專利名稱：滾刷清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器制造工藝中的基板清洗技術(shù)，尤其涉及一種 滾刷清洗裝置。
背景技術(shù)：
在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display;以下簡(jiǎn)稱TFT-LCD)的制造過(guò)程中，玻璃基板是主要的部件，在 玻璃基板形成彩膜基板和陣列基板，并對(duì)盒、切割后形成液晶面板的各個(gè)步 驟中，均需要使用清洗機(jī)對(duì)基板進(jìn)行多次清洗。清洗機(jī)中最重要的清洗裝置 是滾刷(Roll Brush)清洗裝置。圖1為現(xiàn)有滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖， 通常包括由支架等固定在傳送機(jī)構(gòu)1上方的一個(gè)或多個(gè)滾刷2,以及懸設(shè)固 定在傳送機(jī)構(gòu)1上方的多個(gè)噴淋裝置(Shower ) 3，滾刷2和噴淋裝置3均朝 向傳送機(jī)構(gòu)1的傳送表面設(shè)置。滾刷清洗裝置工作時(shí)，噴淋裝置3開啟噴淋 清洗液，由傳送機(jī)構(gòu)1的傳送表面輸送待清洗的基板4， 2旋轉(zhuǎn)，其刷
毛接觸基板4的表面，清洗液呈橢圓形的液流直接噴射在基板4的表面上， 從而;;M'J 2對(duì)基板4進(jìn)行滾刷清洗。
但是，在進(jìn)行實(shí)踐研究過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有滾刷清洗裝置存在如下 缺陷滾刷的刷毛通常是一簇簇的集束狀，呈螺旋型帶狀布設(shè)在滾刷的中心 軸上，在噴淋裝置高速液流的直接噴淋作用下，刷毛的集束狀態(tài)更加明顯， 刷毛不能展開對(duì)基板進(jìn)行清洗。集束狀態(tài)刷毛的缺點(diǎn)在于， 一方面由于各股 刷毛之間存在間隙，導(dǎo)致清洗不均勻、不完全，另一方面由于集束狀態(tài)刷毛 的作用力巨大且集中，所以對(duì)基板表面有一定的損傷。尤其是在形成柵極膜層結(jié)構(gòu)(Gate Pattern)之后的基板上，在集束狀態(tài)的刷毛清洗下，容易劃 傷基板上的柵極膜層，造成斜線水波紋(Mura)不良現(xiàn)象，影響最終的顯示 效果。所以現(xiàn)有技術(shù)中往往不使用滾刷清洗形成柵極膜層后的基板，這大大 降低了清洗機(jī)的清洗效果。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種滾刷清洗裝置，以改善清洗效果。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種滾刷清洗裝置，包括朝向傳送
機(jī)構(gòu)的傳送表面設(shè)置的滾刷和噴淋裝置，所述噴淋裝置的噴頭上設(shè)置有噴孔，
還包括
滑動(dòng)軸，相對(duì)于所述滾刷懸設(shè)，能夠相對(duì)于所述;;t^沿平行于所述ia^ 軸線的方向移動(dòng)，且所述噴淋裝置固定在所述滑動(dòng)軸上，用于朝向所述滾刷 噴淋清洗液。
優(yōu)選的是，所述噴淋裝置的噴頭上所設(shè)置的噴孔至少包括第一噴孔和第 二噴孔，所述第一噴孔和第二噴孔的噴射方向均朝向所述滾刷設(shè)置，且所述 第二噴孔的噴射方向與所述第一噴孔的噴射方向之間具有第一夾角。
由以上技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型采用移動(dòng)噴射液流，且直接朝向:i^J 表面噴射液流的技術(shù)手段，有利于滾刷上的刷毛充分展開，且使刷毛更均勻， 從而減小刷毛的作用力，能夠改善清洗效果，減少甚至避免對(duì)待清洗基板表 面的損傷。


