技術(shù)總結(jié)
描述了一種用于確定三維結(jié)構(gòu)的表面形貌的裝置。該裝置能夠包括探頭(90)和被配置為輸出多個光束(36)的照明單元(28、32、34、38)。在多個實施例中，該裝置包括聚光組件(42、44)。聚光組件能夠接收多個光束中的各光束并且將光束聚焦于各自的外部焦點。聚光組件能夠被構(gòu)造成使多個光束在變焦組件(224、234)內(nèi)重疊，以使外部焦點沿著光束的傳播方向移動。該裝置能夠包括：檢測器(60)，其具有配置為測量從亮斑返回的多個光束中的各光束的特性的傳感元件；和處理器(24)，其連接到檢測器，并且被配置為基于測得的特性生成表示結(jié)構(gòu)的形貌的數(shù)據(jù)。

技術(shù)研發(fā)人員：優(yōu)素?！ぐ⒕焷?塔勒·維科爾
受保護的技術(shù)使用者：阿萊恩技術(shù)有限公司
文檔號碼：201580047638
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.30
技術(shù)公布日：2017.05.31