專利名稱：糊料涂敷裝置及糊料涂敷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶顯示板等玻璃基板之間涂敷用于密封液晶等液狀物質(zhì)的糊料的糊料涂敷裝置及糊料涂敷方法。
背景技術(shù)：
作為在玻璃基板上用糊料描繪圖案的技術(shù)，已知有通過一邊從噴嘴吐出糊料一邊使基板和噴嘴中的任一個在相對于另一個平行的水平面內(nèi)移動來描繪圖案的方法。
在上述方法中，在以往的糊料涂敷裝置中，如專利文獻(xiàn)1公開那樣，通過對注射器內(nèi)施加預(yù)先設(shè)定的壓力的氣體壓力，從噴嘴(針)吐出糊狀的密封劑而涂敷在基板上。此時，使將基板保持在上表面的載物臺相對于噴嘴平行地移動。
專利文獻(xiàn)1日本特開平11-119232號公報但是，在利用氣體壓力從噴嘴吐出糊狀的密封劑的方式中，如果基板上表面與噴嘴之間的間隙變動，則從噴嘴的密封劑的吐出阻力變動，密封劑的吐出量變化。此外，如果因周圍溫度的變化而使密封劑的粘度變化，則從噴嘴的吐出量變化。結(jié)果，有不能在目的部位以需要的涂敷量涂敷糊料的問題。
此外，如圖6所示，如果圖案109的描繪速度、即載物臺或頭的移動速度變?yōu)楦咚?，則因在角部附近的載物臺或頭的急劇減速而使頭產(chǎn)生上下振動，由此，基板與噴嘴之間的間隙變動，發(fā)生圖案斷裂110或涂敷量的不均勻111。
因此，考慮通過在角部跟前預(yù)先使描繪速度減速來減輕在角部附近的頭的振動、防止圖案斷裂或涂敷量的不均勻111。但是，由于向注射器內(nèi)供給壓力氣體，使得在每單位時間吐出的密封劑的量一定，所以如果減慢描繪速度，則如圖7所示，減慢部分112的涂敷量增多。
因此，在將兩片基板貼合而制造液晶顯示板時，發(fā)生如下不良狀況圖案109中的部分涂敷量較多的部分112的密封劑沒有充分地被壓扁，兩片基板的間隔變得不均勻，或者在該部分被壓扁的密封劑的寬度比其他部分寬，在規(guī)定的部位以外露出等。
為了防止這些不良狀況，考慮在圖案109的角部附近使描繪速度減速的同時降低注射器內(nèi)的氣體壓力。但是，一般氣體具有較大的壓縮性(通過施加壓力而容易減小體積的性質(zhì))，所以從氣體壓力變更到吐出量變化的響應(yīng)性變差，并且應(yīng)答時間還根據(jù)注射器內(nèi)的密封劑的剩余量的多少而變化。此外，由于響應(yīng)性較差，所以存在在涂敷開始點(diǎn)113涂敷量過少、在涂敷結(jié)束點(diǎn)114涂敷量過多的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是在基板的目的部位以需要的量涂敷糊料。
本發(fā)明的糊料涂敷裝置，使在兩片基板之間密封液狀物質(zhì)用的糊料從噴嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，具備泵機(jī)構(gòu)，具有設(shè)有噴嘴的泵體，旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置在該泵體內(nèi)、使與旋轉(zhuǎn)量相應(yīng)的量的糊料從上述噴嘴吐出的螺桿，和使該螺桿旋轉(zhuǎn)的電機(jī)；移動裝置，使該噴嘴和上述基板沿著該基板面相對地移動；控制裝置，控制上述泵機(jī)構(gòu)的電機(jī)和該移動裝置。
本發(fā)明的糊料涂敷方法，使在兩片基板間密封液狀物質(zhì)用的糊料從噴嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，利用使與螺桿的旋轉(zhuǎn)量對應(yīng)的量的糊料從上述噴嘴吐出的泵機(jī)構(gòu)使該糊料從該噴嘴吐出，而在上述基板上涂敷糊料時，控制上述螺桿的旋轉(zhuǎn)，以便上述糊料以規(guī)定的涂敷量被涂敷在該基板上。


圖1是表示糊料涂敷裝置的整體圖。
圖2是將圖1的吐出泵放大表示的示意圖。
圖3是用來說明涂敷動作的示意圖。
圖4是表示涂敷位置與吐出泵的電機(jī)的速度的關(guān)系的圖。
