專利名稱：用于清洗探針的基座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體清洗技術(shù)，特別涉及一種用于清洗探針的基座。
背景技術(shù)：
納米探針在半導(dǎo)體芯片微小結(jié)構(gòu)的電性測試中發(fā)揮了非常重要的作用。在利用納 米探針進(jìn)行電性測試之前，需要對納米探針進(jìn)行清洗，主要原因如下第一，納米探針的主 要材料是鎢，在保存過程中，鎢在空氣中會緩慢氧化，從而在探針表面形成一層絕緣的氧化 層，影響測試的準(zhǔn)確性；第二，保存過程中，探針表面會附著其他的污染顆粒，對于直徑只有 幾十納米的針尖而言，探針表面的任何附著物都會影響測試的準(zhǔn)確性。因此，為了保證對半 導(dǎo)體芯片微小結(jié)構(gòu)的電性測試的準(zhǔn)確性，在使用納米探針進(jìn)行電性測試之前必須對納米探 針進(jìn)行清洗。 在對納米探針進(jìn)行清洗時(shí)，通常將探針固定于專用于清洗探針的基座上，將固定 有探針的基座置入盛有洗針溶液的容器內(nèi)；將盛有洗針溶液且內(nèi)部收容有基座的容器放入 超聲波清洗器，利用超聲波清洗器產(chǎn)生的超聲波振蕩及清洗液對固定于基座上的探針進(jìn)行 清洗；利用氣槍吹干固定于基座的探針；利用吹干后的探針對半導(dǎo)體芯片的微小結(jié)構(gòu)進(jìn)行 電性測試。 圖1為現(xiàn)有的用于清洗探針的基座，現(xiàn)結(jié)合圖l，對現(xiàn)有的用于清洗探針的基座的 結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，具體如下現(xiàn)有的用于清洗探針的基座11包括一可置入盛有洗針溶液容 器內(nèi)的底座111 ，自底座111沿垂直于該底座111的方向延伸有一手持部112，在底座111與 手持部112接觸的表面均勻分布有垂直于底座111與手持部112的接觸面、向底座111內(nèi) 延伸且可容探針10插入的固定孔113。探針10的針柄插入底座111上的固定孔113后，通 過手持部112將攜帶有探針10的底座111置入盛有洗針溶液的容器內(nèi)，通過超聲波振蕩對 固定于基座111上的探針10進(jìn)行清洗。 現(xiàn)有的用于清洗探針的基座11通常由聚四氟乙烯制作而成，但由于聚四氟乙烯 的材質(zhì)不夠堅(jiān)固，反復(fù)插入與拔出探針10容易造成底座111上的固定孔113內(nèi)徑增大，內(nèi) 壁磨損；探針10固定不牢固，且容易在超聲波振蕩或清洗結(jié)束后的氣槍吹干過程中從底座 111的固定孔113中脫落?，F(xiàn)有的用于清洗探針的基座11由于固定孔113的內(nèi)徑一定，直 徑大于固定孔113內(nèi)徑的探針10無法插入固定孔113，直徑小于固定孔113內(nèi)徑的探針10 固定不牢固，現(xiàn)有的用于清洗探針的基座11只能用于清洗直徑與固定孔113內(nèi)徑相等的探 針10。 綜上所述，現(xiàn)有的用于清洗探針的基座11兼容性不佳，耐用性較差。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種用于清洗探針的基座，該基座能夠固定多種尺 寸的探針，具有較佳的兼容性。 本實(shí)用新型還提供了另一種用于清洗探針的基座，該基座能夠固定多種尺寸的探針，具有較佳的兼容性。 為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案具體是這樣實(shí)現(xiàn)的 —種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi)的底座；自所述底 座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部； 該基座還包括在所述底座與所述手持部的接觸面具有若干個(gè)傾斜于該接觸面、 且向所述底座內(nèi)延伸的固定孔； —部分內(nèi)嵌于所述固定孔、另一部分伸出所述固定孔并折彎后垂直于所述接觸面 的套管，所述套管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使插入的探針折彎后固 定于所述套管內(nèi)。 上述基座中，在所述套管折彎兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，第一位置點(diǎn)到第 二位置點(diǎn)與第三位置點(diǎn)間連線的垂直距離，確定所述預(yù)定尺寸范圍的下限；其中，所述第一 位置點(diǎn)為折彎處截面位于折彎內(nèi)側(cè)的位置點(diǎn)；所述第二位置點(diǎn)為內(nèi)嵌于所述固定孔部分的 端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)；所述第三位置點(diǎn)為所述另一部分的端面位于折彎外側(cè)的位置 點(diǎn)；所述套管內(nèi)直徑確定所述預(yù)定尺寸范圍的上限。 上述基座中，所述套管為耐弱酸堿腐蝕的金屬管。 —種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi)的底座；自所述底 座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部； 該基座還包括在所述底座與所述手持部的接觸面具有若干個(gè)固定孔，每個(gè)固定 孔包含自所述接觸面向所述底座內(nèi)豎直延伸的垂直部、及自所述垂直部的底部向手持部方 向折彎后再向所述底座內(nèi)延伸的折彎部； 自所述固定孔垂直部插入、并隨折彎部折彎后內(nèi)嵌于所述固定孔的套管，所述套 管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使插入的探針折彎后固定于所述套管 內(nèi)。 