專利名稱：多氣種高純氣體集中控制獨立吹掃系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型屬光伏，光纖，LED, LCD及半導體技術領域，特別是涉及一種多氣種高 純氣體集中控制獨立吹掃系統(tǒng)。
背景技術：
光伏，光纖，LED, LCD及半導體等高科技行業(yè)用到眾多高純氣體。如半導體行業(yè) 大約就要使用50種不同種類的氣體在擴散工藝中作為工藝腔清潔所用的C1F3，刻蝕時常 用的CF4，CHF3與SF6等，以及離子注入法作為η型硅片離子注入磷源、砷源的ΡΗ3和AsH3 等。這些氣體具有劇毒，自燃，易燃，強腐蝕性等各種不同的特性。為了對保證人員的操作安全，這些氣體鋼瓶被存放在一個特制的氣瓶柜內并連接 到閥門盤面(見圖1、圖2)。目前行業(yè)上普遍采用的單體式氣瓶柜配有抽風，門自鎖裝置以 及獨立控制系統(tǒng)(放置在柜體上部)。這種單體式氣瓶柜一般按照氣體特性放置于氣體房(見圖3)，主要有以下功能1)控制本氣瓶柜內的氣動閥門開關；2)執(zhí)行自動吹掃功能；3)如果一側的氣體鋼瓶用完自動切換到另一側供氣；4)如果檢測到本氣瓶柜內有報警信號自動關閉本設備的輸送。在輸送過程中每臺設備每次都需要單獨操作，調節(jié)流量，設定程序等工序，浪費人 工。同時由于缺少氣瓶柜之間的集中控制，如一旦某氣瓶柜發(fā)生影響整個氣體房的嚴重報 警，只會停止該氣瓶柜的工作，其它氣瓶柜仍處于工作狀態(tài)，而不能及時切斷。此外，如果剛 好有幾臺氣瓶柜在同時進行吹掃程序，可能會造成吹掃氮氣供應不足，影響實際吹掃效果。
發(fā)明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種把多個氣瓶柜在集中控制單元下進 行獨立輸送及吹掃的裝置；吹掃氮氣從中央控制箱內輸出，且每一臺設備含有對應的調壓 吹掃支路。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是提供一種多氣種高純氣體集中 控制獨立吹掃系統(tǒng)，包括氣瓶柜、吹掃系統(tǒng)和氣動控制管路，所述的氣瓶柜至少為2個，所 述的吹掃系統(tǒng)為分別與每個氣瓶柜相連的獨立輸送吹掃裝置，所述的氣瓶柜通過氣動控制 管路和獨立輸送吹掃裝置與集中控制單元連接，吹掃系統(tǒng)中的吹掃氮氣從中央控制箱內輸
出ο所述的控制單元由PLC控制，并由10. 4”TFT觸摸屏作為人機界面。所述的系統(tǒng)通過以太網接口與客戶BMS系統(tǒng)連接。有益效果一、操作方便采用集中控制后，只需在一個界面輸入各種工作指令即可。采用本 方法后，只需對控制單元操作，即可控制氣瓶柜設備，統(tǒng)一調節(jié)每個設備輸送狀態(tài)，滿足不同的需求。按照設定要求，幾臺氣瓶柜設備按照指定次序依次進行吹掃，期間不需要人員參 與，提高工作效率。二、安全性由于采用集中控制，可以通過預設編程，采取按報警影響區(qū)域進行控 制。提高氣體房安全系數。三、遠程監(jiān)控通過以太網接口，遠程監(jiān)視電腦與中央控制單元連接，可以隨時查 看每一臺氣瓶柜運行狀態(tài)。四、降低成本本方法可以大大的降低生產的成本，可優(yōu)化電控部件配置，當需要 與遠程電腦通訊時，集中控制相比傳統(tǒng)氣瓶柜更具有優(yōu)勢。