圖5是用來說明以往例的凹部中的密封劑的涂敷圖案的示意圖。
圖6是表示以往例的密封劑的涂敷圖案的示意圖。
圖7是表示以往例的密封劑的涂敷圖案的示意圖。
圖8是表示吐出泵的泵體與螺桿的另一例的示意圖。
具體實施例方式
圖1所示的本發(fā)明的糊料涂敷裝置10具有四邊平板形的基座11，基座11固定在4個腳12上。X軸方向(圖1中的左右方向)的進(jìn)給臺13設(shè)置在基座11的上面并通過進(jìn)給機(jī)構(gòu)14沿左右方向移動自如，Y軸方向(圖1中的前后方向)的進(jìn)給臺15設(shè)置在X軸方向的進(jìn)給臺13上并通過進(jìn)給機(jī)構(gòu)16沿前后方向移動自如。
此外，在基座11上固定有門型的支柱20，在支柱20的沿X軸方向延伸的水平梁部20A的前面部固定的直線導(dǎo)引部21上，沿左右方向隔開規(guī)定的間隔而設(shè)有兩個頭22，兩個頭22設(shè)置成通過進(jìn)給機(jī)構(gòu)23沿X軸方向(左右方向)移動自如。由此，能夠使兩個頭22的X軸方向的間隔與在后述的基板31上的多個圖案的X軸方向的配置間隔對應(yīng)。
進(jìn)給機(jī)構(gòu)14、16、23分別由未圖示的進(jìn)給螺釘和螺母、和使進(jìn)給螺釘轉(zhuǎn)動的驅(qū)動用伺服電機(jī)24、25、26構(gòu)成。另外，作為進(jìn)給機(jī)構(gòu)，也可以是由直線狀的固定元件和在該固定元件上移動的可動元件構(gòu)成的線性電機(jī)。
在Y軸方向的進(jìn)給臺15上固定有四邊平板形的載物臺30，在載物臺30上保持液晶顯示板的玻璃基板31。
在兩個頭22上分別通過未圖示的Z軸方向的移動裝置(Z軸移動裝置)設(shè)置吐出泵32(泵機(jī)構(gòu))。如圖2所示，吐出泵32由在前端部具有噴嘴33的中空的泵體34、通過連結(jié)部件35旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置在泵體34內(nèi)的螺桿36、和與泵體34并列設(shè)置的貯存容器40構(gòu)成。
螺桿36在外周具有螺紋部36A，與固定在泵體34的基端部的驅(qū)動用伺服電機(jī)41連結(jié)。在貯存容器40內(nèi)貯存有液狀的密封劑44(糊料)，在密封劑44的上部設(shè)有壓力氣體室45，壓力氣體室45經(jīng)由軟管46連結(jié)到未圖示的氣體壓力源。
在比開始螺桿36的旋轉(zhuǎn)的定時早預(yù)先設(shè)定的時間的定時，開始從氣體壓力源向壓力氣體室45供給壓力氣體，并在停止螺桿36的旋轉(zhuǎn)的定時停止供給壓力氣體。
貯存容器40的底部經(jīng)由管42連結(jié)到泵體34上部的開口43，泵體34上部的開口43朝向螺桿36的螺紋部36A的上端外周開口。在泵體34的內(nèi)周與上下的螺紋部36A之間形成由密封劑填充的螺旋狀的液室。這里，為了用密封劑填滿液室內(nèi)，作為預(yù)先吐出動作而進(jìn)行下述的動作。
即，向壓力氣體室45內(nèi)供給壓力氣體，在該狀態(tài)下使螺桿36旋轉(zhuǎn)。液室內(nèi)由密封劑充滿，繼續(xù)螺桿36的旋轉(zhuǎn)直到從噴嘴33吐出密封劑。此時，在從噴嘴吐出密封劑36之后也使螺桿繼續(xù)旋轉(zhuǎn)設(shè)定的時間，能夠不在液室內(nèi)殘留空氣而使密封劑充滿液室內(nèi)而優(yōu)選。
吐出泵32具有與噴嘴33一體設(shè)置的未圖示的激光位移計等的距離測量器。后述的控制裝置通過根據(jù)由該距離測量器得到的到基板31表面的距離的測量值進(jìn)行的反饋控制來進(jìn)行控制(間隙控制)，從而使噴嘴33與基板31面之間的間隙保持預(yù)先設(shè)定的間隙。
如果使吐出泵32的電機(jī)41旋轉(zhuǎn)，則螺桿36旋轉(zhuǎn)，從噴嘴33吐出泵體34的內(nèi)周和螺桿36的外周的螺紋部36A之間的密封劑，從噴嘴33吐出與電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)量對應(yīng)的量的密封劑。