上述基座中，在所述套管折彎兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，第四位置點(diǎn)到第 五位置點(diǎn)與第六位置點(diǎn)間連線的垂直距離，確定所述預(yù)定尺寸范圍的下限；其中，所述第四 位置點(diǎn)為所述套管折彎處截面位于折彎內(nèi)側(cè)的位置點(diǎn)；所述第五位置點(diǎn)為所述套管內(nèi)嵌于 所述固定孔垂直部分的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)；所述第六位置點(diǎn)為所述套管內(nèi)嵌于所 述固定孔折彎部分的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)；所述套管內(nèi)直徑確定所述預(yù)定尺寸范圍 的上限。 上述基座中，所述套管為耐弱酸堿腐蝕的金屬管。 由上述的技術(shù)方案可見，本實(shí)用新型提供了一種用于清洗探針的基座，包括可置 入盛有洗針溶液容器內(nèi)的底座；自底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部；該基座 還包括在底座與手持部的接觸面具有若干個(gè)傾斜于該接觸面、且向底座內(nèi)延伸的固定孔； 一部分內(nèi)嵌于固定孔、另一部分伸出固定孔并折彎后垂直于接觸面的套管，套管內(nèi)可供直 徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使插入的探針折彎后固定于套管內(nèi)。 本實(shí)用新型還提供了 一種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi) 的底座；自底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部；該基座還包括在底座與手持 部的接觸面具有若干個(gè)固定孔，每個(gè)固定孔包含自接觸面向底座內(nèi)延伸的垂直部、及自垂 直部的底部向手持部方向折彎后再向底座內(nèi)延伸的折彎部；自固定孔垂直部插入、并隨折彎部折彎后內(nèi)嵌于固定孔的套管，套管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使 插入的探針折彎后固定于套管內(nèi)。 采用本實(shí)用新型的基座，插入基座的套管內(nèi)的探針折彎后固定于基座的套管內(nèi)， 且直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針都可被套管固定，本實(shí)用新型的基座能夠固定多種尺寸 的探針，具有較佳的兼容性。

圖la為現(xiàn)有的用于清洗探針的基座的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖lb為現(xiàn)有的用于清洗探針的基座的固定孔的剖視圖。 圖2a為本實(shí)用新型用于清洗探針的基座實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2b為本實(shí)用新型用于清洗探針的基座實(shí)施例一的固定孔的剖視圖。 圖3a為本實(shí)用新型用于清洗探針的基座實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3b為本實(shí)用新型用于清洗探針的基座實(shí)施例二的固定孔的剖視圖。
具體實(shí)施方式為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案、及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施 例，對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。 本實(shí)用新型提出了一種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi) 的底座；自底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部；該基座還包括在底座與手持 部的接觸面具有若干個(gè)傾斜于該接觸面、且向底座內(nèi)延伸的固定孔；一部分內(nèi)嵌于固定孔、 另一部分伸出固定孔并折彎后垂直于接觸面的套管，套管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi) 的探針插入、并使插入的探針折彎后固定于套管內(nèi)。 本實(shí)用新型還提出了一種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi) 的底座；自底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部；該基座還包括在底座與手持 部的接觸面具有若干個(gè)固定孔，每個(gè)固定孔包含自接觸面向底座內(nèi)豎直延伸的垂直部、及 自垂直部的底部向手持部方向折彎后再向底座內(nèi)延伸的折彎部；自固定孔垂直部插入、并 隨折彎部折彎后內(nèi)嵌于固定的套管，套管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并 使插入的探針折彎后固定于套管內(nèi)。 