圖1為現(xiàn)有滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置中噴淋裝置的仰視 結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3中的A-A向剖面結(jié)構(gòu)示意圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6為本實(shí)用新型第三實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7為本實(shí)用新型第四實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型實(shí)施例提供了 一種滾刷清洗裝置，包括朝向傳送機(jī)構(gòu)的傳送表 面設(shè)置的滾刷和噴淋裝置，噴淋裝置的噴頭上設(shè)置有噴孔，且還包括一滑動(dòng)軸， 相對(duì)于il^'j懸設(shè)，能夠相對(duì)于滾刷沿平行于滾刷軸線的方向移動(dòng)，且噴淋裝置 固定在滑動(dòng)軸上，用于朝向滾刷噴淋清洗液。優(yōu)選的是噴淋裝置的噴頭上所設(shè) 置的噴孔至少包括第一噴孔和第二噴孔。第一噴孔和第二噴孔的噴射方向均朝 向滾刷設(shè)置，且第二噴孔的噴射方向與第一噴孔的噴射方向之間具有第一夾角。
采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，結(jié)合了滑動(dòng)噴淋清洗液、且直接朝向滾刷 噴射的技術(shù)手段，能夠使?jié)L刷的刷毛均能夠得到高速液流的滑動(dòng)式噴淋而充 分展開。進(jìn)一步的，噴射的液流均朝向滾刷的刷毛且液流方向至少有兩種的 技術(shù)手段，在不同方向液流的噴射下使得集束狀態(tài)的刷毛完全展開，從而能
面結(jié)構(gòu)的損壞，因此應(yīng)用到形成柵極膜層后基板的清洗中可以減少斜線水波 紋不良現(xiàn)象的產(chǎn)生。
實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型技術(shù)方案的形式有多種，下面通過(guò)具體實(shí)施例并結(jié)合附 圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
第一實(shí)施例
圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該 滾刷清洗裝置包括滾刷2和噴淋裝置3。具體應(yīng)用中，滾刷2是由支架等 固定物固定在傳送機(jī)構(gòu)1的傳送表面上方，噴淋裝置3懸設(shè)在滾刷2的上方， 且噴淋裝置3 —般由傳輸液體的管路和噴頭所組成。其中，傳送結(jié)構(gòu)1具體可以為馬達(dá)等動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)的傳送帶或傳送滾軸等，主要用于傳送待清洗的
基板4。該滾刷清洗裝置還包括一滑動(dòng)軸6。滑動(dòng)軸6懸設(shè)在滾刷2的上方， 能夠相對(duì)于滾刷2沿平行于滾刷2軸線的方向移動(dòng)，即滑動(dòng)軸6 —4殳與滾刷 2大致平行，至少相對(duì)于滾刷2沿圖2中所示的實(shí)線箭頭方向移動(dòng)。在垂直 于滾刷2軸線的方向上，滑動(dòng)軸6可以進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)來(lái)調(diào)整距離，或者保持 距離不變。各個(gè)噴淋裝置3均固定在滑動(dòng)軸6上，用于朝向滾刷2噴淋清洗 液，隨著滑動(dòng)軸6相對(duì)滾刷2移動(dòng)，以便能夠覆蓋到整個(gè)滾刷2的長(zhǎng)度范圍， 直接噴淋滾刷2的清洗液有利于刷毛的展開。
圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置中噴淋裝置的仰視 結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為圖3中的A-A向剖面結(jié)構(gòu)示意圖。對(duì)于每個(gè)噴淋裝置3， 其噴頭上所設(shè)置的噴孔包括第一噴孔71和第二噴孔72,第一噴孔71和第二 噴孔72的噴射方向均朝向滾刷2設(shè)置，且第二噴孔72的噴射方向與第一噴 孔71的噴射方向之間具有第一夾角a 。
采用上述方式，噴淋裝置的相對(duì)移動(dòng)導(dǎo)致液流并不固定地直射到某一處 刷毛上，并且，刷毛在不同方向液流的噴射下，可以使?jié)L刷上的所有刷毛展 開，從而提高清洗效果，且能夠降低刷毛集中作用力對(duì)基板的損傷。
