技術(shù)編號(hào)：1416245
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅料的清洗裝置。 背景技術(shù)硅料是一種非常重要的半導(dǎo)體材料，可用于制作二極管、三極管、發(fā)光器件、壓敏元件、太陽能電池片等多種元器件，廣泛應(yīng)用于無線電工程、自動(dòng)化領(lǐng)域、信號(hào)設(shè)備、動(dòng)力工程等領(lǐng)域。通常硅料表面有氧化層和金屬離子，需用酸清洗來去除其表面的氧化層和金屬離子，目前硅料的清洗裝置，其結(jié)構(gòu)主要包括機(jī)架，機(jī)架上并排設(shè)置有酸洗槽和水洗槽。清洗時(shí)工人站在操作臺(tái)前將硅片放入酸洗槽中，待酸洗完畢，工人再將酸洗槽中的硅料取出并放入水洗槽中清洗。此過程中人體直...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。