濕式工作臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種濕式工作臺。相比于傳統(tǒng)的濕式工作臺，本實用新型所述的濕式工作臺通過緊鄰內(nèi)外槽之間的管路設(shè)置一用于泄壓的第二管路，使得在循環(huán)泵停止工作后，濕式工作臺的內(nèi)外槽之間的管路中的處理液不會積壓而形成壓力，從而解決了循環(huán)泵再次啟動時由于處理液積壓而產(chǎn)生較大流量，使在酸槽中處理的晶圓產(chǎn)生錯槽或疊片的技術(shù)問題。
【專利說明】濕式工作臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種濕式工作臺。
【背景技術(shù)】
[0002]濕式工作臺(wet bench)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，其用于對晶圓進行濕法蝕刻(wet etch)或清洗(clean)。
[0003]傳統(tǒng)的濕式工作臺如圖1所示，機槽80通常包括內(nèi)槽81和外槽82，內(nèi)槽81即處理槽(process bath)，外槽82用于回收內(nèi)槽81中的處理液。內(nèi)外槽通常由一根管路連通，所述管路上設(shè)置回收裝置60對處理液進行回收處理，在所述管路上設(shè)置循環(huán)泵(pump) 70使外槽82中的液體通過所述回收裝置60，開啟循環(huán)過程以便回收外槽82的液體至內(nèi)槽81。
[0004]然而，在傳統(tǒng)的濕式工作臺中，循環(huán)泵70停止工作后，處理液無法通過回收裝置60，使得管路中形成一個封閉空間，這時在這段封閉空間內(nèi)的處理液存在較大的壓力，當循環(huán)泵70再次啟動時會因此產(chǎn)生較大的啟動流量，而這種大流量足以使在酸槽中處理的晶圓浮起，從而產(chǎn)生晶圓錯槽或疊片的現(xiàn)象。
實用新型內(nèi)容
[0005]為解決【背景技術(shù)】存在的問題，本實用新型提供一種濕式工作臺，包括
[0006]用于放置待處理晶圓的一內(nèi)槽；
[0007]一第一管路；
[0008]用于回收所述濕式工作臺內(nèi)液體的一外槽，與所述內(nèi)槽相鄰設(shè)置，并通過所述第一管路連通所述內(nèi)槽；
[0009]設(shè)于所述第一管路上的循環(huán)泵和回收裝置；
[0010]所述濕式工作臺還包括:
[0011]一第二管路，其第一端連接所述外槽，第二端連接至所述循環(huán)泵與所述回收裝置之間的第一管路。
[0012]進一步的，所述回收裝置包括過濾器與加熱器，所述第二管道的第二端連接至所述循環(huán)泵與所述過濾器之間的第一管路。
[0013]進一步的，所述濕式工作臺還包括設(shè)置于所述第二管路上的閥門。
[0014]進一步的，所述濕式工作臺還包括一控制單元，耦接所述循環(huán)泵與所述閥門；其中，當所述循環(huán)泵停止工作時，所述控制單元控制所述閥門開啟，以泄除所述循環(huán)泵與所述回收裝置之間的液體壓力。
[0015]進一步的，所述控制單元內(nèi)包括一延時單元，當所述循環(huán)泵開始工作后，所述延時單元控制所述閥門延長一定時間后關(guān)閉。
[0016]進一步的，所述延時單元為一時間繼電器。
[0017]進一步的，所述的濕式工作臺的內(nèi)槽與外槽通過一擋板隔開，所述擋板上具有排水口。[0018]進一步的，所述內(nèi)槽與外槽的形狀均為方形。
[0019]相比于現(xiàn)有技術(shù)的濕式工作臺，本實用新型所述的濕式工作臺通過緊鄰第一管路設(shè)置一用于泄壓的第二管路，使得在循環(huán)泵停止工作后，第一管路中的處理液不會積壓而形成壓力，從而解決了循環(huán)泵啟動時由于處理液積壓而產(chǎn)生較大流量，使在酸槽中處理的晶圓產(chǎn)生錯槽或疊片的技術(shù)問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中濕式工作臺的結(jié)構(gòu)圖。
[0021]圖2為本實用新型實施例中所述的濕式工作臺的結(jié)構(gòu)圖。
[0022]圖3為本實用新型實施例中所述的濕式工作臺的控制單元的控制信號波形。
【具體實施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0024]請參見圖2，本實用新型提供的濕式工作臺包括機槽10，由內(nèi)槽11和外槽12組成，內(nèi)槽11即處理槽(process bath)，外槽12用于回收內(nèi)槽11中的處理液,即內(nèi)槽11工作時部分處理液流入外槽12，此部分處理液會被回收處理回到內(nèi)槽11。內(nèi)槽11中內(nèi)外槽由第一管路100連接，所述管路100上設(shè)置回收裝置對處理液進行回收處理，具體地，所述回收裝置由過濾器(filter) 30和加熱器(heater) 20對處理液進行過濾和加熱處理，在所述管路100上設(shè)置循環(huán)泵(pump) 40使外槽12中的液體通過所述過濾器30和加熱器20，開啟循環(huán)過程以便回收外槽12的液體至內(nèi)槽11。