例如，當(dāng)螺桿36旋轉(zhuǎn)一周時，則從噴嘴33吐出與螺紋部36A的間距相當(dāng)?shù)牧康拿芊鈩?。并且，由于從噴?3的密封劑的每單位時間的吐出量與電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度(每單位時間的旋轉(zhuǎn)量)成正比，所以能夠通過改變電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度來改變從噴嘴33的密封劑的每單位時間的吐出量。
吐出泵32不是像以往技術(shù)那樣通過壓力氣體推出密封劑，而是螺桿36通過其螺紋部36A直接機(jī)械地將液狀的密封劑推出，所以可得到與電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)量成比例的吐出量。
由載物臺30的X軸方向和Y軸方向的進(jìn)給臺13、15及進(jìn)給機(jī)構(gòu)14、16構(gòu)成的移動裝置17、18、以及由兩個頭22及進(jìn)給機(jī)構(gòu)23構(gòu)成的移動裝置19，使吐出泵32的噴嘴33與載物臺30上的基板31沿著基板31表面平行地相對移動。
此外，糊料涂敷裝置10具備未圖示的控制裝置，根據(jù)噴嘴33與基板31的沿著基板面的方向的相對移動速度，即，X方向的相對移動速度、Y方向的相對移動速度、及合成了X軸方向的相對移動速度和Y軸方向的相對移動速度的相對移動速度，控制裝置控制吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度。
接著，參照圖1、圖3、圖4，對通過上述結(jié)構(gòu)的涂敷裝置10在保持于載物臺30上的液晶顯示板用的玻璃基板31的周緣部涂敷密封劑的動作進(jìn)行說明。另外，這里由于兩個頭22并行地描繪相同的圖案P，所以為了簡化說明，僅對兩個頭22中的1個頭22的涂敷動作進(jìn)行說明。
涂敷裝置10沿著矩形的玻璃基板31的周緣部將密封劑沿圖3中順時針方向涂敷成線狀，描繪矩形狀的涂敷圖案P。
首先，控制裝置使噴嘴33移動到涂敷開始點(diǎn)O的正上方。接著，通過一邊控制Z軸移動裝置使噴嘴33下降、一邊通過根據(jù)距離測量器的測量值的反饋控制，控制噴嘴33與基板31表面之間的間隙成為預(yù)定的間隙。
然后，控制裝置使由進(jìn)給臺13構(gòu)成的X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24旋轉(zhuǎn)，使基板31相對于噴嘴33向圖3中X軸的右向移動。同時，控制裝置與X軸方向的移動裝置17(以下，設(shè)移動X軸方向的進(jìn)給臺13并進(jìn)行說明)的電機(jī)24同步地使吐出泵32的電機(jī)41旋轉(zhuǎn)，從噴嘴33吐出密封劑。
圖4的橫軸表示從涂敷開始點(diǎn)O到達(dá)涂敷結(jié)束點(diǎn)F的過程中的基板上的涂敷位置，縱軸表示吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度。
在涂敷開始點(diǎn)O，X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24從停止?fàn)顟B(tài)加速到對應(yīng)于直線部分S而設(shè)定的旋轉(zhuǎn)速度Vs，所以控制裝置與X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24的旋轉(zhuǎn)速度的變化同步地使吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)從停止?fàn)顟B(tài)加速到對應(yīng)于旋轉(zhuǎn)速度Vs的第1旋轉(zhuǎn)速度V1。
