專利名稱：等離子除膠清潔機進氣管道的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
等離子除膠清潔機進氣管道技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種電路板制造輔助工具，特別涉及一種等離子除膠清潔機進氣管道。
背景技術(shù)：
[0002]隨著電子產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，作為電子元件的印刷電路板的制作技術(shù)要求越來越高，對線路要求越來越細密，智能手機板等電路板增加盲孔的工藝制做流程。[0003]目前鐳射盲孔電路板電鍍制作過程中，通常采用先進行鐳射盲孔制作后進行等離子除膠和化學沉銅 ，然后在進行電鍍加厚銅的方式；由于目前電路板對于板材的要求越來越高，如高TG (玻璃態(tài)轉(zhuǎn)化溫度)無鹵素及其他有利于環(huán)保的材質(zhì)等；所以對于鐳射盲孔內(nèi)的膠渣殘留去除的要求越來越高。[0004]目前PLASMA(等離子除膠清潔機)大多都采用柜式腔體，腔體內(nèi)以千層架擺放電路板，關(guān)門抽真空后通過射頻源激發(fā)排入一定量的CF4等混合氣體加以除膠的方式，柜門排布混合氣體進氣管道，管道一般為鋁質(zhì)材質(zhì)；目前進氣管道排布一般為直線豎立于門中央的“ I ”結(jié)構(gòu)，然后在進氣管道上下分別開三個出氣口進行除膠清潔；使用此“ I ”結(jié)構(gòu)的進氣管道對一些結(jié)構(gòu)復雜的盲孔電路板進行除膠清潔時，可能會導致以下不足和局限性a.因“ I ”結(jié)構(gòu)的進氣管道的排氣口位于柜式離子除膠清潔機門內(nèi)的中間，CF4等混合氣體的排放不能均勻散布于除膠清潔機內(nèi)的每個角落，b.千層架上擺放的待除膠清潔的電路板的角落或其他位置可能會有達不到除膠清潔效果的風險，c.而靠近“ I ”結(jié)構(gòu)的進氣管道排氣口位置的電路板局部則有除膠清潔過度的風險；從而對后制程電路板的生產(chǎn)制作產(chǎn)生較大的品質(zhì)隱患。實用新型內(nèi)容[0005]實用新型目的針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題和不足，本實用新型的目的是提供一種等離子除膠清潔機進氣管道，可以有效防止等離子除膠清潔不均勻的隱患，不留死角， 消除局部除膠清潔過度的風險。[0006]技術(shù)方案為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為一種等離子除膠清潔機進氣管道，包括一垂直設置的直線形管道，所述直線形管道的兩端還連接一矩形管道。[0007]優(yōu)選地，所述矩形管道的四邊分別設有若干排氣口。[0008]優(yōu)選地，所述排氣口等間距設置在矩形管道的四邊。[0009]優(yōu)選地，所述矩形管道的四邊分別設有6個排氣口。


[0010]圖I為本實用新型等離子除膠清潔機進氣管道平面正視圖。[0011]圖中，I、直線形管道，2、矩形管道，3、排氣口，4、進氣口，5、接頭。
具體實施方式
[0012]
以下結(jié)合附圖和具體實施例，進一步闡明本實用新型，應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。[0013]在原有“ I ”型進氣管道結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上在增加一矩形“□”的管道，其包括鋁質(zhì)結(jié)構(gòu)管道主體、管徑為8mm，整個“ 口 ”形結(jié)構(gòu)管道整體固定于等離子除膠清潔機的門內(nèi)側(cè)，“ □ ” 管道四邊各開6個直徑I. 2mm的排氣口。[0014]優(yōu)選地，該矩形“□”進氣管道，只是在原有“ I ”結(jié)構(gòu)的進氣管道的基礎(chǔ)上增加了上下左右四條互通的同規(guī)格管道；該新型管道的工程改造工藝結(jié)構(gòu)簡單，改造成本低廉，能夠節(jié)省成本。[0015]優(yōu)選地，該矩形“ 口 ”進氣管道的四個排氣管各有6個直徑I. 2mm的排氣口，共24 個排氣孔有效的保證了 CF4等混合氣體能夠持續(xù)均勻的散布于等離子除膠清潔機腔體內(nèi)的各個角落，使等離子除膠清潔機腔體內(nèi)千層架上的盲孔電路板得到良好的除膠清潔，不留死角。[0016]優(yōu)選地，該矩形“□”進氣管道的24個排氣口均勻的排布于管道的上，下，左，右四邊，有效的改善了此前原有“ I ”結(jié)構(gòu)進氣管排氣口位置集中單一，且排氣孔只有6個，在總進氣量一定的情況下，局部靠近排氣孔位置的盲孔電路板有除膠清潔過度的風險；而24個排氣空的新型進氣管，在總進氣量一定的情況下，24個排氣口能有效均勻的將CF4等混合氣體分散在除膠清潔機腔體內(nèi)的各個角落，避免了靠近排氣孔位置的盲孔電路板有除膠清潔過度的風險。[0017]如圖I所示，該等離子除膠清潔機進氣管道主體為鋁質(zhì)材質(zhì)，在原有直線形管道I 的上下端連接一矩形管道2，管徑為10mm，CF4等混合氣體從進氣口 4進入管道，沿直線管道 I進入矩形管道2，矩形管道2的四邊分別均勻的設有6個排氣口 3，各段管道通過接頭5相連，24個排氣口的直徑均為I. 2mm。正面矩形管道的寬800mm，長1350mm，此種排布結(jié)構(gòu)有效得改善了傳統(tǒng)等離子除膠清潔機局部除膠清潔過度和不足的問題。權(quán)利要求1.一種等離子除膠清潔機進氣管道，包括一垂直設置的直線形管道，其特征在于所述直線形管道的兩端還連接一矩形管道。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述等離子除膠清潔機進氣管道，其特征在于所述矩形管道的四邊分別設有若干排氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述等離子除膠清潔機進氣管道，其特征在于所述排氣口等間距設置在矩形管道的四邊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述等離子除膠清潔機進氣管道，其特征在于所述矩形管道的四邊分別設有6個排氣口。
專利摘要本實用新型公開了一種等離子除膠清潔機進氣管道，包括一垂直設置的直線形管道，所述直線形管道的兩端還連接一矩形管道。本實用新型可以有效防止等離子除膠清潔不均勻的隱患，不留死角，消除局部除膠清潔過度的風險。
文檔編號B08B13/00GK202725587SQ20122036878
公開日2013年2月13日 申請日期2012年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月27日
發(fā)明者秦得祥 申請人:依利安達電子(昆山)有限公司