[0025]具體的，內(nèi)槽11和外槽12的形狀均為立方體，并通過一擋板隔開使得內(nèi)槽11和外槽12彼此隔開。在所述擋板上存在排水口，在內(nèi)槽11工作過程中，部分處理液會通過排水口溢出至外槽12，外槽12用以回收溢出的處理液。
[0026]本實用新型還包括第二管路200，其一端連接外槽12，另一端連接至所述循環(huán)泵40與所述回收裝置之間的第一管路100，具體地，連接在循環(huán)泵40與所述過濾30器之間。第二管路200用于當循環(huán)泵40停止工作后，泄出循環(huán)泵40與過濾30之間的液體壓力。在所述第二管路200上包括閥門50，閥門50為常閉的氣動閥。圖2中的箭頭方向即處理液循環(huán)流動的方向。
[0027]閥門50和循環(huán)泵40由耦接所述循環(huán)泵40和閥門50的控制單元300控制。
[0028]當循環(huán)泵40停止工作時，控制單元300控制所述閥門50開啟，以泄除所述循環(huán)泵40與所述過濾器30之間的液體壓力?？刂茊卧?00包括一延時單元310，延時單元310可為時間繼電器。當循環(huán)泵40開始工作后，延時單元310控制所述閥門50延長一定時間后關(guān)閉，以進一步減少循環(huán)泵40啟動造成的液體沖擊壓力。
[0029]請參見圖3，圖3為控制單元300的控制信號波形?？刂茊卧?00分別通過循環(huán)泵控制信號和閥門控制信號控制所述循環(huán)泵40和閥門50。當控制單元300停止發(fā)送循環(huán)泵控制信號時即發(fā)送閥門控制信號，以控制閥門50開啟以泄除液體壓力。當循環(huán)泵控制信號再度開啟時，閥門控制信號繼續(xù)發(fā)送一段時間，而非立即終止，通過一段時間緩沖進一步減輕循環(huán)泵40啟動造成較大的液體流量而產(chǎn)生沖擊壓力。閥門控制信號為脈沖信號，使得閥門50的開啟過程更為緩慢，達到進一步減壓的目的。
[0030]綜上所述，本實用新型所述的濕式工作臺通過緊鄰第一管路100設(shè)置一用于泄壓的第二管路200，使得在循環(huán)泵40停止工作后，第一管路100中的處理液不會積壓而形成壓力，從而解決了循環(huán)泵40啟動時由于處理液積壓而產(chǎn)生較大流量，使在酸槽中處理的晶圓產(chǎn)生錯槽或疊片的技術(shù)問題。
[0031]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種濕式工作臺，其特征在于，包括: 用于放置待處理晶圓的一內(nèi)槽； 一第一管路； 用于回收所述濕式工作臺內(nèi)液體的一外槽，與所述內(nèi)槽相鄰設(shè)置，并通過所述第一管路連通所述內(nèi)槽； 設(shè)于所述第一管路上的循環(huán)泵和回收裝置； 其特征在于:所述濕式工作臺還包括: 一第二管路，其第一端連接所述外槽，第二端連接至所述循環(huán)泵與所述回收裝置之間的第一管路。
2.如權(quán)利要求1所述的濕式工作臺，其特征在于:所述回收裝置包括過濾器與加熱器，所述第二管道的第二端連接至所述循環(huán)泵與所述過濾器之間的第一管路。
3.如權(quán)利要求1所述的濕式工作臺，其特征在于:還包括設(shè)置于所述第二管路上的閥門。
4.如權(quán)利要求3所述的濕式工作臺，其特征在于，還包括一控制單元，耦接所述循環(huán)泵與所述閥門；其中，當所述循環(huán)泵停止工作時，所述控制單元控制所述閥門開啟，以泄除所述循環(huán)泵與所述回收裝置之間的液體壓力。
5.如權(quán)利要求4所述的濕式工作臺，其特征在于:所述控制單元內(nèi)包括一延時單元，當所述循環(huán)泵開始工作后，所述延時單元控制所述閥門延長一定時間后關(guān)閉。
6.如權(quán)利要求5所述的濕式工作臺，其特征在于:所述延時單元為一時間繼電器。
7.如權(quán)利要求1所述的濕式工作臺，其特征在于:所述內(nèi)槽與外槽通過一擋板隔開，所述擋板上具有排水口。
8.如權(quán)利要求1所述的濕式工作臺，其特征在于:所述內(nèi)槽與外槽的形狀均為方形。
【文檔編號】B08B13/00GK203764621SQ201420103814
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月7日
【發(fā)明者】錢文明, 肖方 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司