專利名稱：探針卡自動清潔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體來說是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中晶圓測試時，給探針卡的自動清潔設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)階段覆晶方式封裝普遍被應(yīng)用于繪圖芯片、芯片組、存儲器及中央處理器等。上述高階封裝方式單價高昂，在封裝前進(jìn)行芯片測試，發(fā)現(xiàn)有不良品存在晶圓當(dāng)中，即進(jìn)行標(biāo)記，直到后段封裝制程前將這些標(biāo)記的不良品舍棄，可省下不必要的封裝成本。探針卡主要目的是將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達(dá)到自動化量測的目的。探針卡應(yīng)用在芯片尚未封裝前，針對裸晶系以探針做功能測試，篩選出不良品、再進(jìn)行之后的封裝工程。因此，它是芯片制造中對制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。測試過程中針尖極易沾染金屬碎屑，使針尖與晶圓接觸不良，導(dǎo)致測試良率的下降而引起不必要的損失。所以需要對探針卡進(jìn)行清洗。探針卡自動清潔過程中因清針底座和清針紙較小，原裝置為直徑5cm的圓形，導(dǎo)致每次自動清針時探針卡上的所有探針不能一次性全部接觸到清針紙，而需分成多次接觸不同區(qū)域的清潔。大大的延長清針時間，導(dǎo)致測試晶圓效率下降。

實用新型內(nèi)容所要解決的技術(shù)問題讓針測機(jī)自動清針裝置一次性接觸所有探針，達(dá)到一次全部清針的目的，節(jié)約清針的時間。技術(shù)方案為了解決以上問題，本實用新型提供了一種探針卡自動清潔裝置，包括，清針底座101，清針底座101平面大小為寬度5飛Cm，長度l(Tll. 5cm的長方形。清針底座101優(yōu)選5cm*10cm的長方形。有益效果保證一次全部清針接觸，而不需分多次不同區(qū)域的清針，避免時間的浪費(fèi)。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的針測機(jī)部分結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型一個針測機(jī)探針卡的清潔設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為清針裝置改進(jìn)前清針效果。圖4為清針裝置改進(jìn)后的清針效果。
具體實施方式
[0017]下面結(jié)合具體實施例和附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型換了一個角度，擴(kuò)大針測機(jī)清針裝置的面積，改用方形清針裝置，原裝置為直徑5cm的圓形，現(xiàn)改成10*5cm的長方形，從而安裝較大的清針紙100，來保證清針過程中一次全部接觸探針全部清針的目的。本實用新型的特征如下X軸，Y軸馬達(dá)，安裝在針測機(jī)上，用于調(diào)整X、Y軸的水平移動，調(diào)整探針卡102針尖接觸清針裝置水平位置。通過針測機(jī)上計算機(jī)總線機(jī)箱上訊號控制板插槽上5軸控制板(X，Y，Z, F，0軸控制板)，控制X，Y，Z，F(xiàn) 0軸的移動。本實用新型通過控制X、Y軸的水平移動，F(xiàn)軸的上下移動來控制針測機(jī)清針裝置清針時探針卡針尖與清針紙的起始水平接觸位置及清針接觸受力的大小。保證一次全部清針接觸，而不需分多次不同區(qū)域的清針，避免時間的浪費(fèi)。根據(jù)清針底座101的實際擴(kuò)大尺寸，在針測機(jī)上設(shè)置參數(shù)，通過X、Y軸馬達(dá)的移動來改變X軸、Y軸水平移動距離，控制探針卡針尖的清針起始位置，使所有針尖與清針紙全部接觸。設(shè)置針測機(jī)參數(shù)使F軸馬達(dá)移動來改變F軸上下移動，確保針尖與清針紙有適度的清針接觸，保證清針后效果。當(dāng)改進(jìn)后清針探針卡針尖就會與清針紙全部接觸，且有較好的清針高度，針測機(jī)自動清針就會在較短的時間內(nèi)完成所有針尖的清針，節(jié)約清針時間。
權(quán)利要求1.一種探針卡自動清潔裝置，包括，清針底座(101)，其特征在于:清針底座(101)的平面大小為寬度5-6cm,長度10-11.5cm的長方形。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡自動清潔裝置，其特征在于:清針底座(101)平面為5cm*10cm的 長方形。
專利摘要為了針測機(jī)自動清針裝置一次性接觸所有探針，達(dá)到一次全部清針的目的，節(jié)約清針的時間，本實用新型提供了一種探針卡自動清潔裝置，包括清針底座(101)，其特征在于清針底座(101)的平面大小為寬帶5-6cm，長度10cm-11.5cm的長方形，優(yōu)選5cm×10cm的長方形。改進(jìn)后清針探針卡針尖就會與清針紙全部接觸，且有較好的清針高度，針測機(jī)自動清針就會在較短的時間內(nèi)完成所有針尖的清針，節(jié)約清針時間。
文檔編號B08B1/00GK202909969SQ20122054438
公開日2013年5月1日 申請日期2012年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月23日
發(fā)明者蔣忠, 王剛 申請人:鎮(zhèn)江艾科半導(dǎo)體有限公司