明玻璃模造用的多層膜模仁的一圖9是該圖8的局部放大示意圖，說(shuō)明該具體實(shí)施例三中的第二保護(hù)膜的細(xì)部結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施方式本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁，包含一基材及一第一保護(hù)膜。
該第一保護(hù)膜是連接于該基材，且該第一保護(hù)膜由該基材向遠(yuǎn)離該基材的方向依序具有一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層，該金屬層是由一含貴金屬元素的組份所制成。
其中，該第一緩沖層是具有一陶瓷材料及一貴金屬材料，且該第一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該富含陶瓷側(cè)是連接于該陶瓷層。
較佳地，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁更包含至少一連接于該第一保護(hù)膜的第二保護(hù)膜。該第二保護(hù)膜由該第一保護(hù)膜向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜的方向依序具有一第二緩沖層、一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層。該金屬層是由前面所提及的含貴金屬元素的組份所制成。該第二保護(hù)膜的每一緩沖層是具有前面所提及的陶瓷材料及貴金屬材料，且每一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該第二保護(hù)膜的每一緩沖層的富含陶瓷側(cè)是分別連接于該等陶瓷層。
適用于本發(fā)明的每一陶瓷層是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物(nitride)、碳化物(carbide)及硼化物(boride)。
在一較佳具體例中，該化合物是一氮化物，且該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻(TiCrN)、氮化鈦鋁(TiAlN)、氮化鉻(CrN)、氮化鉭(TaN)、氮化鈦(TiN)及氮化鋁(AlN)。在一具體實(shí)施例中，該氮化物是由氮化鈦鉻所制成。
在另一較佳具體例中，該化合物是一碳化物，且該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦(TiC)、碳化鉻(Cr2C3)、碳化鋯(ZrC)、碳化鈮(NbC)及碳化鉭(TaC)。在一具體實(shí)施例中，該碳化物是由碳化鈦所制成。
適用于本發(fā)明的含貴金屬元素的組份是包含有選自于下列所構(gòu)成的群組中的貴金屬元素銥、錸(Re)、釕(Ru)、銠(Rh)、鉑、鋨(Os)及此等的一組合。在一具體實(shí)施例中，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。在另一具體實(shí)施例中，該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
較佳地，該含貴金屬元素的組份更包含一選自于下列所構(gòu)成的群組的高熔點(diǎn)(melting point)元素鉭、碳、鈦、鉻、鎢及錳(Mn)。在一具體實(shí)施例中，該高熔點(diǎn)元素是鉭(以下簡(jiǎn)稱(chēng)Ta)。
適用于本發(fā)明的該等緩沖層的陶瓷材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物。適用于本發(fā)明的該等緩沖層的貴金屬材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組中的含貴金屬元素的組份所制成銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
較佳地，用于該等緩沖層的化合物是一氮化物，且該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁。在一具體實(shí)施例中，用于該等緩沖層的氮化物是由氮化鈦鉻(以下簡(jiǎn)稱(chēng)TiCrN)所制成，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
較佳地，用于該等緩沖層的化合物是一碳化物，且該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦(TiC)、碳化鉻(Cr2C3)、碳化鋯(ZrC)、碳化鈮(NbC)及碳化鉭(TaC)。在一具體實(shí)施例中，用于該等緩沖層的碳化物是由碳化鈦所制成，該含貴金屬元素的組份包含銥及釕(以下簡(jiǎn)稱(chēng)Ir-Ru)。在另一具體實(shí)施例中，用于該等緩沖層的碳化物是由碳化鈦(以下簡(jiǎn)稱(chēng)TiC)所制成，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸(以下簡(jiǎn)稱(chēng)Ir-Re)。
較佳地，該玻璃模造用的多層膜模仁是包含六至二十層的第二保護(hù)膜，且每一陶瓷層、第一緩沖層、金屬層及第二緩沖層的厚度是介于10nm至30nm。
<具體實(shí)施例一>
參閱圖2與圖3，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁的一具體實(shí)施例一，包含一WC基材2、一連接于該基材2的第一保護(hù)膜3及數(shù)個(gè)第二保護(hù)膜4。
該第一保護(hù)膜3由該基材2向遠(yuǎn)離該基材2的方向依序具有一材料為T(mén)iCrN的陶瓷層311、一材料為T(mén)iCrN-Ir-Re的第一緩沖層312，及一材料為Ir-Re的金屬層313。
每一第二保護(hù)膜4由靠近該第一保護(hù)膜3的位置向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜3的方向依序具有一材料為Ir-Re-TiCrN的第二緩沖層411、一材料為T(mén)iCrN的陶瓷層412、一材料為T(mén)iCrN-Ir-Re的第一緩沖層413，及一材料為Ir-Re的金屬層414。
值得一提的是，本發(fā)明的每一緩沖層312、411、413是利用共濺鍍(co-sputtering)法，在施鍍過(guò)程中調(diào)節(jié)設(shè)置在一陰極上的一陶瓷靶材及一金屬靶材的功率，以使得該陶瓷材料相對(duì)該金屬材料(貴金屬)的鍍率，在施鍍時(shí)間上呈一漸進(jìn)式的濃度梯度(gradient)的變化(如圖4及圖5所示)。使每一緩沖層312、411、413具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，且該第一緩沖層312的富含陶瓷側(cè)是連接于該陶瓷層311，每一第一及第二緩沖層413、411的富含陶瓷側(cè)是連接于每一陶瓷層412。由此，利用增加不同材料界面(interface)間的同質(zhì)性(coherence)的原理，來(lái)提高兩種材料之間的附著性。
