微波遙控鍍膜擋板裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種微波遙控鍍膜擋板裝置，構(gòu)成包括基片平面夾具、微波遙控器、發(fā)射天線(xiàn)、微波接受器、耐高溫電池、控制電路、電機(jī)、連接線(xiàn)、連接桿和擋板。所述的微波遙控器通過(guò)所述的發(fā)射天線(xiàn)發(fā)射的微波遙控信號(hào)被所述的微波接收器接收，經(jīng)所述的控制電路處理后，控制所述的電機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)連接桿帶動(dòng)所述的擋板轉(zhuǎn)動(dòng)，使擋板根據(jù)需要處在基片平面夾具的下方的合理位置，本發(fā)明對(duì)擋板的位置具有遙感、經(jīng)濟(jì)、方便和高效的控制作用。
【專(zhuān)利說(shuō)明】微波遙控鍍膜擋板裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及鍍膜，特別是一種微波遙控鍍膜擋板裝置。
【背景技術(shù)】[0002]現(xiàn)今薄膜制備技術(shù)廣泛應(yīng)用于制備太陽(yáng)能薄膜、納米微結(jié)構(gòu)、光學(xué)薄膜、光電薄膜等方面。在薄膜制備過(guò)程中，鍍膜設(shè)備中真空室的清潔、抽氣和放氣過(guò)程消耗大部分時(shí)間，真正用于鍍膜的時(shí)間很短。對(duì)于生產(chǎn)而言，特別是在蒸鍍不同膜系的薄膜產(chǎn)品時(shí)，需要分多次進(jìn)行，不斷重復(fù)真空室的清潔、抽氣和放氣過(guò)程，延長(zhǎng)了產(chǎn)品加工時(shí)間，降低了鍍膜設(shè)備的利用效率。對(duì)于實(shí)驗(yàn)而言，即使設(shè)定相同的生產(chǎn)工藝參數(shù)，不同批次制備的同種薄膜，也會(huì)在性能上出現(xiàn)差異。因此，從提高生產(chǎn)效率和實(shí)驗(yàn)對(duì)比度角度，都要求改進(jìn)設(shè)備，設(shè)計(jì)專(zhuān)門(mén)的控制裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了提供一種微波遙控可控鍍膜擋板裝置，該裝置可以在一次鍍膜過(guò)程，蒸鍍兩批或多批不同材料的薄膜，提高鍍膜工藝的生產(chǎn)效率，并且能使實(shí)驗(yàn)的對(duì)比效果增強(qiáng)。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下:
[0005]一種微波遙控鍍膜擋板裝置，特點(diǎn)在于其構(gòu)成包括:基片平面夾具、微波遙控器、發(fā)射天線(xiàn)、微波接受器、耐高溫電池、控制電路、電機(jī)、連接線(xiàn)、連接桿、擋板，所述的基片平面夾具上均勻地開(kāi)有多個(gè)供置放玻璃基片的通孔，所述的微波接收器、耐高溫電池、控制電路、電機(jī)固定在基片平面夾具的上平面，通過(guò)所述的連接線(xiàn)將所述的微波接收器、耐高溫電池、控制電路和電機(jī)相連，所述的連接桿豎直地穿過(guò)所述的基片平面夾具，該連接桿的上端與所述的電機(jī)相連，該連接桿的下端與所述的擋板的一端相固定構(gòu)成一體并置于鍍膜機(jī)的真空室內(nèi)，所述的基片平面夾具和所述的擋板平行，所述的擋板的外圍面積與所述的基片平面夾具的外圍面積相同，所述的發(fā)射天線(xiàn)的一端在真空室內(nèi)，另一端在真空室外，所述的微波遙控器在真空室外，所述的微波遙控器通過(guò)所述的發(fā)射天線(xiàn)發(fā)射的微波遙控信號(hào)被所述的微波接收器接收，經(jīng)所述的控制電路處理后，控制所述的電機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)連接桿帶動(dòng)所述的擋板轉(zhuǎn)動(dòng)，使擋板根據(jù)需要處在基片平面夾具的正下方或者其他位置，所述的高溫電池為所述的控制電路、微波接收器、電機(jī)提供電源，所述的高溫電池處固定在所述的基片平面夾具上方。
[0006]所述的通孔的上端的直徑較大，下端的直徑較小，上端和下端的連接處形成一個(gè)平臺(tái)，所述的玻璃基片的四周邊緣平行地落在平臺(tái)上，而不掉下。
[0007]所述的微波接收器、耐高溫電池、控制電路和電機(jī)分散地或集成地置于所述的基片平面夾具上。