在該涂敷開始點(diǎn)O附近(圖4中用W1表示)，移動裝置17的移動速度比涂敷圖案P的直線部分S(圖4所示)的移動速度低。在該涂敷開始點(diǎn)O的低速移動區(qū)域，使密封劑的每單位時間的吐出量比對應(yīng)于直線部分S的高速移動區(qū)域的吐出量少，使得每單位長度的涂敷量與高速移動區(qū)域的涂敷量相同。結(jié)果，防止在涂敷開始點(diǎn)O附近涂敷量增多，阻止涂敷圖案的線寬及厚度的膨脹。
接著，如果接近于左前方的角部C1跟前，則控制裝置使X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24減速到對應(yīng)于角部C1附近(圖4中用W2表示)的低速移動區(qū)域而設(shè)定的旋轉(zhuǎn)速度Vw。與X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24的減速同步，控制裝置使吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)從第1旋轉(zhuǎn)速度V1減速到對應(yīng)于旋轉(zhuǎn)速度Vw的第2旋轉(zhuǎn)速度V2。
接著，如果到達(dá)了左前方的角部C1，則控制裝置使X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24減速而停止?？刂蒲b置與該減速的開始同時開始Y軸方向的移動裝置18的電機(jī)25的旋轉(zhuǎn)，控制其旋轉(zhuǎn)速度以使在角部C1部分的描繪中基板31與噴嘴33的沿著基板31表面的方向上的相對移動速度一定。如圖4所示，控制裝置在此期間將吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)維持為第2旋轉(zhuǎn)速度V2。
在該角部C1附近(圖4中用W2表示)，移動裝置17的移動速度以比涂敷圖案P的直線部分S的移動速度低的速度移動。在該角部C1附近W2的低速移動區(qū)域，使密封劑的每單位時間的吐出量比高速移動區(qū)域的吐出量少，使得每單位長度的涂敷量與高速移動區(qū)域的涂敷量相同。
結(jié)果，防止在角部C1附近W2涂敷量增多，阻止涂敷圖案的線寬及厚度的膨脹。此外，由于在角部C1附近W2使基板31與噴嘴33的相對移動速度比直線部分S的移動速度低，所以防止由在角部C1的移動裝置17、18的加減速引起的頭22的上下振動，能夠防止在角部C1附近W2的圖案斷裂及涂敷量的不均勻的發(fā)生。
接著，與上述左前方的角部C1同樣，經(jīng)過左后方的角部C2、右后方的角部C3、右前方的角部C4，到達(dá)涂敷結(jié)束點(diǎn)F的跟前。在角部C2、C3、C4附近的低速移動區(qū)域，與上述角部C1同樣減少每單位時間的吐出量而使每單位長度的涂敷量與高速移動區(qū)域相同。
在涂敷結(jié)束點(diǎn)F附近，控制裝置與使X軸方向的移動裝置17的電機(jī)24減速同步，使吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)逐漸變慢，減少密封劑的吐出量。結(jié)果，防止在涂敷結(jié)束點(diǎn)F附近涂敷量變多，阻止涂敷圖案的線寬方向及厚度的膨脹。
接著，使噴嘴33從涂敷結(jié)束點(diǎn)F移動到下一個圖案的涂敷開始點(diǎn)O。在此次的圖案是應(yīng)形成在基板31上的最后的圖案的情況下，不需要從涂敷結(jié)束點(diǎn)F向涂敷開始點(diǎn)O的移動。以上結(jié)束將密封劑涂敷在玻璃基板31上的1個周期。
如以上所述，在以矩形狀的涂敷圖案P在基板31上涂敷時，在涂敷開始點(diǎn)O附近、角部C1～C4(以下用角部C表示)的涂敷中，在涂敷結(jié)束點(diǎn)F附近，噴嘴33和基板31的相對移動速度比直線部分S慢，所以減慢電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度而減少從噴嘴33的密封劑的吐出量。結(jié)果，能夠?qū)⒂删鶆虻耐糠罅啃纬傻耐糠髨D案P描繪在基板31上。
