專利名稱：一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種透明導(dǎo)電薄膜的制備領(lǐng)域，具體涉及用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法。
背景技術(shù)：
隨著透明導(dǎo)電薄膜的技術(shù)越來(lái)越成熟，特別是ITO玻璃等在光學(xué)顯示、太陽(yáng)能電池、特種玻璃的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。但不管何種應(yīng)用，襯底的清洗始終是第一步。目前的襯底種類有很多，不同的襯底清洗方法也不同。普通的硅酸鹽玻璃由于其價(jià)格便宜等各種優(yōu)點(diǎn)廣泛被人們使用，目前的襯底清洗方法步驟較少，可能襯底上仍會(huì)附著一些雜質(zhì)，從而在沉積成膜的時(shí)候?qū)δぷ詈蟮馁|(zhì)量會(huì)有很大的影響。因此研究玻璃襯底清洗是薄膜制備的第一 止/J/ O

發(fā)明內(nèi)容
要解決的技術(shù)問(wèn)題為了避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明提出一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，以滿足溶膠凝膠法提拉制膜的要求。技術(shù)方案一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，其特征在于步驟如下步驟I :在室溫下，將襯底用洗潔精溶液浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，去除襯底上附著油污后倒掉溶劑；步驟2 :將上一步襯底采用去離子水沖洗兩遍去除泡沫后再用去離子水浸泡
O.5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，去除襯底上的吸附離子后倒掉溶劑；步驟3 :將襯底采用V水:V鹽酸=n 1的稀鹽酸溶液浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解并去除某些難溶雜質(zhì)后倒掉溶劑；所述10>n>4 ；步驟4 :將襯底采用丙酮浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解并吸附的有機(jī)物后倒掉溶劑；步驟5 :將襯底用酒精浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解吸附丙酮后倒掉溶劑。將得到的襯底在酒精溶液中密封保存。有益效果本發(fā)明提出的一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，針對(duì)襯底可能吸附的各種雜質(zhì)，采用不同的溶劑清洗，從而對(duì)襯底進(jìn)行徹底的清洗。與現(xiàn)有方法相比，該方法具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明考慮了襯底可能吸附的各種雜質(zhì)，針對(duì)每種雜質(zhì)采用不同的溶劑從而可以徹底洗凈襯底，從而保證隨后沉積過(guò)程順利進(jìn)行。另外，本發(fā)明中鹽酸清洗為首創(chuàng)，以前的襯底清洗均沒(méi)有考慮襯底吸附的難溶雜質(zhì)，實(shí)驗(yàn)證明鹽酸清洗對(duì)難溶物質(zhì)的作用很大。


圖I是清洗之前玻璃襯底在100倍顯微鏡下的圖片圖2是清洗之后玻璃襯底在100倍顯微鏡下的圖片其中a是浸泡O. 6小時(shí)并配合超聲10分鐘清洗之后玻璃襯底的圖片，b是浸泡O. 6小時(shí)并配合超聲15分鐘清洗之后玻璃襯底的圖片，c是浸泡O. 6小時(shí)且用V水=Vaig =7 1的稀鹽酸溶液清洗之后玻璃襯底的圖片
具體實(shí)施方式
現(xiàn)結(jié)合實(shí)施例、附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述實(shí)施案例I首先，由于手持等因素,襯底難免會(huì)有油污,針對(duì)這一點(diǎn),采用洗潔精溶液浸泡O. 6小時(shí)并配合超聲10分鐘，以去除油污；第二步，襯底上可能會(huì)吸附各種離子雜質(zhì)，采用去離子水浸泡O. 6小時(shí)并配合超聲10分鐘，以去除離子雜質(zhì)；第三步，襯底吸附的某些難溶雜質(zhì)，僅前兩步可能無(wú)法清洗，再用V水=Vaig =6 1的稀鹽酸溶液浸泡O. 