[0008]所述的高溫電池處在基片平面夾具上，能夠避免電子束電子或蒸鍍的材料離子對(duì)高溫電池造成損害。[0009]本發(fā)明的有益效果:
[0010]1、本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)處在基片平面夾具正下方的擋板遮擋，使基片平面夾具中的玻璃基片不能被鍍膜。當(dāng)擋板繞連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)180度后，露出基片平面夾具中的玻璃基片，基片則能夠被鍍膜。因此，可以有效控制基片平面夾具中的玻璃基片的鍍膜。
[0011]2、通過(guò)一次鍍膜設(shè)備中真空室的清潔、抽氣和放氣過(guò)程，利用擋板對(duì)基片平面夾具的遮擋與否，以及電子槍對(duì)坩堝盤(pán)中不同材料的蒸發(fā)作用，可在不同的基片平面夾具中的玻璃基片下表面蒸鍍不同材料的薄膜。因此，省去原來(lái)蒸鍍不同材料薄膜過(guò)程中多次真空室的清潔、抽氣和放氣過(guò)程，可以有效節(jié)省鍍膜時(shí)間，達(dá)到經(jīng)濟(jì)、高效的目的。
[0012]3、相比鍍膜裝置真空室外面的電源，放在真空室內(nèi)的高溫電源，能夠有效避免真空室中基片平面夾具公轉(zhuǎn)過(guò)程中，連接電源的連接線(xiàn)引起的繞線(xiàn)問(wèn)題。
[0013]4、通過(guò)添加一個(gè)發(fā)射天線(xiàn)，能夠解決鍍膜設(shè)備真空腔的金屬外殼對(duì)微波的屏蔽問(wèn)題，以將微波遙控器產(chǎn)生的微波信號(hào)傳到真空腔中的微波接受器上。
[0014]5、利用微波遙控器能夠在鍍膜設(shè)備真空室外面較遠(yuǎn)的位置發(fā)射微波信號(hào)，來(lái)調(diào)節(jié)真空室中擋板的位置，起到遙感作用。
[0015]6、總之， 本發(fā)明微波遙控鍍膜擋板裝置是一種可控、經(jīng)濟(jì)、高效和遙感的鍍膜擋板裝置。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本發(fā)明微波遙控鍍膜擋板裝置的示意圖
[0017]圖2是本發(fā)明微波遙控鍍膜擋板裝置在鍍膜設(shè)備上的位置示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說(shuō)明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0019]先請(qǐng)參閱圖1至圖2所示，由圖可見(jiàn)，本發(fā)明微波遙控鍍膜擋板裝置，包括:基片平面夾具1、微波遙控器2、發(fā)射天線(xiàn)3、微波接受器4、耐高溫電池5、控制電路6、電機(jī)7、連接線(xiàn)8、連接桿9、擋板10。所述的基片平面夾具I上均勻開(kāi)有四個(gè)通孔1-1，通孔1-1大小和數(shù)目根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定，所述的通孔1-1上端較大，使玻璃基片能夠通過(guò)，所述通孔下端較小，上通孔、下通孔連接處形成一個(gè)平臺(tái)，使玻璃基片四周邊緣平行落在平臺(tái)上，而不掉下。所述的微波接收器4、耐高溫電池5、控制電路6和電機(jī)7位于基片平面夾具I的上平面上。所述的微波接收器4、耐高溫電池5、控制電路6和電機(jī)7相互之間可以組合到一起，或者分開(kāi)，但是要保證它們的位置固定，不隨著基片平面夾具I移動(dòng)而掉落。通過(guò)所述的連接線(xiàn)8，將所述的微波接收器4、耐高溫電池5、控制電路6和電機(jī)7連接。所述的基片平面夾具I邊緣開(kāi)有一個(gè)貫穿基片平面夾具I上下平面的孔道，此孔道直徑大于所述的連接桿9的直徑，使所述的連接桿9豎直穿過(guò)基片平面夾具I。所述的連接桿9的上端與固定在所述的基片平面夾具I上表面的電機(jī)7相連，連接桿9的下端固定在擋板10的一端。所述的擋板10外圍面積與基片平面夾具I外圍面積相同。通過(guò)所述電機(jī)7驅(qū)動(dòng)連接桿9和擋板10轉(zhuǎn)動(dòng)，使擋板10根據(jù)需要處在基片平面夾具I正下面或者其他位置。所述的發(fā)射天線(xiàn)3的一端在真空室11內(nèi)，另一端在真空室11外。所述的微波遙控器2在真空室11外。通過(guò)所述的發(fā)射天線(xiàn)3將微波遙控器2發(fā)出的信號(hào)傳到微波接收器4上。所述的控制電路6處理接受信號(hào)，控制電機(jī)7的運(yùn)轉(zhuǎn)。所述的高溫電池5為所述的控制電路6、微波接收器4、電機(jī)7提供電源。所述的高溫電池5處在基片平面夾具I上，避免電子槍12濺射的電子束電子或坩堝13中蒸鍍的材料離子對(duì)高溫電池5造成損害。