此外，如圖5所示，在因基板31A表面的膜厚及電路等的結(jié)構(gòu)而在平坦的基板31A上有階差或凹部G的情況下，提高從噴嘴33吐出密封劑的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度而局部地使密封劑的涂敷量比凹部G以外的其他部分I增加。
在以矩形狀的涂敷圖案P將密封劑涂敷在基板31A上以使每單位長度的涂敷量一定時，如果在基板31A表面上存在凹部G，則在凹部G中密封劑的絕對的涂敷高度變低。在此情況下，加快電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度，使得在凹部G處從噴嘴33的密封劑的每單位時間的吐出量增大。由此進(jìn)行控制，以使涂敷后的密封劑的高度(不是距離基板31A表面的相對高度，而是絕對的高度)一定。
結(jié)果，在基板31A表面上描繪均勻的高度的涂敷圖案，在將兩片基板31A、31B貼合時，在基板31A、31B之間不會產(chǎn)生間隙H，能夠防止由密封劑封入的液晶從被貼合的兩片基板31A、31B之間泄漏、或空氣侵入到由密封劑包圍的區(qū)域內(nèi)。由此，能夠提高制造的液晶顯示板的品質(zhì)。
另外，通過在基板31A表面形成有凹部的例子進(jìn)行了說明，但在形成有凸部的情況下，也可以在對應(yīng)于凸部的位置減慢電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度，以減少從噴嘴33的密封劑的吐出量。
此外，形成在基板31A表面上的凹部或凸部的位置，可以通過使用基板31A的設(shè)計數(shù)據(jù)或預(yù)先測量基板31A的表面的高度數(shù)據(jù)來取得。
根據(jù)本實施例，可發(fā)揮以下的作用效果。
(a)吐出泵32通過由電機(jī)41使螺桿36旋轉(zhuǎn)來機(jī)械地推出與電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)量成比例的量(體積)的密封劑，所以即使因周圍溫度的變化而使密封劑的粘度變化、或吐出泵32的泵體34內(nèi)的密封劑的殘余量減少，也能夠通過使吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度保持一定，從而使從噴嘴33的密封劑的每單位時間的吐出量保持一定。
此外，在由氣體壓力進(jìn)行吐出的情況下，如果噴嘴33與基板31之間的間隙變動，則從噴嘴33的密封劑的吐出阻力變動，通過該影響使密封劑的吐出量變化。
但是，根據(jù)本實施例的涂敷裝置10或涂敷方法，由于使通過伴隨螺桿36的旋轉(zhuǎn)的螺桿36的螺紋部36A的機(jī)械的推出而推出的量的密封劑從噴嘴33吐出，所以能夠使由螺紋部36A推出的量的密封劑從噴嘴33吐出，從吐出泵32的噴嘴的密封劑的吐出量不易受間隙的變動的影響，總是機(jī)械地將一定量的密封劑推出。
結(jié)果，能夠?qū)⒚芊鈩┮跃鶆虻耐糠罅客糠蟮交?1上，能夠提高密封劑對基板31的涂敷精度。因而，能夠制造防止了液晶泄漏及空氣的侵入的品質(zhì)較好的液晶顯示板。
此外，根據(jù)上述，可以不需要在通過氣體壓力從噴嘴吐出密封劑的情況下必須的、將噴嘴33與基板31之間的間隙保持一定的控制(間隙控制)、或減少控制的頻率，能夠?qū)崿F(xiàn)控制的簡潔化。此外，由此能夠不需要或者減少間隙控制的處理所需的時間，所以能夠縮短密封劑的涂敷所需的時間，能夠提高效率。
(b)在以矩形狀的涂敷圖案P將密封劑涂敷在基板31上時，在涂敷開始點(diǎn)O附近、角部C附近、涂敷結(jié)束點(diǎn)F附近，由于噴嘴33與基板31的相對移動速度比直線部分S慢，所以減慢吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度，減少從噴嘴33的密封劑的每單位時間的吐出量。