6小時(shí)并配合超聲10分鐘，以去除難溶雜質(zhì)；第四步，考慮到某些有機(jī)物雜質(zhì)，用丙酮浸泡O. 6小時(shí)溶解并配合超聲清洗10分鐘，以去除有機(jī)雜質(zhì)；第五步，對(duì)以上步驟中的丙酮，由于其為有毒物質(zhì)，再用酒精浸泡O. 6小時(shí)溶解并配合超聲清洗10分鐘，以去除丙酮；最后將襯底至于酒精中保存。實(shí)施案例2首先，由于手持等因素,襯底難免會(huì)有油污,針對(duì)這一點(diǎn),采用洗潔精溶液浸泡I小時(shí)并配合超聲15分鐘，以去除油污；第二步，襯底上可能會(huì)吸附各種離子雜質(zhì)，采用去離子水浸泡I小時(shí)并配合超聲15分鐘，以去除離子雜質(zhì)；第三步，襯底吸附的某些難溶雜質(zhì)，僅前兩步可能無(wú)法清洗，再用V水=Vaig =6 1的稀鹽酸溶液浸泡I小時(shí)并配合超聲15分鐘，以去除難溶雜質(zhì)；第四步，考慮到某些有機(jī)物雜質(zhì)，用丙酮浸泡I小時(shí)溶解并配合超聲清洗15分鐘，以去除有機(jī)雜質(zhì)；第五步，對(duì)以上步驟中的丙酮，由于其為有毒物質(zhì)，再用酒精浸泡I小時(shí)溶解并配合超聲清洗15分鐘，以去除丙酮；最后將襯底至于酒精中保存。實(shí)施案例3首先，由于手持等因素,襯底難免會(huì)有油污,針對(duì)這一點(diǎn),采用洗潔精溶液浸泡I小時(shí)并配合超聲10分鐘，以去除油污；第二步，襯底上可能會(huì)吸附各種離子雜質(zhì)，采用去離子水浸泡I小時(shí)并配合超聲10分鐘，以去除離子雜質(zhì)；第三步，襯底吸附的某些難溶雜質(zhì)，僅前兩步可能無(wú)法清洗，再用V水Vaig=7 1的稀鹽酸溶液浸泡I小時(shí)并配合超聲10分鐘，以去除難溶雜質(zhì)；第四步，考慮到某些有機(jī)物雜質(zhì)，用丙酮浸泡I小時(shí)溶解并配合超聲清洗10分鐘，以去除有機(jī)雜質(zhì)；第五步，對(duì)以上步驟中的丙酮，由于其為有毒物質(zhì)，再用酒精浸泡I小時(shí)溶解并配 合超聲清洗10分鐘，以去除丙酮最后將襯底至于酒精中保存。
權(quán)利要求
1.一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，其特征在于步驟如下 步驟I :在室溫下，將襯底用洗潔精溶液浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，去除襯底上附著油污后倒掉溶劑； 步驟2 :將上一步襯底采用去離子水沖洗兩遍去除泡沫后再用去離子水浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，去除襯底上的吸附離子后倒掉溶劑； 步驟3 :將襯底采用V# Vaig=H 1的稀鹽酸溶液浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解并去除某些難溶雜質(zhì)后倒掉溶劑；所述10>n>4 ； 步驟4 :將襯底采用丙酮浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解并吸附的有機(jī)物后倒掉溶劑； 步驟5 :將襯底用酒精浸泡O. 5-1小時(shí)，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解吸附丙酮后倒掉溶劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，其特征在于將得到的襯底在酒精溶液中密封保存。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，其特征在于步驟如下在室溫下，將襯底用洗潔精溶液浸泡、用去離子水浸泡、采用V水V鹽酸=n1的稀鹽酸溶液浸泡、采用丙酮浸泡以及酒精浸泡，再配合超聲清洗7-15分鐘，溶解吸附丙酮后倒掉溶劑。本發(fā)明提出的一種用于溶膠凝膠法提拉制膜的襯底清洗方法，針對(duì)襯底可能吸附的各種雜質(zhì)，采用不同的溶劑清洗，從而對(duì)襯底進(jìn)行徹底的清洗。本發(fā)明考慮了襯底可能吸附的各種雜質(zhì)，針對(duì)每種雜質(zhì)采用不同的溶劑從而可以徹底洗凈襯底，從而保證隨后沉積過(guò)程順利進(jìn)行。
文檔編號(hào)B08B3/08GK102825027SQ201210308309
公開(kāi)日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月27日
發(fā)明者趙小如, 關(guān)蒙萌, 史小龍, 孫慧楠 申請(qǐng)人:西北工業(yè)大學(xué)