在該具體實(shí)施例一中，各層的層厚是介于10～30nm，且該第一保護(hù)膜3及該等第二保護(hù)膜4的總厚度是低于1μm。利用每一金屬層313、414層厚低于30nm的原理，使得Ir-Re貴金屬內(nèi)部晶粒尺寸低于一預(yù)定成核(nucleation)尺寸，進(jìn)而抑制晶粒成長(zhǎng)，并避免該多層膜模仁的表面產(chǎn)生糙化，以符合玻璃于模造后的光學(xué)品質(zhì)的要求。
<具體實(shí)施例二>
參閱圖6與圖7，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁的一具體實(shí)施例二，大致上是與該具體實(shí)施例一相同，其不同處在于該第一及第二保護(hù)膜3、4。
該第一保護(hù)膜3由該基材2向遠(yuǎn)離該基材2的方向依序具有一材料為T(mén)iC的陶瓷層321、一材料為T(mén)iC-Ir-Ru的第一緩沖層322，及一材料為Ir-Ru的金屬層323。
每一第二保護(hù)膜4由靠近該第一保護(hù)膜3的位置向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜3的方向依序具有一材料為Ir-Ru-TiC的第二緩沖層421、一材料為T(mén)iC的陶瓷層422、一材料為T(mén)iC-Ir-Ru的第一緩沖層423，及一材料為Ir-Ru的金屬層424。
<具體實(shí)施例三>
參閱圖8與圖9，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁的一具體實(shí)施例三，大致上是與該具體實(shí)施例一相同，其不同處在于該第一及第二保護(hù)膜3、4。
該第一保護(hù)膜3由該基材2向遠(yuǎn)離該基材2的方向依序具有一材料為T(mén)iC的陶瓷層331、一材料為T(mén)iC-Ir-Re的第一緩沖層332，及一材料為Ir-Re-Ta的金屬層333。
每一第二保護(hù)膜4由靠近該第一保護(hù)膜3的位置向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜3的方向依序具有一材料為Ir-Re-TiC的第二緩沖層431、一材料為T(mén)iC的陶瓷層432、一材料為T(mén)iC-Ir-Re的第一緩沖層433，及一材料為Ir-Re-Ta的金屬層434。
值得一提的是，于該具體實(shí)施例三中的每一金屬層333、434加入高熔點(diǎn)元素Ta的目的，在于利用Ta原子在晶界(grain boundary)處牽制晶界合并，借以避免晶粒經(jīng)由晶界合并而產(chǎn)生晶粒成長(zhǎng)。
由上所述，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁的各具體實(shí)施例具有以下數(shù)項(xiàng)特點(diǎn)一、利用增加陶瓷材料及金屬材料界面間同質(zhì)性的原理，以提高各層之間的附著性，并延長(zhǎng)該模仁的使用壽命。
二、借由每一金屬層313、323、333、414、424、434層厚低于30nm的原理，使得貴金屬內(nèi)部晶粒尺寸低于一預(yù)定成核尺寸，進(jìn)而抑制晶粒成長(zhǎng)，并避免該多層膜模仁的表面產(chǎn)生糙化，以符合玻璃于模造后的光學(xué)品質(zhì)的要求。
三、位于該模仁最上層的金屬層(貴金屬)，由于具有化學(xué)鈍性，不易與玻璃及模造氣氛中的活性氣體起反應(yīng)，因此，不會(huì)有金屬層表面變色或玻璃粘著等問(wèn)題。
四、陶瓷層提供足夠的硬度，借以抵抗因摩擦而產(chǎn)生的損壞，且優(yōu)異的耐熱震(thermal shock)性質(zhì)以提高模仁的膜造次數(shù)。
歸納上述，本發(fā)明的玻璃模造用的多層膜模仁具有各層之間附著性佳、符合玻璃于模造后的光學(xué)品質(zhì)的要求、模仁的使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，所以確實(shí)能達(dá)到本發(fā)明的目的。
權(quán)利要求
1.一種玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于其包含一基材；及一連接于該基材的第一保護(hù)膜，該第一保護(hù)膜由該基材向遠(yuǎn)離該基材的方向依序具有一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層，該金屬層是由一含貴金屬元素的組份所制成；其中，該第一緩沖層是具有一陶瓷材料及一貴金屬材料，且該第一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該富含陶瓷側(cè)是連接于該陶瓷層。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于還包含至少一連接于該第一保護(hù)膜的第二保護(hù)膜，該第二保護(hù)膜由該第一保護(hù)膜向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜的方向依序具有一第二緩沖層、一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層，該金屬層是由含上述貴金屬元素的組份所制成，該第二保護(hù)膜的每一緩沖層是具有上述陶瓷材料及貴金屬材料，且每一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該緩沖層的富含陶瓷側(cè)是分別連接于該等陶瓷層。
3.如權(quán)利要求2所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于每一陶瓷層是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該含貴金屬元素的組份是包含選自于下列所構(gòu)成的群組中的貴金屬元素銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁。
5.如權(quán)利要求3所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭。
6.如權(quán)利要求3所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
7.如權(quán)利要求3所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