此時，從噴嘴33的密封劑的每單位時間的吐出量通過由螺桿36的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行的機(jī)械的推出而響應(yīng)性良好地被控制。結(jié)果，能夠?qū)⒂删鶆虻耐糠罅繕?gòu)成的涂敷圖案描繪在基板31上。
(c)在涂敷開始點(diǎn)O附近，在角部C附近的涂敷中，在涂敷結(jié)束點(diǎn)F附近吐出泵32的噴嘴33與基板31的相對移動速度減速的情況下，使吐出泵32的螺桿36的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度與基板31的移動裝置17、18的電機(jī)24、25的旋轉(zhuǎn)速度同步地減速。
結(jié)果，能夠防止以往那樣在涂敷開始點(diǎn)O附近或角部C附近的涂敷中或涂敷結(jié)束點(diǎn)F附近密封劑的涂敷量變多，能夠以均勻的涂敷量將涂敷圖案描繪在基板31上。
(d)通過同步控制X軸的移動裝置17的電機(jī)24或Y軸方向的移動裝置18的電機(jī)25與吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度，在涂敷開始點(diǎn)O處能夠使從噴嘴33吐出密封劑的定時與載物臺30或頭22開始運(yùn)動的定時如設(shè)定那樣每次相同。
同樣，在涂敷結(jié)束點(diǎn)F，也能夠使載物臺30或頭22停止的定時與停止從噴嘴33吐出密封劑的定時每次相同。由此，能夠如設(shè)定那樣再現(xiàn)性良好地描繪密封劑的涂敷開始點(diǎn)O與涂敷結(jié)束點(diǎn)F的形狀。
(e)由于將密封劑通過螺桿36的旋轉(zhuǎn)機(jī)械地從噴嘴33推出，所以通過改變使螺桿36旋轉(zhuǎn)的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度，能夠響應(yīng)性良好地增減密封劑的每單位時間的吐出量。
因此，在因基板31的表面的膜厚及電路等的結(jié)構(gòu)而在基板31上有階差或凹部G的情況下，通過配合該階差或凹部G而改變使密封劑從噴嘴33吐出的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度來增減密封劑的涂敷量，與以往的改變施加給泵體34的氣體壓力來控制涂敷量的方式相比，能夠更容易地以目的部位所需要的密封劑的涂敷量再現(xiàn)性良好地描繪涂敷圖案。
(f)在使螺桿36旋轉(zhuǎn)時，將壓力氣體供給貯存容器40的壓力氣體室45內(nèi)，在使螺桿36的旋轉(zhuǎn)停止的定時停止壓力氣體的供給。壓力氣體在螺桿36旋轉(zhuǎn)的期間將貯存容器40內(nèi)的密封劑朝向開口43推壓，所以不會發(fā)生開口43部分處的密封劑的吸入不足，能夠可靠地將密封劑供給泵體34內(nèi)。
結(jié)果，能夠使密封劑從噴嘴穩(wěn)定地吐出，能夠防止密封劑的涂敷量不均勻、或描繪的密封劑的涂敷圖案P斷線等的不良狀況。特別是，在密封劑的粘度較高的情況下、或在螺桿36的旋轉(zhuǎn)速度較快的情況下有效。
此外，通過在使螺桿36的旋轉(zhuǎn)停止的定時停止壓力氣體的供給，在螺桿36的停止中，停止由壓力氣體對密封劑的推壓力的賦予，所以能夠防止泵體34內(nèi)的密封劑從噴嘴33泄漏。
由此，在下一次向基板31上涂敷密封劑時，能夠防止從噴嘴33泄漏而積留在噴嘴33的前端的密封劑附著在基板31上的涂敷開始位置從而涂敷量在該部分變得過多。由此，也能夠以均勻的涂敷量品質(zhì)良好地涂敷密封劑。
以上根據(jù)附圖詳細(xì)地說明了本發(fā)明的實施例，但本發(fā)明的具體的結(jié)構(gòu)并不限于該實施例，如果有不脫離本發(fā)明的主旨的范圍的設(shè)計變更，也包含在本發(fā)明中。例如，在實施例中，根據(jù)噴嘴33與基板31的相對移動速度控制吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度，但也可以控制吐出泵32的電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)速度以使密封劑的每單位長度的涂敷量一定。