圖2a為本實(shí)用新型用于清洗探針的基座實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2b為本實(shí)用 新型用于清洗探針的基座實(shí)施例一的固定孔的剖視圖?，F(xiàn)結(jié)合圖2a及圖2b，對本實(shí)用新型 用于清洗探針的基座實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，具體如下 本實(shí)用新型用于清洗探針的基座20包括可置入盛有洗針溶液的容器內(nèi)的底座 211、自底座211沿垂直于該底座211方向延伸有一手持部212、在底座211與手持部212的 接觸面具有若干個(gè)固定孔213和部分內(nèi)嵌于固定孔213的套管214。 本實(shí)用新型用于清洗探針的基座20中的底座211與手持部212的接觸面的尺寸 小于盛有洗針溶液的容器底面的尺寸，以使底座211可置入盛有洗針溶液的容器中；底座 211具有一定的厚度。底座211和手持部212的材質(zhì)可以采用現(xiàn)有的聚四氟乙烯，或其它耐 弱酸堿腐蝕的材質(zhì)。 固定孔213位于底座211與手持部212的接觸面、且向底座211內(nèi)延伸并傾斜于
5該接觸面。在底座211與手持部212的接觸面具有若干個(gè)固定孔213。 套管214包括兩部分， 一部分內(nèi)嵌于固定孔213中，另一部分伸出固定孔213并折
彎后垂直于底座211與手持部212的接觸面；套管214內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的
探針20插入、并使插入的探針20折彎后固定于套管214內(nèi)。套管214可選用不銹鋼或其
他耐弱酸堿腐蝕的金屬。 在套管214折彎兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，套管214折彎處截面位于折彎 內(nèi)側(cè)的位置點(diǎn)為第一位置點(diǎn)；套管214內(nèi)嵌于固定孔213部分的端面位于折彎外側(cè)的位置 點(diǎn)為第二位置點(diǎn)；套管214伸出固定孔213的另一部分的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)為第 三位置點(diǎn)。 在套管214折彎兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與第 三位置點(diǎn)間連線的垂直距離，確定預(yù)定尺寸范圍的下限；套管214的內(nèi)直徑確定預(yù)定尺寸 范圍的上限。也就是直徑大于第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與第三位置點(diǎn)間連線的垂直距離、 且小于套管214的內(nèi)直徑的探針20在插入套管21時(shí)發(fā)生折彎，并由于探針20與套管214 內(nèi)壁的摩擦力固定于套管21中。采用本實(shí)用新型的套管21固定的探針20不會發(fā)生松動。 探針20與套管214內(nèi)壁的摩擦力就是探針20與第一位置點(diǎn)、第二位置點(diǎn)和第三位置點(diǎn)間 由于探針20彈性形變所產(chǎn)生的摩擦力。 當(dāng)?shù)谝晃恢命c(diǎn)、第二位置點(diǎn)和第三位置點(diǎn)不共線時(shí)，第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與 第三位置點(diǎn)間連線的垂直距離不為零。若探針20的直徑小于第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與 第三位置點(diǎn)間連線的垂直距離，則插入套管214的探針20不同時(shí)接觸第一位置點(diǎn)、第二位 置點(diǎn)和第三位置點(diǎn)，此時(shí)探針20未折彎，探針20與套管214內(nèi)壁間不存在摩擦力，探針20 易從套管214中脫落；若探針20的直徑大于第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與第三位置點(diǎn)間連線 的垂直距離、且小于套管214內(nèi)直徑，則探針20在插入套管214時(shí)發(fā)生折彎，由于探針20 與套管214內(nèi)壁間的摩擦力使探針20不易從套管214中脫落。 當(dāng)?shù)谝晃恢命c(diǎn)、第二位置點(diǎn)和第三位置點(diǎn)共線時(shí)，第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與第 三位置點(diǎn)間連線的垂直距離為零，則插入套管214的探針20只要小于套管214的內(nèi)直徑， 探針20在插入套管214時(shí)就會發(fā)生折彎，由于探針20與套管214內(nèi)壁間的摩擦力使探針 20不易從套管214中脫落。 圖3a為本實(shí)用新型用于清洗探針的基座實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3b為本實(shí)用 新型用于清洗探針的基座實(shí)施例二的固定孔的剖視圖?，F(xiàn)結(jié)合圖3a及圖3b，對本實(shí)用新型 用于清洗探針的基座實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，具體如下 本實(shí)用新型用于清洗探針的基座30包括可置入盛有洗針溶液的容器內(nèi)的底座 311、自底座311沿垂直于該底座311方向延伸有一手持部312、在底座311與手持部312的 接觸面具有若干個(gè)固定孔313和內(nèi)嵌于固定孔313的套管314。 