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一種負(fù)壓產(chǎn)生系統(tǒng)及負(fù)壓產(chǎn)生方法與流程

文檔序號:12344642閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種負(fù)壓產(chǎn)生系統(tǒng)及負(fù)壓產(chǎn)生方法,其負(fù)壓產(chǎn)生系統(tǒng)包括:負(fù)壓腔體,其具有第一、第二和第三接口,其中,第一和第二接口為對負(fù)壓腔體抽氣的抽氣接口,第三接口直接或間接作為負(fù)壓產(chǎn)生系統(tǒng)的負(fù)壓接口;第一抽氣裝置,其通過負(fù)壓腔體的第一接口對負(fù)壓腔體抽氣,其功率為W1時,在第一接口處的氣體流量為L1,產(chǎn)生負(fù)壓P1;和第二抽氣裝置,其通過負(fù)壓腔體的第二接口對負(fù)壓腔體抽氣,其功率為W2時,在第一接口處的氣體流量為L2,產(chǎn)生負(fù)壓P2,其中,L1大于L2,|P1|小于|P2|??上纫缘谝怀闅庋b置或者先以第一抽氣裝置和第二抽氣裝置的組合將負(fù)壓腔體內(nèi)抽至預(yù)定負(fù)壓P1;再以第二抽氣裝置將負(fù)壓腔體內(nèi)抽至預(yù)定負(fù)壓P2。

技術(shù)研發(fā)人員:蔡小奇
受保護的技術(shù)使用者:蔡小奇
文檔號碼:201710034306
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.18
技術(shù)公布日:2017.05.31

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