此外，用在角部C附近使基板31和噴嘴33的相對移動速度減速的例子進(jìn)行了說明，但也可以仍然是直線部分S的相對移動速度。在此情況下，即使因在角部C部的移動裝置17、18的加減速而在頭22產(chǎn)生上下振動，由此使從噴嘴33的密封劑的吐出阻力變動，由于螺桿36使通過其螺紋部36A的機(jī)械的推出而推出的量的密封劑從噴嘴33吐出，所以能夠防止從噴嘴的糊料的吐出量變化。
因此，能夠?qū)逡孕枰耐糠罅客糠蠛?，即使在角部C附近也能夠以均勻的涂敷量以線狀涂敷糊料，能夠高精度地形成涂敷圖案。
此外，用進(jìn)行間隙控制的例子進(jìn)行了說明，但也可以省去間隙控制。在此情況下，既可以完全不進(jìn)行間隙控制，也可以僅在使噴嘴33位于涂敷開始點(diǎn)O時進(jìn)行間隙控制、而在圖案描繪中省去間隙控制。
此外，如圖2所示，用將螺桿36配置成其下端到達(dá)泵體34的設(shè)有噴嘴33的底部(前端部)的例子進(jìn)行了說明，但也可以如圖8所示，配置成在其下端和泵體34的底部之間設(shè)置空間47。
即，螺桿48設(shè)置在泵體34內(nèi)，上端部經(jīng)由連結(jié)部件35連結(jié)在電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)軸上，下端部為自由端。并且，螺桿48在其自由端與泵體34的設(shè)有噴嘴33的底部之間具有比圖2所示的螺桿36的自由端與泵體34的底部的間隔大的間隔，能夠使密封劑貯存在其之間。
此外，用螺桿34的螺紋部36A為一條的例子進(jìn)行了說明，但也可以是兩條以上的多根。這樣，在設(shè)置了多條(n條)具有間距P的螺紋部36A的情況下，導(dǎo)程L為L＝nP。并且，在以與具有一條螺紋部36A的螺桿36相同的間距P的等間距而具有n條螺紋部36A的螺桿36的情況下，為了得到與具有一條螺紋部36A的螺桿36相同的吐出量而需要的電機(jī)41的轉(zhuǎn)速為1/n。
因此，由于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動螺桿36的電機(jī)41的轉(zhuǎn)速為1/n就可以，所以能夠抑制因螺桿36和密封劑、或密封劑彼此的摩擦、或者電機(jī)41的發(fā)熱傳遞給密封劑等而使密封劑發(fā)熱硬化或劣化等，能夠防止因廢棄昂貴的密封劑而發(fā)生的損失。
工業(yè)實用性根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)⒑弦孕枰耐糠罅客糠笤诨迳系哪康牟课簧希軌蜻M(jìn)一步提高糊料相對于基板的涂敷精度。因而，在兩片基板為用來制造液晶顯示板的玻璃基板、液狀物質(zhì)為液晶的情況下，能夠制造可防止液晶泄漏及空氣的侵入的品質(zhì)良好的液晶顯示板。
權(quán)利要求
1.一種糊料涂敷裝置，使在兩片基板之間密封液狀物質(zhì)用的糊料從噴嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，其特征在于，具備泵機(jī)構(gòu)，具有設(shè)有噴嘴的泵體，旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置在該泵體內(nèi)、使與旋轉(zhuǎn)量相應(yīng)的量的糊料從上述噴嘴吐出的螺桿，和使該螺桿旋轉(zhuǎn)的電機(jī)；移動裝置，使該噴嘴和上述基板沿著該基板面相對地移動；控制裝置，控制上述泵機(jī)構(gòu)的電機(jī)和該移動裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述控制裝置根據(jù)上述噴嘴與上述基板的相對移動速度來控制上述泵機(jī)構(gòu)的電機(jī)。