本實(shí)用新型用于清洗探針的基座30中的底座311與手持部312的接觸面的尺寸 小于盛有洗針溶液的容器的尺寸，以使底座211可置入盛有洗針溶液的容器中；底座211具 有一定的厚度。底座311和手持部312的材質(zhì)可以采用現(xiàn)有的聚四氟乙烯，或其它耐弱酸 堿腐蝕的材質(zhì)。 固定孔313位于底座311與手持部312的接觸面，包含垂直部和折彎部；垂直部自 底座311與手持部312的接觸面向底座311內(nèi)豎直延伸、且垂直于該接觸面；折彎部自垂直部的底部向手持部方向折彎后再向底座311內(nèi)延伸，也就是折彎部傾斜于垂直部。在底座 311與手持部312的接觸面具有若干個(gè)固定孔313。 套管314內(nèi)嵌于固定孔313中，也就是套管314自固定孔313垂直部插入、并隨折 彎部折彎后內(nèi)嵌于固定孔313 ;套管314可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針30插入、并 使插入的探針30折彎后固定于套管314內(nèi)。內(nèi)嵌于固定孔313垂直部的套管314可沿固 定孔313垂直部的方向部分伸出固定孔313。套管314可選用不銹鋼或其他耐弱酸堿腐蝕 的金屬。 由于套管314內(nèi)嵌于固定孔313的垂直部和折彎部內(nèi)，固定孔313折彎的兩部分 延伸方向所構(gòu)成的平面與內(nèi)嵌于固定孔313的套管314折彎的兩部分延伸方向所構(gòu)成的平
面重合。 在內(nèi)嵌于固定孔313的套管314折彎的兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，內(nèi)嵌于 固定孔313的套管314折彎處截面位于折彎內(nèi)側(cè)的位置點(diǎn)為第四位置點(diǎn)；套管314內(nèi)嵌于 固定孔313垂直部的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)為第五位置點(diǎn)；套管314內(nèi)嵌于固定孔 313折彎部的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)為第六位置點(diǎn)。在內(nèi)嵌于固定孔313的套管314 折彎的兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與第六位置點(diǎn)間連線的 垂直距離確定預(yù)定尺寸范圍的下限；套管314的內(nèi)直徑確定預(yù)定尺寸范圍的上限。也就是 直徑大于第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與第六位置點(diǎn)間連線的垂直距離、且小于套管314的內(nèi) 直徑的探針30在插入套管31時(shí)發(fā)生折彎，并由于探針30與套管314內(nèi)壁間的摩擦力使探 針30固定于套管314中，采用本實(shí)用新型的套管31固定的探針30不會發(fā)生松動。探針30 與套管314內(nèi)壁的摩擦力就是探針30與第四位置點(diǎn)、第五位置點(diǎn)和第六位置點(diǎn)間由于探針 30彈性形變所產(chǎn)生的摩擦力。 當(dāng)?shù)谒奈恢命c(diǎn)、第五位置點(diǎn)和第六位置點(diǎn)不共線時(shí)，第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與 第六位置點(diǎn)間連線的垂直距離不為零。若探針30的直徑小于第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與 第六位置點(diǎn)間連線的垂直距離，則插入套管314的探針30不同時(shí)接觸第四位置點(diǎn)、第五位 置點(diǎn)和第六位置點(diǎn)，此時(shí)探針30不會發(fā)生折彎，探針30與套管314內(nèi)壁間不存在摩擦力， 易從套管314中脫落；若探針30的直徑大于第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與第六位置點(diǎn)間連線 的垂直距離、且小于套管314內(nèi)直徑，則探針30插入套管314時(shí)發(fā)生折彎，由于探針30與 套管314內(nèi)壁間的摩擦力使探針30固定于套管314中，使探針30不易從套管314中脫落。 當(dāng)?shù)谒奈恢命c(diǎn)、第五位置點(diǎn)和第六位置點(diǎn)共線時(shí)，第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與第 六位置點(diǎn)間連線的垂直距離為零，則插入套管314的探針30只要小于套管314的內(nèi)直徑， 探針30插入套管314時(shí)就會發(fā)生折彎，由于探針30與套管314內(nèi)壁間的摩擦力使探針30 固定于套管314中，使探針30不易從套管314中脫落。 由于利用納米探針進(jìn)行半導(dǎo)體芯片微小結(jié)構(gòu)的電性測試時(shí)，只須將納米探針的針 尖進(jìn)行折彎，納米探針的針柄是否發(fā)生折彎不會影響半導(dǎo)體芯片微小結(jié)構(gòu)的電性測試的準(zhǔn) 確性，且本實(shí)用新型的基座中套管使探針發(fā)生的折彎屬于彈性形變，因此，采用本實(shí)用新型 的用于清洗探針的基座利用插入其套管后發(fā)生折彎的探針與套管內(nèi)壁間的摩擦力對探針 進(jìn)行固定，清洗固定于該基座的探針，利用清洗后的探針進(jìn)行半導(dǎo)體芯片微小結(jié)構(gòu)的電性 測試不會影響測試的準(zhǔn)確性。 