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一種實現(xiàn)離子源均勻照射鍍膜基片的屏蔽罩的制作方法

文檔序號:12769541閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種實現(xiàn)離子源均勻照射鍍膜基片的屏蔽罩,涉及離子源對承載在可旋轉鍍膜傘架上的鍍膜基片進行鍍膜,其特征在于:所述屏蔽罩設置在所述離子源的外圍,所述屏蔽罩的罩體頂部開設有扇形或類扇形開口,所述扇形或類扇形開口位于所述離子源的上方。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種實現(xiàn)離子源均勻照射鍍膜基片的屏蔽罩,其特征在于:所述扇形或類扇形開口的大小滿足于使所述離子源發(fā)射的荷能粒子在所述鍍膜傘架上的投影覆蓋所述鍍膜基片的要求。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種實現(xiàn)離子源均勻照射鍍膜基片的屏蔽罩,其特征在于:所述扇形或類扇形開口的圓心位于所述鍍膜傘架的中垂線上。

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