優(yōu)選的是，第一噴孔71所噴射出的液流的噴射方向垂直于滾刷2的表面， 那么相應(yīng)地第二噴孔72所噴射液流的噴射方向是斜向的噴射到滾刷2表面 的，如圖2所示。滾刷2的形狀通常為圓柱體。
并且，第二噴孔72優(yōu)選布設(shè)在噴淋裝置3噴頭表面的邊緣，且鄰近滾刷 2背離噴淋裝置3滾動(dòng)的一側(cè)，第二噴孔72的形狀呈弧形縫隙狀，如圖3所 示，該第二噴孔72的形狀優(yōu)選為截取的一段圓環(huán)。則斜向噴射的液流能夠呈 面狀，沿著滾動(dòng)的刷毛噴淋清洗液，更有助于刷毛的展開。該弧形縫隙狀第 二噴孔72的寬度較佳的是為0. 5 ~ 1毫米。
上述第一噴孔71與第二噴孔72之間的第一夾角a的大小較佳的是在 10° ~20°的范圍內(nèi)。
為獲取噴淋滾刷2的最佳效果，需要控制第一噴孔71和第二噴孔72所噴射液流的流量、流速和方向。這可以通過(guò)設(shè)計(jì)噴林裝置3噴頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu) 來(lái)實(shí)現(xiàn)。如圖4所示，噴淋裝置3內(nèi)可以設(shè)有主管路31、第一分管路32和 第二分管路33。第一分管路32和第二分管路33分別與主管路31連通，形 成一個(gè)分叉管路，主管路31與清洗液供給裝置相連。第一分管路32連通第 一噴孔71來(lái)提供清洗液，第二分管路33連通第二噴孔72來(lái)提供清洗液，且 第一分管路32和第二分管路33與主管路31間界面的面積之比優(yōu)選為1: 2至 1: 1. 25。
由于第二分管路的截面面積較大，所以第二噴孔的液流量相比第 一噴孔 的液流量更多，流速更快。
可以通過(guò)設(shè)計(jì)分管路的形狀來(lái)控制其截面面積，從而控制流量、流速和 噴射方向。例如，第二分管路33沿噴淋裝置3縱向軸線的剖面形狀為鈍角三 角形，第二噴孔72位于鈍角三角形的一個(gè)銳角的頂端。第一分管路32沿噴 淋裝置3縱向軸線的剖面形狀優(yōu)選為梯形，即第一分管路32的形狀為圓錐臺(tái) 形，入口面小于出口面，第一分管路32與噴淋裝置3噴頭間的界面形狀近似 為圓形，該近似圓形的直徑約為5 ~ 10毫米。第一噴孔71的數(shù)量可以為多個(gè)， 第一噴孔71的形狀可以為圓形、三角形或多邊形等形狀，用于形成多根細(xì)小 的柱狀液流。第一噴孔71布設(shè)在第一分管路32的出口面上，較佳的是均勻 布設(shè)六個(gè)孔，或在六個(gè)孔中間再加設(shè)一個(gè)所形成的布局。各第一噴孔71的面 積之和，與第一分管路32和噴頭間的界面面積之比優(yōu)選為1:4-1:3,能夠 均勻提供多束垂直于滾刷2表面的柱狀液流。兩種液流配合，能夠有效噴淋 刷毛展開。
第二實(shí)施例
圖5為本實(shí)用新型第二實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本 實(shí)施例在第一實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)一步改進(jìn)滾刷清洗裝置，具體地，傳送機(jī)構(gòu) 1的一側(cè)還設(shè)置有用于向傳送機(jī)構(gòu)1的傳送表面上噴射清洗液的液刀8，通常 設(shè)置為一排，液刀8的噴射方向與傳送表面之間具有第二夾角P,第二夾角 (3小于90° ，第二夾角(3的大小優(yōu)選在45。
~55。的范圍內(nèi)。所謂傳送表面，
8是傳送機(jī)構(gòu)1傳送待清洗基板4的表面， 一般即為待清洗基板4的表面。
采用本實(shí)施例的技術(shù)方案。 一個(gè)或一排液刀從一側(cè)向待清洗基板噴射清 洗液，可以促使噴淋裝置噴灑下來(lái)的清洗液向待清洗基板的另一側(cè)流動(dòng)，即 促進(jìn)了清洗液在基板上的置換，能夠有效提高清洗效果。
第三實(shí)施例
圖6為本實(shí)用新型第三實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本 實(shí)施例可以第二實(shí)施例為基礎(chǔ)，進(jìn)一步的，傳送機(jī)構(gòu)1、滾刷2和滑動(dòng)軸6 均傾斜設(shè)置，與水平面之間具有第三夾角Y，第三夾角Y優(yōu)選為5。 ~10。， 液刀8設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)1抬起的一側(cè)。