本實(shí)用新型的上述較佳實(shí)施例中，套管通過折彎處固定插入其的納米探針，不僅能夠固定直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針，而且插入套管內(nèi)的探針不易松動；在固定孔內(nèi) 增加了金屬材質(zhì)的套管，增強(qiáng)了套管的耐磨性，避免了由于反復(fù)插入拔出探針對固定孔的 磨損所造成的固定孔的內(nèi)徑增大，探針易松動的問題。 綜上所述，以上為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型的保護(hù)范 圍。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本 實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi)的底座；自所述底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部；其特征在于，該基座還包括在所述底座與所述手持部的接觸面具有若干個(gè)傾斜于該接觸面、且向所述底座內(nèi)延伸的固定孔；一部分內(nèi)嵌于所述固定孔、另一部分伸出所述固定孔并折彎后垂直于所述接觸面的套管，所述套管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使插入的探針折彎后固定于所述套管內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基座，其特征在于，在所述套管折彎兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，第一位置點(diǎn)到第二位置點(diǎn)與第三位 置點(diǎn)間連線的垂直距離，確定所述預(yù)定尺寸范圍的下限；其中，所述第一位置點(diǎn)為折彎處截 面位于折彎內(nèi)側(cè)的位置點(diǎn)；所述第二位置點(diǎn)為內(nèi)嵌于所述固定孔部分的端面位于折彎外側(cè) 的位置點(diǎn)；所述第三位置點(diǎn)為所述另一部分的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)；所述套管內(nèi)直徑確定所述預(yù)定尺寸范圍的上限。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基座，其特征在于，所述套管為耐弱酸堿腐蝕的金屬管。
4. 一種用于清洗探針的基座，包括 可置入盛有洗針溶液容器內(nèi)的底座； 自所述底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部； 其特征在于，該基座還包括在所述底座與所述手持部的接觸面具有若干個(gè)固定孔，每個(gè)固定孔包含自所述接觸面 向所述底座內(nèi)豎直延伸的垂直部、及自所述垂直部的底部向手持部方向折彎后再向所述底 座內(nèi)延伸的折彎部；自所述固定孔垂直部插入、并隨折彎部折彎后內(nèi)嵌于所述固定孔的套管，所述套管內(nèi) 可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使插入的探針折彎后固定于所述套管內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基座，其特征在于，在所述套管折彎兩部分延伸方向所構(gòu)成的平面內(nèi)，第四位置點(diǎn)到第五位置點(diǎn)與第六位 置點(diǎn)間連線的垂直距離，確定所述預(yù)定尺寸范圍的下限；其中，所述第四位置點(diǎn)為所述套管 折彎處截面位于折彎內(nèi)側(cè)的位置點(diǎn)；所述第五位置點(diǎn)為所述套管內(nèi)嵌于所述固定孔垂直部 分的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)；所述第六位置點(diǎn)為所述套管內(nèi)嵌于所述固定孔折彎部分 的端面位于折彎外側(cè)的位置點(diǎn)；所述套管內(nèi)直徑確定所述預(yù)定尺寸范圍的上限。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的底座，其特征在于，所述套管為耐弱酸堿腐蝕的金屬管。
專利摘要本實(shí)用新型提出了一種用于清洗探針的基座，包括可置入盛有洗針溶液容器內(nèi)的底座；自底座并沿垂直于該底座的方向延伸有一手持部；該基座還包括在底座與手持部的接觸面具有若干個(gè)傾斜于該接觸面、且向底座內(nèi)延伸的固定孔；一部分內(nèi)嵌于固定孔、另一部分伸出固定孔并折彎后垂直于接觸面的套管，套管內(nèi)可供直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針插入、并使插入的探針折彎后固定于套管內(nèi)。本實(shí)用新型還提供了另一種用于清洗探針的基座。采用本實(shí)用新型的基座，插入基座的套管內(nèi)的探針折彎后固定于基座的套管內(nèi)，且直徑處于預(yù)定尺寸范圍內(nèi)的探針都可被套管固定，本實(shí)用新型的基座能夠固定多種尺寸的探針，具有較佳的兼容性。
文檔編號B08B3/12GK201516434SQ20092021017
公開日2010年6月30日 申請日期2009年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月25日
發(fā)明者崔立超 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司