圖1為背景技術中單體控制式氣瓶柜圖。圖2為背景技術中氣瓶柜內部閥門盤面圖。圖3為背景技術中單體控制式氣瓶柜布置圖。圖4為本實用新型高純氣體多氣種集中控制獨立吹掃系統(tǒng)圖。圖5為本實用新型中央控制箱圖。
具體實施方式
下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用于說明本 實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容 之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申 請所附權利要求書所限定的范圍。如圖4、5所示，圖中A.中央控制單元B.氣動控制管路，通過中央控制單元控制氣瓶柜內氣動閥門開關。C.吹掃系統(tǒng)，每一臺氣瓶柜都有獨立吹掃管路。D.遠程監(jiān)控系統(tǒng)，通過網線與中央控制單元連接。本發(fā)明的裝置取消氣柜頂部的控制箱，把多個氣瓶柜在集中控制單元下進行獨立 輸送及吹掃的裝置；吹掃氮氣從中央控制箱內輸出，且每一臺設備含有對應的調壓吹掃支 路(見圖四)。本系統(tǒng)控制單元由PLC控制，并由10. 4”TFT觸摸屏作為人機界面，以實現工作 參數的設置；各輸入輸出點狀態(tài)的顯示；既定程序的實時工作狀態(tài)。該系統(tǒng)通過以太網接口與客戶BMS系統(tǒng)連接，通過客戶監(jiān)控電腦可查看到當地觸 摸屏上所有可顯示參數及報警狀況。如集中供應系統(tǒng)發(fā)生報警，BMS監(jiān)控室內塔燈聲光報警。主要硬件組成組成PLC OMRON CJlM 系列，CPU 自帶以太網；電磁閥組CKD塔燈及EMO按鈕觸摸屏GP2500-TC41-24V
權利要求一種多氣種高純氣體集中控制獨立吹掃系統(tǒng)，包括氣瓶柜、吹掃系統(tǒng)和氣動控制管路，其特征在于所述的氣瓶柜至少為2個，所述的吹掃系統(tǒng)為分別與每個氣瓶柜相連的獨立輸送吹掃裝置，所述的氣瓶柜通過氣動控制管路和獨立輸送吹掃裝置與集中控制單元連接，吹掃系統(tǒng)中的吹掃氮氣從中央控制箱內輸出。
2.根據權利要求1所述的一種多氣種高純氣體集中控制獨立吹掃系統(tǒng)，其特征在于 所述的控制單元由PLC控制，并由10. 4” TFT觸摸屏作為人機界面。
3.根據權利要求1所述的一種多氣種高純氣體集中控制獨立吹掃系統(tǒng)，其特征在于 所述的系統(tǒng)通過以太網接口與客戶BMS系統(tǒng)連接。
專利摘要本實用新型涉及一種多氣種高純氣體集中控制獨立吹掃系統(tǒng)，包括氣瓶柜、吹掃系統(tǒng)和氣動控制管路，其特征在于所述的氣瓶柜至少為2個，所述的吹掃系統(tǒng)為分別與每個氣瓶柜相連的獨立輸送吹掃裝置，所述的氣瓶柜通過氣動控制管路和獨立輸送吹掃裝置與集中控制單元連接，吹掃系統(tǒng)中的吹掃氮氣從中央控制箱內輸出。本實用新型操作方便可以通過預設編程，采取按報警影響區(qū)域進行控制，提高氣體房安全系數。降低了生產成本，可優(yōu)化電控部件配置，當需要與遠程電腦通訊時，集中控制相比傳統(tǒng)氣瓶柜更具有優(yōu)勢。
文檔編號B08B5/02GK201618701SQ20092021034
公開日2010年11月3日 申請日期2009年9月29日 優(yōu)先權日2009年9月29日
發(fā)明者金悅 申請人:上海昕通半導體設備有限公司;上海正帆科技有限公司;上海億欣電子科技有限公司