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一種刷子清洗方法及其清洗裝置的制作方法

文檔序號:1558323閱讀:253來源:國知局
專利名稱:一種刷子清洗方法及其清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于清洗方法技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種刷子清洗方法及其清洗裝置。
背景技術(shù)
掩膜版清洗技術(shù)是掩膜版制造的關(guān)鍵技術(shù),在清洗掩膜版過程時(shí), 一般使
用刷子刷洗掩膜版上大于3微米的顆粒,其刷洗效果十分好。但刷子在使用一 段時(shí)間后,其本身會被污染,如果不對刷子進(jìn)行及時(shí)清洗,那么它不但沒有起 到刷洗掩膜版的作用,反而會污染掩膜版,使掩膜版無法清洗干凈,因此,對 刷子進(jìn)行清洗就顯得尤為重要?,F(xiàn)有技術(shù)中的清洗方法一般是將刷子浸泡在去 離子水中進(jìn)行清洗,但使用這種方法也很難將刷子上的雜物清洗千凈。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供一種刷子清洗方法及其清洗裝置,旨在解決 刷子上的雜物難以徹底清除的問題。
本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的, 一種刷子清洗方法,包括以下步驟
① 向清洗槽中倒入50~ 100%的異丙醇清洗液,然后將刷子的刷毛完全浸 沒于異丙醇清洗液中,刷柄固定在一電機(jī)輸出軸上,由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),使 用40KHZ的超聲波清洗15-30分鐘后將異丙醇清洗液i丈出;
② 向清洗槽內(nèi)倒入去離子水,使刷子的刷毛完全浸沒于去離子水中,然后 由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),再使用40KHZ的超聲波清洗10 20分鐘,即可。
采用這種刷子清洗方法可以徹底去除刷子上的雜物,且刷子使用周期可以 達(dá)到2 — 3個(gè)月。 本發(fā)明實(shí)施例的另一目的在于提供一種刷子清洗裝置,其包括一支架、一 清洗槽,所述清洗槽中還懸掛有一可充分舒展開所述刷子的刷毛的橫桿。
這種清洗裝置更利于對刷子進(jìn)行清洗,可完全、有效去除刷子上的雜物。


圖l是本發(fā)明實(shí)施例提供的刷子清洗裝置示意圖。
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí) 施例,對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅 僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。
參閱圖l,本發(fā)明的刷子清洗方法可分為以下步驟
第一步向清洗槽4中倒入50- 100%的異丙醇清洗液,然后將刷子3的 刷毛32完全浸沒于異丙醇清洗液中,刷柄31固定在一電機(jī)輸出軸(圖中未示 出)上,由電機(jī)帶動刷子3旋轉(zhuǎn),使用40KHZ的超聲波清洗15 ~ 30分鐘后將 異丙醇清洗液方文出。
所述異丙醇清洗液為異丙醇和去離子水的混合液,該異丙醇清洗液有很好 的去脂能力,而且能4艮好的浸潤刷毛32,當(dāng)使用100%的異丙醇清洗液時(shí)其浸 潤效果最好;由于刷毛32直徑比較小(一般為幾十微米),且很密集,用一般 的清洗方法很難滲透進(jìn)刷毛32之間的細(xì)縫中,而超聲波有很好的滲透能力,故 采用超聲波進(jìn)行清洗;超聲波頻率之所以設(shè)定為40KHZ,是因?yàn)轭l率太小,穿 透力不夠,頻率太大,去除大顆粒能力下降。
第二步再向清洗槽4中倒入去離子水,使刷子3的刷毛32完全浸沒于去 離子水,然后由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),再使用40KHZ的超聲波清洗10-20分鐘, 即可。
由于所述異丙醇溶于去離子水,使用去離子水可以有效地去除刷子3上殘
留的異丙醇溶液。如果需要使用刷子3,可以裝上清洗機(jī)即可使用;如果不使 用,可以放在凈化房內(nèi)自然晾干,然后用潔凈的塑料袋密封包裝保存;通過這 種方法清洗的刷子3的使用周期可以達(dá)到2~3個(gè)月。
本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種刷子清洗裝置,其包括一支架l、 一清洗槽4, 所述清洗槽4中還懸掛有一橫桿2,所述刷子3的刷毛32緊靠橫桿2并向橫桿 2下方延伸2 ~ 3mm。這樣,所述刷毛32在橫桿2的作用下可以充分舒展開, 有利于超聲波進(jìn)入刷毛32而徹底清洗。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā) 明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種刷子清洗方法,其特征在于包括下述步驟①向清洗槽中倒入50~100%的異丙醇清洗液,然后將刷子的刷毛完全浸沒于異丙醇清洗液中,刷柄固定在一電機(jī)輸出軸上,由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),使用40KHZ的超聲波清洗15~30分鐘后將異丙醇清洗液放出;②向清洗槽內(nèi)倒入去離子水,使刷子的刷毛完全浸沒于去離子水中,然后由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),再使用40KHZ的超聲波清洗10~20分鐘,即可。
2、 如權(quán)利要求1所述的刷子清洗方法,其特征在于所述異丙醇清洗液為 異丙醇和去離子水的混合液,且異丙醇的最佳濃度為100%。
3、 一種如權(quán)利要求1所述的刷子清洗方法所采用的清洗裝置,其包括一支 架、 一清洗槽,其特征在于所述清洗槽中還懸掛有一可充分舒展開所述刷子 的刷毛的橫桿。
4、 如權(quán)利要求4所述的清洗裝置,其特征在于所述刷子的刷毛緊靠橫桿 并向橫桿下方延伸2 ~ 3mm。
全文摘要
本發(fā)明適用于清洗方法領(lǐng)域,提供了一種刷子清洗方法,該方法包括以下步驟①向清洗槽中倒入50~100%的異丙醇清洗液,然后將刷子的刷毛完全浸沒于異丙醇清洗液中,由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),使用40KHZ的超聲波清洗15~30分鐘后將異丙醇清洗液放出;②再向清洗槽內(nèi)倒入去離子水,使刷子的刷毛完全浸沒于去離子水中,然后由電機(jī)帶動刷子旋轉(zhuǎn),再使用40KHZ的超聲波清洗10~20分鐘。本發(fā)明還提供了該清洗方法所使用的清洗裝置,其包括一支架、一清洗槽,所述清洗槽中還懸掛有一可充分舒展開所述刷子的刷毛的橫桿。本發(fā)明所采用的刷子清洗方法可以徹底去除刷子上的雜物,且刷子使用周期可以達(dá)到2~3個(gè)月。
文檔編號B08B3/12GK101386009SQ20081021666
公開日2009年3月18日 申請日期2008年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月9日
發(fā)明者鄢紅軍 申請人:清溢精密光電(深圳)有限公司
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