一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅晶片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體講是一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在娃晶片生廣制造的過(guò)程中，首先需要將娃晶棒進(jìn)行切片，但是在切片之前為了保證切片后硅晶片的質(zhì)量需要將硅晶棒倒角，未倒角的硅晶棒切片后的硅晶片邊緣表面會(huì)存在有棱角毛刺崩邊甚至有裂縫等缺陷，邊緣表面比較粗糙，為了增加硅晶片邊緣表面機(jī)械強(qiáng)度、減少顆粒污染，因此需要將硅晶棒的邊緣磨削呈圓弧狀或梯形。倒角工序大都在硅晶棒倒角設(shè)備上進(jìn)行，目前有一種硅晶棒倒角設(shè)備包括機(jī)體，機(jī)體內(nèi)設(shè)有打磨組件，機(jī)體上設(shè)有兩塊限位塊，所述兩限位塊之間形成有適于對(duì)放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部設(shè)有打磨口，所述打磨組件的打磨部件位于打磨口內(nèi)，所述限位塊分為活動(dòng)限位塊和固定限位塊，所述活動(dòng)限位塊通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)其在水平方向上靠近或遠(yuǎn)離所述固定限位塊。在實(shí)踐操作中，通過(guò)對(duì)活動(dòng)限位塊與固定限位塊之間間距的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)在實(shí)際生產(chǎn)時(shí)根據(jù)不同規(guī)格的硅晶棒對(duì)V形槽底部的打磨口寬度的調(diào)整，但是目前活動(dòng)限位塊的固定方式大都是采用螺栓固定的方式，在調(diào)整打磨口寬度時(shí)，先手動(dòng)松動(dòng)螺栓，將活動(dòng)限位塊沿水平方向平移到合適位置時(shí)再鎖緊螺栓，此種調(diào)整的方式往往不夠準(zhǔn)確需要多次調(diào)節(jié)活動(dòng)限位塊的位置，操作極為繁瑣。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設(shè)備，此設(shè)備可以快捷的對(duì)V形槽底部打磨口的寬度進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高工作效率。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設(shè)備，包括機(jī)體，機(jī)體內(nèi)設(shè)有打磨組件，機(jī)體上設(shè)有兩塊限位塊，所述兩限位塊之間形成有適于對(duì)放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部設(shè)有打磨口，所述機(jī)體內(nèi)與所述打磨口對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有打磨組件，兩限位塊中的一個(gè)為固定限位塊，另一個(gè)為活動(dòng)限位塊，所述機(jī)體上設(shè)有帶動(dòng)所述活動(dòng)限位塊在水平方向上靠近或遠(yuǎn)離所述固定限位塊的驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)于機(jī)體上的至少兩根水平且平行設(shè)置的絲桿和一根傳動(dòng)軸，所述各絲桿的一端與所述活動(dòng)限位塊上的螺孔配合，所述各絲桿的另一端設(shè)有第一錐齒輪，所述傳動(dòng)軸垂直于絲桿設(shè)置，并在其上設(shè)有與所述第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪，所述傳動(dòng)軸的端部設(shè)有利于旋轉(zhuǎn)其的旋擰部。
[0005]采用上述結(jié)構(gòu)后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):與原有的手工調(diào)整相比，通過(guò)旋擰傳動(dòng)軸端部的旋擰部驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由于傳動(dòng)軸的兩端設(shè)有與絲桿上第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪，因此在傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)各絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)，又因絲桿和活動(dòng)限位塊上的螺孔配合，因而在絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)活動(dòng)限位塊在水平方向上平移至合適位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)V形槽下端的打磨口寬度的調(diào)節(jié)，以應(yīng)對(duì)不同規(guī)格的硅晶棒，調(diào)節(jié)方便快捷，有效節(jié)省調(diào)整時(shí)間，提高工作效率。