本實(shí)施例的技術(shù)方案，使得液刀噴射出來(lái)的清洗液從高到低地射向待清 洗基板，可以進(jìn)一步促進(jìn)清洗液的流動(dòng)，改善清洗效果。
第四實(shí)施例
圖7為本實(shí)用新型第四實(shí)施例所提供的滾刷清洗裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意 圖。本實(shí)施例可以上述各實(shí)施例為基礎(chǔ)，在具體應(yīng)用中，傳送機(jī)構(gòu)1的傳送 表面可以位于傳送機(jī)構(gòu)1的上、下表面上，即同時(shí)對(duì)傳送結(jié)構(gòu)1上傳輸?shù)幕?板4的上、下兩表面進(jìn)行清洗。根據(jù)基板4的大小、清洗速度和清洗規(guī)模的 要求，滾刷2的數(shù)量可以為多個(gè)，間隔設(shè)置，且分別設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)1的上 方和下方，均朝向傳送表面設(shè)置，同時(shí)對(duì)基板4的上、下表面進(jìn)行清洗。每 個(gè)滾刷2所對(duì)應(yīng)設(shè)置有噴淋裝置3的滑動(dòng)軸6的數(shù)量為兩個(gè)或兩個(gè)以上，各 滑動(dòng)軸6彼此平行間隔設(shè)置，隨著滑動(dòng)軸6與滾刷2的相對(duì)位置變化，噴淋 裝置3隨之變化，以保證液流的噴射方向朝向滾刷2。優(yōu)選是對(duì)稱設(shè)置兩根 滑動(dòng)軸6,其上的兩排噴淋裝置3與水平面呈一定角度e向滾刷2噴射液流， 角度6的大小優(yōu)選為45° 。
采用本實(shí)施例的技術(shù)方案，可以令馬達(dá)等動(dòng)力裝置獨(dú)立驅(qū)動(dòng)各個(gè)滾刷逆 時(shí)針或順時(shí)針的轉(zhuǎn)動(dòng)，全方面地對(duì)基板進(jìn)行清洗。每個(gè)滾刷對(duì)應(yīng)設(shè)置兩排或 兩排以上的噴淋裝置，可以更有效的使刷毛展開。
滾刷清洗裝置作為清洗機(jī)中最重要的清洗單元，滾刷的刷洗方式及噴淋裝置的噴淋方式對(duì)清洗機(jī)的清洗效果有著決定性的影響，采用本實(shí)用新型各 實(shí)施例的技術(shù)方案，能夠有效提高刷毛的擴(kuò)散程度，使刷毛均勻展開，改善 清洗效果，且可以減少甚至避免斜線水波紋現(xiàn)象的發(fā)生，因此在形成柵極膜 層的基板上也可以使用滾刷進(jìn)行清洗。另外，還能提高清洗液的置換率，也 有助于改善清洗效果。
本實(shí)用新型的滾刷清洗裝置不僅可用于液晶面板的生產(chǎn)線中來(lái)清洗基 板，還適用于其他半導(dǎo)體制造工藝中的所有濕洗清潔工藝。
最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非 對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行 修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不 使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1、一種滾刷清洗裝置，包括朝向傳送機(jī)構(gòu)的傳送表面設(shè)置的滾刷和噴淋裝置，所述噴淋裝置的噴頭上設(shè)置有噴孔，其特征在于，還包括滑動(dòng)軸，相對(duì)于所述滾刷懸設(shè)，能夠相對(duì)于所述滾刷沿平行于所述滾刷軸線的方向移動(dòng)，且所述噴淋裝置固定在所述滑動(dòng)軸上，用于朝向所述滾刷噴淋清洗液。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的〉 '〗清洗裝置，其特征在于所述噴淋裝置的噴頭上所設(shè)置的噴孔至少包括第一噴孔和第二噴孔，所述第一噴孔和第二噴孔的噴射方向均朝向所述滾刷設(shè)置，且所述第二噴孔的 噴射方向與所述第一噴孔的噴射方向之間具有第一夾角。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述第一噴孔的 噴射方向垂直于所述滾刷的表面。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述第二噴孔布 設(shè)在所述噴淋裝置噴頭表面的邊緣，且鄰近所述滾刷背離所述噴淋裝置滾動(dòng) 的一側(cè)，所述第二噴孔的形狀呈弧形縫隙狀。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述第一夾角的 大小在IO。
