專利名稱：碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本專利涉及光電器件制造工藝技術(shù)，具體指碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的 動(dòng)態(tài)裝置。
背景技術(shù)：
[0002]碲隔汞紅外探測(cè)器在研制過程中步驟繁多，其工藝涉及到表面處理、介質(zhì)膜、 光刻、P-N成結(jié)、腐蝕、金屬電極、互連等一系列工藝，而且每道工藝都要進(jìn)行溶劑溶 液清洗過程。碲隔汞是一種脆性半導(dǎo)體材料，對(duì)其樣品的拿取和溶劑溶液清洗的方式及 其重要。傳統(tǒng)的操作方法用金屬鑷子夾取在溶劑溶液中通過超聲波震蕩方法或者手動(dòng)晃 蕩方法來清洗。[0003]隨著碲隔汞紅外探測(cè)器研制的發(fā)展，特別是表面處理工藝，芯片的溶劑溶液清 洗已經(jīng)成為非常關(guān)鍵的工藝技術(shù)之一。由于傳統(tǒng)的工藝發(fā)生了很多工藝上問題，采用溶 劑溶液清洗的動(dòng)態(tài)模式改善表面質(zhì)量尤其重要，在某些較為敏感的工藝中，還需要專門 的化學(xué)溶劑來滿足要求。因此，應(yīng)用一項(xiàng)符合碲隔汞溶劑溶液清洗的動(dòng)態(tài)裝置對(duì)表面處 理工藝要求是十分重要的。[0004]對(duì)于碲隔汞晶片溶劑溶液清洗，困難在于超聲波震蕩方法容易使樣品碎裂；手 動(dòng)晃蕩方法由于是人為操作，不具有穩(wěn)定性和重復(fù)性，晃動(dòng)次數(shù)有限，難以對(duì)晶片表面 沾物進(jìn)行徹底清洗，不能保證每次清洗的一致性；并且這兩種方法對(duì)碲隔汞晶片的成品 率都受到很大的影響。發(fā)明內(nèi)容[0005]基于上述已有技術(shù)存在的問題，本專利的目的是要提出晶片在溶劑溶液中動(dòng)態(tài) 作用下的一種清洗裝置，通過該裝置來解決已有清洗中存在的問題。[0006]本專利的碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置其特點(diǎn)在于[0007]1.晶片松舒自由地放置于聚四氟乙烯多孔花籃里。[0008]2.通過聚四氟乙烯多孔花籃，晶片在有機(jī)溶液或無機(jī)溶液里做上下運(yùn)動(dòng)。[0009]3.使用的有機(jī)或無機(jī)溶液又處于恒溫水槽中恒定溫度。[0010]4.聚四氟乙烯多孔花籃通過機(jī)械結(jié)構(gòu)連接于電機(jī)形成自動(dòng)化運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，清洗過 程達(dá)到有效的一致性和重復(fù)性。[0011]本專利的裝置，包括滑槽1，驅(qū)動(dòng)板2，平衡連接桿3，滑塊4，石英燒杯5， 有機(jī)或無機(jī)清洗溶液6，固定架7，恒溫水浴8，恒溫水槽9，撥盤10，撥桿11，力臂桿 12，直流電機(jī)13，直流調(diào)速電源14，導(dǎo)軌15，主桿架16，花籃手柄17，HgCcTTe晶片 18，聚四氟乙烯多孔花籃19。[0012]所說的聚四氟乙烯多孔花籃螺接在花籃手柄的下端101 ；為使花籃手柄的卸取 方便，花籃手柄的上端與力臂桿的一端呈90°的彈性銜接201，這樣，聚四氟乙烯多孔 花籃通過花籃手柄垂吊在力臂桿上。為了承載聚四氟乙烯多孔花籃里被清洗HgCcTTe晶片的數(shù)量多或少，可以根據(jù)需要更換力臂桿的長短。力臂桿的另一端螺接301在滑塊上， 滑塊帶動(dòng)力臂桿在導(dǎo)軌上垂直上下移動(dòng)，為了使滑塊平穩(wěn)移動(dòng)兩端固定在平衡連接桿401 上。平衡連接桿的另端與驅(qū)動(dòng)板固定銜接501。[0013]所說的主桿架是一個(gè)弓字形結(jié)構(gòu)，下端通過固定架緊套在恒溫水槽9上，整個(gè) 裝置不會(huì)因?yàn)槠囟鴥A斜。上端固定直流電機(jī)。[0014]啟動(dòng)直流電機(jī)撥盤轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)撥桿作圓周運(yùn)動(dòng)，由于撥桿被套在驅(qū)動(dòng)板的滑槽 內(nèi)，所以帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)板作上下運(yùn)動(dòng)。所說的滑槽，滑槽的長短可根據(jù)聚四氟乙烯多孔花籃 上下移動(dòng)時(shí)被清洗晶片不露出石英燒杯液面的原則設(shè)計(jì)而成，滑槽越長，上下移動(dòng)的距 離越大，反之，距離變小。[0015]本專利通過以上構(gòu)造連接形成一個(gè)上下移動(dòng)的動(dòng)態(tài)模式，以至于達(dá)到清洗目 的。也就形成了碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置。[0016]本專利碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置的優(yōu)點(diǎn)是[0017]1.由于碲隔汞晶片豎立于花籃中間，有機(jī)或無機(jī)溶液通過多孔花籃流暢的沖 浪，達(dá)到全面清洗的目的。[0018]2.由于電機(jī)頻率的一致，可以保證工藝的可靠性和可重復(fù)性。[0019]3.由于碲隔汞晶片有大有小，聚四氟乙烯多孔花籃可隨意更換大小。[0020]4.由于聚四氟乙烯多孔花籃的可換性，力臂桿的長短也隨之可換。