[0020]鍍膜過(guò)程中不同坩堝13中存放不同的材料，轉(zhuǎn)動(dòng)坩堝盤(pán)14，可以實(shí)現(xiàn)電子槍12對(duì)不同坩堝13中的材料進(jìn)行熔融蒸發(fā)?；矫鎶A具I嵌入托盤(pán)15中，為了保證鍍膜的均勻性，基片平面夾具I隨托盤(pán)15繞軸16轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)電子槍12濺射不同坩堝13中的不同材料，以及擋板10對(duì)基片平面夾具I中玻璃基片的遮擋與否，對(duì)不同基片平面夾具I中玻璃基片下表面蒸鍍不同材料的薄膜。托盤(pán)15上的平面夾具I數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行添加。
[0021]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明 原理的前提下，還可以做出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種微波遙控鍍膜擋板裝置，特征在于其構(gòu)成包括:基片平面夾具(I)、微波遙控器(2)、發(fā)射天線(xiàn)(3)、微波接受器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)、電機(jī)(7)、連接線(xiàn)(8)、連接桿(9)、擋板(10)，所述的基片平面夾具(I)上均勻地開(kāi)有多個(gè)供置放玻璃基片的通孔(1- 1)，所述的微波接收器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)、電機(jī)(7)固定在基片平面夾具(I)的上平面，通過(guò)所述的連接線(xiàn)(8)將所述的微波接收器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)和電機(jī)(7)相連，所述的連接桿(9)豎直地穿過(guò)所述的基片平面夾具，該連接桿的上端與所述的電機(jī)相連，該連接桿的下端與所述的擋板的一端相固定構(gòu)成一體并置于鍍膜機(jī)的真空室內(nèi)，所述的基片平面夾具和所述的擋板平行，所述的擋板的外圍面積與所述的基片平面夾具的外圍面積相同，所述的發(fā)射天線(xiàn)的一端在真空室內(nèi)，另一端在真空室外，所述的微波遙控器在真空室外，所述的微波遙控器通過(guò)所述的發(fā)射天線(xiàn)發(fā)射的微波遙控信號(hào)被所述的微波接收器接收，經(jīng)所述的控制電路處理后，控制所述的電機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)連接桿帶動(dòng)所述的擋板轉(zhuǎn)動(dòng)，使擋板根據(jù)需要處在基片平面夾具的正下方或者其他位置，所述的高溫電池為所述的控制電路、微波接收器、電機(jī)提供電源，所述的高溫電池處固定在所述的基片平面夾具上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波遙控鍍膜擋板裝置，其特征在于所述的通孔(1-1)的上端的直徑較大，下端的直徑較小，上端和下端的連接處形成一個(gè)平臺(tái)，所述的玻璃基片的四周邊緣平行地落在平臺(tái)上，而不掉下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波遙控鍍膜擋板裝置，其特征在于所述的微波接收器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)和電機(jī)(7)分散地或集成地置于所述的基片平面夾具上。`
【文檔編號(hào)】C23C14/54GK103726018SQ201310545333
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月6日
【發(fā)明者】于振坤, 單海洋, 孔釩宇, 孫建, 孫衛(wèi), 齊紅基, 徐學(xué)科, 賀洪波, 易葵 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所