專利名稱：硅料清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅料的清洗裝置。
背景技術(shù)：
硅料是一種非常重要的半導(dǎo)體材料，可用于制作二極管、三極管、發(fā)光器件、壓敏元件、太陽能電池片等多種元器件，廣泛應(yīng)用于無線電工程、自動化領(lǐng)域、信號設(shè)備、動力工程等領(lǐng)域。通常硅料表面有氧化層和金屬離子，需用酸清洗來去除其表面的氧化層和金屬離子，目前硅料的清洗裝置，其結(jié)構(gòu)主要包括機(jī)架，機(jī)架上并排設(shè)置有酸洗槽和水洗槽。清洗時(shí)工人站在操作臺前將硅片放入酸洗槽中，待酸洗完畢，工人再將酸洗槽中的硅料取出并放入水洗槽中清洗。此過程中人體直接與酸液接觸，酸液具有腐蝕性，酸洗槽中容易濺出酸液傷害人體，而且清洗時(shí)酸液中會產(chǎn)生大量的刺激性的濃煙，直接危害到操作臺前工人的身體健康，操作危險(xiǎn)性較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所需解決的技術(shù)問題是將提供一種有效避免工人與酸液直接接觸，有效提高操作安全性的硅料清洗裝置。為解決上述問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是硅料清洗裝置，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)置有清洗槽，在清洗槽上方的機(jī)架上設(shè)置有儲酸槽和儲水槽，清洗槽下方的機(jī)架上還設(shè)置有酸液回收槽，所述的儲酸槽與清洗槽之間、儲水槽與清洗槽之間以及酸液回收槽與清洗槽之間分別設(shè)置有排液管，上述的排液管上均設(shè)置有閥門；所述的酸液回收槽與儲酸槽之間設(shè)置有連接管道和液流泵；所述的機(jī)架頂部設(shè)置有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口下方的機(jī)架上設(shè)置有引風(fēng)機(jī)。前述的硅料清洗裝置，其中，所述的儲水槽上還設(shè)置有進(jìn)水管。前述的硅料清洗裝置，其中，所述的清洗槽上還設(shè)置有排水管，所述的排水管上設(shè)
置有閥門。本發(fā)明的有益效果結(jié)構(gòu)簡單，有效減少酸液與人體的接觸，并及時(shí)將酸洗時(shí)帶來的刺激性氣體排出，減少了對人體的危害，大大提高了操作的安全性。本發(fā)明能廣泛應(yīng)用于硅料的清洗設(shè)備中。


圖1是本發(fā)明所述的硅料清洗裝置的示意圖。圖2是本發(fā)明所述的硅料清洗裝置的工作原理示意圖。圖1 圖2中1、機(jī)架，2、清洗槽，3、儲酸槽，4、儲水槽，41、進(jìn)水管，5、酸液回收槽， 6、第一排液管，61、第一閥門，7、第二排液管，71、第二閥門，8、第三排液管，81、第三閥門， 9、液流泵，10、引風(fēng)機(jī)，11、排水管，111、第四閥門，12、抽風(fēng)口。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。如圖1所示，硅料清洗裝置，包括機(jī)架1，機(jī)架1上設(shè)置有清洗槽2，在清洗槽2上方的機(jī)架1上設(shè)置有儲酸槽3和儲水槽4，清洗槽2下方的機(jī)架1上還設(shè)置有酸液回收槽 5，所述的儲酸槽3與清洗槽2之間設(shè)置有第一排液管6，第一排液管上設(shè)置有第一閥門61 ； 儲水槽4與清洗槽2之間設(shè)置有第二排液管7，第二排液管7上設(shè)置有第二閥門71 ；酸液回收槽5與清洗槽2之間設(shè)置有第三排液管8，第三排液管8上設(shè)置有第三閥門81 ；所述的酸液回收槽5與儲酸槽3之間設(shè)置有連接管道液流泵9 ；所述的機(jī)架1的頂部設(shè)置有抽風(fēng)口 12，抽風(fēng)口 12下方的機(jī)架1上設(shè)置有引風(fēng)機(jī)10。所述的儲水槽4上還設(shè)置有進(jìn)水管41，所述的清洗槽2上還設(shè)置有排水管11，所述的排水管11上設(shè)置有第四閥門111。