[0021]圖1為本專利的碲隔汞晶片溶劑溶液清洗自動(dòng)化動(dòng)態(tài)裝置正面結(jié)構(gòu)示意圖。[0022]圖2為本專利的碲隔汞晶片溶劑溶液清洗自動(dòng)化動(dòng)態(tài)裝置側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。[0023]具體實(shí)施方法[0024]有機(jī)或無機(jī)清洗溶液6灌入石英燒杯5，石英燒杯置于恒溫水槽9水浴8中。將 碲隔汞晶片18豎立于聚四氟乙烯多孔花籃19中浸入灌有溶劑的石英燒杯內(nèi)，接通直流調(diào) 速電源14啟動(dòng)直流電機(jī)13帶動(dòng)撥盤10撥桿11在滑槽1內(nèi)作圓周運(yùn)動(dòng)，滑塊在導(dǎo)軌15 內(nèi)上下移動(dòng)，聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄17、力臂桿12、滑塊4、滑槽1等部件連 接上下提拉運(yùn)動(dòng)，達(dá)到動(dòng)態(tài)清洗的目的。[0025]本專利的碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置，已經(jīng)成功用于碲隔汞紅 外探測(cè)器研制工藝中。
權(quán)利要求1.碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置，包括滑槽(1)、驅(qū)動(dòng)板O)、平衡連 接桿(3)、滑塊0)、石英燒杯(5)、有機(jī)或無機(jī)溶液(6)、固定架(7)、恒溫水浴(8)、 恒溫水槽(9)、撥盤(10)、撥桿(11)、力臂桿(1幻、直流電機(jī)(1；3)、直流調(diào)速電源 (14)、導(dǎo)軌(15)、主桿架(16)、花籃手柄(17)和聚四氟乙烯多孔花籃(19)，其特征在 于所述的聚四氟乙烯多孔花籃(19)螺接在花籃手柄的下端(101)，花籃手柄的上端與 力臂桿(12)的一端為90°的彈性銜接O01)以方便花籃手柄的卸取，這樣，聚四氟乙烯 多孔花籃(19)通過花籃手柄垂吊在力臂桿(1 上；力臂桿(1 的另一端螺接(301)在 滑塊(4)上，滑塊(4)帶動(dòng)力臂桿(1 在導(dǎo)軌上垂直上下移動(dòng)，為了使滑塊(4)平穩(wěn)移 動(dòng)其兩端固定在平衡連接桿(401)上；平衡連接桿(401)的另端與驅(qū)動(dòng)板( 固定銜接； 所述的主桿架(16)是一個(gè)弓字形結(jié)構(gòu)，下端通過固定架緊套在恒溫水槽(9)上保證整個(gè) 裝置不會(huì)因?yàn)槠囟鴥A斜，上端固定直流電機(jī)(13)。
專利摘要本專利公開了碲隔汞晶片溶劑溶液自動(dòng)化清洗的動(dòng)態(tài)裝置，包括聚四氟乙烯多孔花籃，石英燒杯，恒溫水槽，手柄，力臂桿，滑塊，導(dǎo)軌，平行連接桿，撥桿，撥盤，滑槽，擱架。特點(diǎn)是；有機(jī)或無機(jī)溶劑灌入石英燒杯，石英燒杯置于恒溫水槽水浴中，將碲隔汞晶片豎立于聚四氟乙烯多孔花籃中浸入灌有溶劑的石英燒杯內(nèi)，聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄與力臂桿、滑塊、平行連接桿等機(jī)構(gòu)連接在主桿架上，整個(gè)裝置通過主桿架呈弓字形結(jié)構(gòu)，主桿架的下端通過固定架緊套在恒溫水槽上不會(huì)因?yàn)槠囟鴥A斜，上端固定直流電機(jī)，提供動(dòng)力后聚四氟乙烯多孔花籃呈上下運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，達(dá)到動(dòng)態(tài)清洗的目的。
文檔編號(hào)B08B3/08GK201807572SQ201020224908
公開日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月11日
發(fā)明者朱建妹, 王正官 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所