8.如權(quán)利要求6所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份還包含一選自于下列所構(gòu)成的群組的高熔點(diǎn)元素鉭、碳、鈦、鉻、鎢及錳。
9.如權(quán)利要求8所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該高熔點(diǎn)元素是鉭。
10.如權(quán)利要求2所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該陶瓷材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該貴金屬材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組中的含貴金屬元素的組份所制成銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
11.如權(quán)利要求10所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
12.如權(quán)利要求10所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
13.如權(quán)利要求10所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
14.如權(quán)利要求2所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于包含六至二十層的第二保護(hù)膜，且每一陶瓷層、第一緩沖層、金屬層及第二緩沖層的厚度是介于10nm至30nm。
15.一種玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于其包含一基材；一連接于該基材的第一保護(hù)膜，該第一保護(hù)膜由該基材向遠(yuǎn)離該基材的方向依序具有一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層；及至少一連接于該第一保護(hù)膜的第二保護(hù)膜，該第二保護(hù)膜由該第一保護(hù)膜向遠(yuǎn)離該第一保護(hù)膜的方向依序具有一第二緩沖層、一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層；其中，每一金屬層是由一含貴金屬元素的組份所制成，每一第一及第二緩沖層是具有一陶瓷材料及一貴金屬材料，且每一第一及第二緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該等第一及第二緩沖層的富含陶瓷側(cè)是分別連接于該等陶瓷層。
16.如權(quán)利要求15所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于每一陶瓷層是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該含貴金屬元素的組份是包含選自于下列所構(gòu)成的群組中的貴金屬元素銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
17.如權(quán)利要求16所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁。
18.如權(quán)利要求16所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭。
19.如權(quán)利要求16所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
20.如權(quán)利要求16所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
21.如權(quán)利要求19所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該含貴金屬元素的組份還包含一選自于下列所構(gòu)成的群組的高熔點(diǎn)元素鉭、碳、鈦、鉻、鎢及錳。
22.如權(quán)利要求21所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該高熔點(diǎn)元素是鉭。
23.如權(quán)利要求15所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該陶瓷材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的化合物所制成氮化物、碳化物及硼化物；該貴金屬材料是由一選自于下列所構(gòu)成的群組中的含貴金屬元素的組份所制成銥、錸、釕、銠、鉑、鋨及此等的一組合。
24.如權(quán)利要求23所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一氮化物，該氮化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的氮化物所制成氮化鈦鉻、氮化鈦鋁、氮化鉻、氮化鉭、氮化鈦及氮化鋁，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
25.如權(quán)利要求23所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及釕。
26.如權(quán)利要求23所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于該化合物是一碳化物，該碳化物是由一選自于下列所構(gòu)成的群組的碳化物所制成碳化鈦、碳化鉻、碳化鋯、碳化鈮及碳化鉭，該含貴金屬元素的組份包含銥及錸。
27.如權(quán)利要求15所述的玻璃模造用的多層膜模仁，其特征在于包含六至二十層的第二保護(hù)膜，且每一陶瓷層、第一緩沖層、金屬層及第二緩沖層的厚度是介于10nm至30nm。
全文摘要
一種玻璃模造用的多層膜模仁，其包含一基材；及一連接于該基材的第一保護(hù)膜，該第一保護(hù)膜由該基材向遠(yuǎn)離該基材的方向依序具有一陶瓷層、一第一緩沖層及一金屬層，該金屬層是由一含貴金屬元素的組份所制成；其中，該第一緩沖層是具有一陶瓷材料及一貴金屬材料，且該第一緩沖層具有一富含陶瓷側(cè)及一相反于該富含陶瓷側(cè)的富含貴金屬側(cè)，該富含陶瓷側(cè)是連接于該陶瓷層。本發(fā)明利用增加陶瓷材料及金屬材料界面間同質(zhì)性的原理，可提高各層之間的附著性。
文檔編號(hào)C03B11/06GK1669963SQ200410030418
公開(kāi)日2005年9月21日 申請(qǐng)日期2004年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月15日
發(fā)明者白瑞芬 申請(qǐng)人:亞洲光學(xué)股份有限公司