清洗硅料時(shí)，工人先在空的清洗槽2中放入硅料，然后將第一閥門61打開，酸液從儲酸槽3中沿著第一排液管6緩緩進(jìn)入到清洗槽2中，待清洗槽2中酸液至清洗槽2中清洗液面位置后關(guān)閉第一閥門61，硅料即在酸液中清洗，此時(shí)產(chǎn)生的刺激性氣體會由引風(fēng)機(jī) 10從機(jī)架1頂部的抽風(fēng)口 12排出，待清洗完畢，打開第三閥門81，清洗槽2中的酸液順著第三排液管8進(jìn)入到酸液回收槽5中，液流泵9不斷將酸液回收槽5中的酸液抽送回儲酸槽4中，待清洗槽2中的酸液全部排至酸液回收槽5中后，關(guān)閉第三閥門81，同時(shí)打開第二閥門71，儲水槽4中的水順著第二排液管7進(jìn)入到清洗槽2中，待水至清洗液面位置后關(guān)閉第二閥門71，由于儲水槽4上設(shè)置有進(jìn)水管41，故可通過進(jìn)水管41對儲水槽進(jìn)行補(bǔ)水，待水洗完畢后，打開第四閥門111，水順著排水管11排出，則完成一次硅料清洗?？梢詫⑸鲜龈鱾€(gè)閥門的控制開關(guān)集中裝在機(jī)架上，這樣操作人員向清洗槽中加完硅料后可以離開清洗槽一段距離，便于操作人員操作和避免可能對人體造成的傷害。本發(fā)明的有益效果結(jié)構(gòu)簡單，有效減少酸液與人體的接觸，并及時(shí)將酸洗時(shí)帶來的刺激性氣體排出，減少了對人體的危害，大大提高了操作的安全性。本發(fā)明能廣泛應(yīng)用于硅料的清洗設(shè)備中。
權(quán)利要求
1.硅料清洗裝置，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)置有清洗槽，其特征在于在清洗槽上方的機(jī)架上設(shè)置有儲酸槽和儲水槽，清洗槽下方的機(jī)架上還設(shè)置有酸液回收槽，所述的儲酸槽與清洗槽之間、儲水槽與清洗槽之間以及酸液回收槽與清洗槽之間分別設(shè)置有排液管，上述的排液管上均設(shè)置有閥門；所述的酸液回收槽與儲酸槽之間設(shè)置有連接管道和液流泵；所述的機(jī)架的頂部設(shè)置有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口下方的機(jī)架上設(shè)置有引風(fēng)機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅料清洗裝置，其特征在于所述的儲水槽上還設(shè)置有進(jìn)水管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅料清洗裝置，其特征在于所述的清洗槽上還設(shè)置有排水管，所述的排水管上設(shè)置有閥門。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種硅料清洗裝置，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)置有清洗槽，在清洗槽上方的機(jī)架上設(shè)置有儲酸槽和儲水槽，清洗槽下方的機(jī)架上還設(shè)置有酸液回收槽，所述的儲酸槽與清洗槽之間、儲水槽與清洗槽之間以及酸液回收槽與清洗槽之間分別設(shè)置有排液管，上述的排液管上均設(shè)置有閥門；所述的酸液回收槽與儲酸槽之間設(shè)置有連接管道和液流泵；所述的機(jī)架頂部設(shè)置有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口下方的機(jī)架上設(shè)置有引風(fēng)機(jī)。本發(fā)明的有益效果結(jié)構(gòu)簡單，有效減少酸液與人體的接觸，并及時(shí)將酸洗時(shí)帶來的刺激性氣體排出，減少了對人體的危害，大大提高了操作的安全性。本發(fā)明能廣泛應(yīng)用于硅料的清洗設(shè)備中。
文檔編號B08B3/04GK102319688SQ201110192710
公開日2012年1月18日 申請日期2011年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月11日
發(fā)明者陶國偉 申請人:蘇州赤誠洗凈科技有限公司