[0006]作為改進(jìn)，V形槽的上方設(shè)有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體上的支架、水平設(shè)置的第一活動(dòng)板、驅(qū)動(dòng)第一活動(dòng)板上下移動(dòng)的第一氣缸、兩相對(duì)設(shè)置的第二活動(dòng)板、固定在所述第一活動(dòng)板上的用于驅(qū)動(dòng)兩第二活動(dòng)板相向或相離運(yùn)動(dòng)的第二氣缸，所述第二氣缸為兩端均設(shè)有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動(dòng)板內(nèi)側(cè)相對(duì)位置裝設(shè)有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，其中一夾塊由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，這樣，打磨完成后通過(guò)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將硅晶棒翻轉(zhuǎn)90度再對(duì)下一棱角打磨，節(jié)省人工翻轉(zhuǎn)硅晶棒所需要消耗的人力和時(shí)間，有效提高工作效率。
[0007]作為改進(jìn)，第一活動(dòng)板上設(shè)有沿第二氣缸軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽，所述第二活動(dòng)板的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽滑動(dòng)配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺(tái)，這樣，通過(guò)燕尾凸臺(tái)與燕尾槽的配合從而將第一活動(dòng)板與第二活動(dòng)板活動(dòng)連接，所述第二活動(dòng)板在受第二氣缸驅(qū)使移動(dòng)的過(guò)程中，燕尾凸臺(tái)與對(duì)應(yīng)的燕尾槽位置隨之發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，在翻轉(zhuǎn)硅晶棒時(shí)，硅晶棒的重量由第一活動(dòng)板和第二氣缸的氣缸桿共同承擔(dān)，從而能夠避免僅由第二氣缸的氣缸桿承受硅晶棒重量時(shí)容易發(fā)生彎曲變形的問(wèn)題，延長(zhǎng)使用壽命。
[0008]作為改進(jìn)，所述第二氣缸通過(guò)螺栓組件固定在第一活動(dòng)板上，所述第一活動(dòng)板上對(duì)應(yīng)安裝第二氣缸的位置設(shè)有定位凸臺(tái)，所述第二氣缸上設(shè)有與所述定位凸臺(tái)配合的定位槽，這樣，將定位凸臺(tái)與定位槽配合后，能夠?qū)⒌诙飧卓焖俣ㄎ?，從而便于第二氣缸上的螺孔與第一活動(dòng)板上的螺孔對(duì)齊，方便螺栓組件固定。
[0009]作為改進(jìn)，螺栓組件包括緊固螺栓和與之配合的彈性墊片及力矩螺母，這樣一來(lái)就能夠?qū)⒌诙飧桌慰康墓潭ㄔ诘谝换顒?dòng)板上。
[0010]作為改進(jìn)，驅(qū)動(dòng)組件外部設(shè)有罩殼，這樣，可以避免雜質(zhì)和油污進(jìn)入對(duì)絲桿和傳動(dòng)軸造成損壞，提尚設(shè)備的可靠性。
[0011]作為改進(jìn)，旋擰部為外六角、內(nèi)六角或旋柄，這樣，可通過(guò)多種方式驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，便于實(shí)現(xiàn)，同時(shí)方便實(shí)際使用。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型中硅晶棒倒角設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型中驅(qū)動(dòng)組件的透視圖。
[0014]圖3為本實(shí)用新型中，第二活動(dòng)板與第一活動(dòng)板連接時(shí)的左視圖。
[0015]圖中所示，1、機(jī)體，3、支架，5、第一活動(dòng)板，6、第一氣缸，7、第二活動(dòng)板，8、第二氣缸，9、夾塊，10、導(dǎo)向桿，11、燕尾槽，12、燕尾凸臺(tái)，13、螺栓組件，14、電機(jī)，15、打磨口，16、活動(dòng)限位塊，17、固定限位塊，18、絲桿，19、傳動(dòng)軸，20、第一錐齒輪，21、第二錐齒輪，22、旋擰部，23、罩殼。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明:
[0017]本實(shí)用新型提出一種便于調(diào)節(jié)的硅晶棒倒角設(shè)備，包括機(jī)體I，機(jī)體I內(nèi)設(shè)有打磨組件，機(jī)體I上設(shè)有兩塊限位塊，所述兩限位塊之間形成有適于對(duì)放置硅晶棒的V形槽，V形槽底部設(shè)有打磨口 15，所述機(jī)體I內(nèi)與所述打磨口 15對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有打磨組件，兩限位塊中的一個(gè)為固定限位塊17，另一個(gè)為活動(dòng)限位塊16，所述機(jī)體I上設(shè)有帶動(dòng)所述活動(dòng)限位塊16在水平方向上靠近或遠(yuǎn)離所述固定限位塊17的驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)于機(jī)體I上的至少兩根水平且平行設(shè)置的絲桿18和一根傳動(dòng)軸19，所述各絲桿18的一端與所述活動(dòng)限位塊16上的螺孔配合，所述各絲桿18的另一端設(shè)有第一錐齒輪20，所述傳動(dòng)軸19垂直于絲桿18設(shè)置，并在其上設(shè)有與所述第一錐齒輪20相嚙合的第二錐齒輪21，所述傳動(dòng)軸19的端部設(shè)有利于旋轉(zhuǎn)其的旋擰部22。本實(shí)用新型與原有的手工調(diào)整相比，通過(guò)旋擰傳動(dòng)軸19端部的旋擰部22驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸19轉(zhuǎn)動(dòng)，由于傳動(dòng)軸19的兩端設(shè)有與絲桿18上第一錐齒輪20相嚙合