技術(shù)編號(hào):1856542
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型有關(guān)一種晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu),特別是指水泥表面被覆有一層適當(dāng)厚度保護(hù)膜的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種晶圓加工設(shè)備的機(jī)臺(tái)基座結(jié)構(gòu),包括有一內(nèi)部骨架、容納前述內(nèi)部骨架的外圍鋼框以及灌注于外圍鋼框中的水泥;內(nèi)部骨架是由配合外圍鋼框的復(fù)數(shù)支縱向鋼筋、橫向鋼筋及垂直鋼筋相交于交點(diǎn)焊固而成一體,其嵌合于外圍鋼框內(nèi);外圍鋼框是配合前述內(nèi)部骨架被容納的鋼框體;前述外圍鋼框內(nèi)緣與前述內(nèi)部骨架各鋼筋接觸部均焊固連接成一體;水泥灌注于已焊固前述內(nèi)部...
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