專利名稱：晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)，特別是指水泥表面被覆有一層適當(dāng)厚度保護(hù)膜的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)，包括有一內(nèi)部骨架、容納前述內(nèi)部骨架的外圍鋼框以及灌注于外圍鋼框中的水泥；內(nèi)部骨架是由配合外圍鋼框的復(fù)數(shù)支縱向鋼筋、橫向鋼筋及垂直鋼筋相交于交點(diǎn)焊固而成一體，其嵌合于外圍鋼框內(nèi)；外圍鋼框是配合前述內(nèi)部骨架被容納的鋼框體；前述外圍鋼框內(nèi)緣與前述內(nèi)部骨架各鋼筋接觸部均焊固連接成一體；水泥灌注于已焊固前述內(nèi)部骨架的外圍鋼框中，前述內(nèi)部骨架完全凝固在水泥中，并與前述外圍鋼框凝固成一體；其特征在于，于前述水泥凝固穩(wěn)定后的上表面被覆有一保護(hù)膜，該保護(hù)膜用以使水泥與外界隔絕，以達(dá)到防止水泥塵灰泄漏與空氣氧化的效果。
所述保護(hù)膜是一層環(huán)氧樹脂。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，本實(shí)用新型在水泥凝固穩(wěn)定后的上表面被覆有一保護(hù)膜，從而可達(dá)到防止水泥塵灰泄漏與空氣氧化的效果。
圖2為


圖1中水泥內(nèi)部骨架與外圍鋼框結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為圖2中內(nèi)部骨架局部放大示意圖。
圖號(hào)說明1基座 2內(nèi)部骨架 3外圍鋼框 4水泥 5保護(hù)膜 6縱向鋼筋7橫向鋼筋 8垂直鋼筋 9焊固
權(quán)利要求1.一種晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)，包括有一內(nèi)部骨架、容納前述內(nèi)部骨架的外圍鋼框以及灌注于外圍鋼框中的水泥；內(nèi)部骨架是由配合外圍鋼框的復(fù)數(shù)支縱向鋼筋、橫向鋼筋及垂直鋼筋相交于交點(diǎn)焊固而成一體，其嵌合于外圍鋼框內(nèi)；外圍鋼框是配合前述內(nèi)部骨架被容納的鋼框體；前述外圍鋼框內(nèi)緣與前述內(nèi)部骨架各鋼筋接觸部均焊固連接成一體；水泥灌注于已焊固前述內(nèi)部骨架的外圍鋼框中，前述內(nèi)部骨架完全凝固在水泥中，并與前述外圍鋼框凝固成一體；其特征在于，于前述水泥凝固穩(wěn)定后的上表面被覆有一使水泥與外界隔絕的保護(hù)膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述保護(hù)膜是一層環(huán)氧樹脂。
專利摘要一種晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)，包括有一內(nèi)部骨架、容納前述內(nèi)部骨架的外圍鋼框以及灌注于外圍鋼框中的水泥；其特征在于由水泥凝固內(nèi)部骨架于外圍鋼框中的水泥上表面被覆有一層適當(dāng)厚度的保護(hù)膜，用以使水泥與外界隔絕，以達(dá)到防止水泥塵灰泄漏與空氣氧化的效果。
文檔編號(hào)B28B17/00GK2601159SQ0320466
公開日2004年1月28日 申請(qǐng)日期2003年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月26日
發(fā)明者陳水源, 陳水生, 陳添丁 申請(qǐng)人:陳水源, 陳水生, 陳添丁