~20°的范圍內(nèi)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述弧形縫隙狀 的第二噴孔的寬度為0. 5 ~ 1毫米。
7、 根據(jù)權(quán)利要求l-6任一所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述噴 淋裝置內(nèi)設(shè)有主管路、連通第一噴孔的第一分管路和連通第二噴孔的第二分 管路；所述第一分管路和第二分管路分別與所述主管路連通；所述第一分管 路和第二分管路與所述主管路間界面的面積之比為1: 2至1: 1."。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述第二分管路 沿所述噴淋裝置縱向軸線的剖面形狀為鈍角三角形。
9、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述第一分管路沿所述噴淋裝置縱向軸線的剖^—形狀為梯形，所述第一分管路與所述噴淋裝置噴頭間的界面形狀為圓形，所述圓形的直徑為5~10毫米。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述第一噴孔 的數(shù)量為多個(gè)，所迷第一噴孔的形狀為圓形、三角形或多邊形，所述第一噴 孔的面積之和與所述第一分管路和所述噴頭間的界面面積之比為1: 4 ~ 1: 3。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1~6任一所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述 傳送機(jī)構(gòu)的一側(cè)還設(shè)置有用于向傳送機(jī)構(gòu)的傳送表面上噴射清洗液的液刀， 所述液刀的噴射方向與所述傳送表面之間具有第二夾角，所述第二夾角的大 小在45。 ~55°的范圍內(nèi)。
12、 根據(jù)權(quán)利要求11所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述傳送機(jī) 構(gòu)、所述滾刷和所述滑動(dòng)軸與水平面之間具有第三夾角，所述液刀設(shè)置在所 述傳送機(jī)構(gòu)抬起的一側(cè)，所述第三夾角的大小為5。
~10° 。
13、 根據(jù)權(quán)利要求1~6任一所述的滾刷清洗裝置，其特征在于所述 滾刷的數(shù)量為多個(gè)，間隔設(shè)置，且分別設(shè)置在所述傳送機(jī)構(gòu)的上方和下方； 每個(gè)滾刷所對(duì)應(yīng)設(shè)置有噴淋裝置的滑動(dòng)軸的數(shù)量為兩個(gè)或兩個(gè)以上，各滑動(dòng) 軸平行間隔設(shè)置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及滾刷清洗裝置，包括朝向傳送機(jī)構(gòu)的傳送表面設(shè)置的滾刷和噴淋裝置，還包括一滑動(dòng)軸，相對(duì)于滾刷懸設(shè)，能夠相對(duì)于滾刷沿平行于滾刷軸線的方向移動(dòng)，且噴淋裝置固定在滑動(dòng)軸上，朝向滾刷噴淋清洗液。本實(shí)用新型采用移動(dòng)噴射液流，且直接向滾刷上噴射液流的技術(shù)手段，有利于滾刷上的刷毛充分展開，且使刷毛更均勻，從而減小刷毛的作用力，能夠改善清洗效果，減少甚至避免對(duì)待清洗基板表面的損傷。
文檔編號(hào)B08B1/02GK201410484SQ200920108120
公開日2010年2月24日 申請(qǐng)日期2009年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月13日
發(fā)明者呂俊君 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司