3.如權(quán)利要求2所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述控制裝置控制上述泵機(jī)構(gòu)的電機(jī)，以使上述糊料對上述基板的每單位長度的涂敷量一定。
4.如權(quán)利要求1所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述控制裝置根據(jù)上述噴嘴與上述基板的相對位置信息控制上述泵機(jī)構(gòu)的電機(jī)，以使上述糊料對上述基板的每單位長度的涂敷量不同。
5.如權(quán)利要求4所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述控制裝置控制上述泵機(jī)構(gòu)的電機(jī)，對于具有凹部的基板，使該凹部處的每單位長度的涂敷量比該凹部以外的其他部分處的每單位長度的涂敷量多。
6.如權(quán)利要求1所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述泵體在其前端部具有上述噴嘴；上述螺桿使和上述電機(jī)的連結(jié)端的相反側(cè)的端部與上述前端部相對置，并且在該端部與上述前端部之間設(shè)置規(guī)定的間隔。
7.如權(quán)利要求1所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述兩片基板是用于制造液晶顯示板的玻璃基板，上述液狀物質(zhì)是液晶。
8.如權(quán)利要求1所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，具有貯存容器，與上述泵體連結(jié)，貯存上述糊料；氣體壓力源，向該貯存容器內(nèi)供給氣體壓力；上述氣體壓力源構(gòu)成為，在上述螺桿旋轉(zhuǎn)時向上述貯存容器內(nèi)供給壓力氣體，在上述螺桿停止時停止壓力氣體的供給。
9.如權(quán)利要求1所述的糊料涂敷裝置，其特征在于，上述螺桿具有多條螺紋部。
10.一種糊料涂敷方法，使在兩片基板間密封液狀物質(zhì)用的糊料從噴嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，其特征在于，利用使與螺桿的旋轉(zhuǎn)量對應(yīng)的量的糊料從上述噴嘴吐出的泵機(jī)構(gòu)使該糊料從該噴嘴吐出，而在上述基板上涂敷糊料時，控制上述螺桿的旋轉(zhuǎn)，以便上述糊料以規(guī)定的涂敷量被涂敷在該基板上。
11.如權(quán)利要求10所述的糊料涂敷方法，其特征在于，根據(jù)上述噴嘴與上述基板的相對移動速度來控制上述螺桿的旋轉(zhuǎn)。
12.如權(quán)利要求11所述的糊料涂敷方法，其特征在于，控制上述螺桿的旋轉(zhuǎn)，以使上述糊料對上述基板的每單位長度的涂敷量一定。
13.如權(quán)利要求10所述的糊料涂敷方法，其特征在于，根據(jù)上述噴嘴與上述基板的相對位置信息控制上述螺桿的旋轉(zhuǎn)，以使上述糊料對上述基板的每單位長度的涂敷量不同。
14.如權(quán)利要求13所述的糊料涂敷方法，其特征在于，控制上述螺桿的旋轉(zhuǎn)，對于具有凹部的基板，使該凹部處的每單位長度的涂敷量比該凹部以外的其他部分處的每單位長度的涂敷量多。
全文摘要
糊料涂敷裝置(10)具備使與電機(jī)(41)的旋轉(zhuǎn)速度對應(yīng)的量的糊料從噴嘴(33)吐出的泵機(jī)構(gòu)(32)，使噴嘴(33)和基板(31)沿著基板面相對地移動的移動裝置(17、18)，和控制泵機(jī)構(gòu)(32)的電機(jī)(41)和移動裝置(17、18)的控制裝置。
文檔編號B05D1/26GK1976760SQ20068000041
公開日2007年6月6日 申請日期2006年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月26日
發(fā)明者早藤育生, 原田浩一 申請人:芝浦機(jī)械電子株式會社