的氣體濃度B進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)結(jié)果傳送給所述控制器260。所述控制器260接收到所述進(jìn)氣口 241的氣體濃度A和排氣口 242的氣體濃度B之后進(jìn)行對(duì)比，從而得到所述尾氣處理裝置240的處理效果。
[0041]本實(shí)施例中，所述尾氣處理裝置240為干法吸附式尾氣處理裝置，所述尾氣處理裝置240通過(guò)濾料吸附有毒有害氣體實(shí)現(xiàn)尾氣處理。
[0042]所述控制器260中設(shè)定有控制系數(shù)K，用于判斷所述尾氣處理裝置240中濾料的更換周期。當(dāng)A-B > K時(shí)，則判定所述尾氣處理裝置240的濾料未失效；當(dāng)A-B < K時(shí)，則判定所述尾氣處理裝置240的濾料已失效。
[0043]請(qǐng)繼續(xù)參考圖2，所述尾氣處理系統(tǒng)200還包括制程氣體檢測(cè)裝置280和氮?dú)膺M(jìn)口281，所述制程氣體檢測(cè)裝置280的輸出端與所述控制器260連接，用于偵測(cè)干刻設(shè)備的生產(chǎn)狀態(tài)，所述氮?dú)膺M(jìn)口 281與所述尾氣處理裝置240的進(jìn)氣口 241連接，用于通入氮?dú)?，所述氮?dú)膺M(jìn)口 281與所述尾氣處理裝置240的進(jìn)氣口 241之間設(shè)置有一單向閥268。
[0044]如圖2所示，當(dāng)所述制程氣體檢測(cè)裝置280偵測(cè)到干刻設(shè)備中有工藝氣體(即處于生產(chǎn)狀態(tài))，所述控制器260打開(kāi)所述單向閥268，所述氮?dú)膺M(jìn)口 281輸送的氮?dú)馔ㄟ^(guò)所述進(jìn)氣口 241進(jìn)入尾氣處理裝置240。當(dāng)所述制程氣體檢測(cè)裝置280未偵測(cè)到干刻設(shè)備中有工藝氣體(即處于非生產(chǎn)狀態(tài))，所述控制器260關(guān)閉所述單向閥268，停止輸送氮?dú)狻?br>[0045]在干刻設(shè)備開(kāi)始工作時(shí)，向所述尾氣處理裝置240輸送氮?dú)饽軌蛳♂屛矚獾臍怏w濃度，并增加氣體壓力，從而達(dá)到充分吸附過(guò)濾的目的，提高尾氣處理效果。
[0046]本實(shí)施例中，所述尾氣處理系統(tǒng)200中設(shè)置有尾氣檢測(cè)裝置220，通過(guò)尾氣檢測(cè)裝置220分別對(duì)所述尾氣處理裝置240的進(jìn)氣口 241和排氣口 242的氣體濃度進(jìn)行檢測(cè)，從而準(zhǔn)確判斷所述尾氣處理裝置240的處理效果。進(jìn)一步的，所述尾氣處理系統(tǒng)200中設(shè)置有氮?dú)膺M(jìn)口 281，通過(guò)所述氮?dú)膺M(jìn)口 281向所述尾氣檢測(cè)裝置220輸送氮?dú)?，能夠提高尾氣處理效果?br>[0047]【實(shí)施例二】
[0048]請(qǐng)參考圖3，其為本實(shí)用新型實(shí)施例二的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述尾氣處理系統(tǒng)300用于對(duì)干刻設(shè)備排放的尾氣進(jìn)行處理，所述尾氣處理系統(tǒng)300包括:尾氣檢測(cè)裝置320、第一尾氣處理裝置340、第二尾氣處理裝置350和控制系統(tǒng)；所述第一尾氣處理裝置340和第二尾氣處理裝置350均具有一進(jìn)氣口和一排氣口，所述第一尾氣處理裝置340的排氣口與所述第二尾氣處理裝置350的進(jìn)氣口連接，所述第二尾氣處理裝置350的排氣口與所述第一尾氣處理裝置340的進(jìn)氣口連接，所述第一尾氣處理裝置340和第二尾氣處理裝置350的進(jìn)氣口和排氣口均與所述尾氣檢測(cè)裝置320連接，所述尾氣檢測(cè)裝置320與所述控制系統(tǒng)連接。
[0049]具體的，如圖3所示，所述第一尾氣處理裝置340具有第一進(jìn)氣口 341和第一排氣口 342，所述第二尾氣處理裝置350具有第二進(jìn)氣口 351和第二排氣口 352，所述控制系統(tǒng)包括第一電磁閥361、第二電磁閥362、第三電磁閥363、第四電磁閥364、第五電磁閥365、第六電磁閥366、第七電磁閥367、第八電磁閥368和控制器360，所述第一電磁閥361、第二電磁閥362、第三電磁閥363、第四電磁閥364、第五電磁閥365、第六電磁閥366、第七電磁閥367和第八電磁閥368的開(kāi)合均由所述控制器360控制。
[0050]其中，所述第一電磁閥361設(shè)置于所述第一尾氣處理裝置340的第一進(jìn)氣口 341與尾氣檢測(cè)裝置320之間，所述第二電磁閥362設(shè)置于所述第一尾氣處理裝置340的第一排氣口 342與尾氣檢測(cè)裝置320之間，所述第三電磁閥343設(shè)置于所述第一尾氣處理裝置340的第一排氣口 342上，用于控制所述第一排氣口 342的開(kāi)合。所述第五電磁閥365設(shè)置于所述第二尾氣處理裝置350的第二進(jìn)氣口 351與尾氣檢測(cè)裝置320之間，所述第六電磁閥366設(shè)置于所述第二尾氣處理裝置350的第二排氣口 352與尾氣檢測(cè)裝置320之間，所述第七電磁閥347設(shè)置于所述第二尾氣處理裝置350的第二排氣口 352上，用于控制所述第二排氣口 352的開(kāi)合。
[0051]所述第四電磁閥364設(shè)置于所述第一尾氣處理裝置340的第一排氣口 342與第二尾氣處理裝置350的第二進(jìn)氣口 351之間，用于控制所述第一尾氣處理裝置340處理后的尾氣向所述第二尾氣處理裝置350輸送。所述第八電磁閥364設(shè)置于所述第一尾氣處理裝置340的第一排氣口 342與第二尾氣處理裝置350的第二進(jìn)氣口 351之間，用于控制所述第二尾氣處理裝置350處理后的尾氣向所述第一尾氣處理裝置340輸送。
[0052]本實(shí)施例與實(shí)施例一不同之處在于，所述尾氣處理系統(tǒng)300不是只有一個(gè)尾氣處理裝置，而是包括兩個(gè)串聯(lián)的尾氣處理裝置。如圖3所示，當(dāng)所述第一尾氣處理裝置340的處理效果變差，但濾料還沒(méi)到更換周期時(shí)，可通過(guò)所述控制器360將第三電磁閥343關(guān)閉同時(shí)將第四電磁閥364打開(kāi)，使得所述第一尾氣處理裝置340處理之后的尾氣進(jìn)入所述第二尾氣處理裝置350中再次進(jìn)行處理，由此延長(zhǎng)所述第一尾氣處理裝置340中濾料的使用周期。
[0053]需要確認(rèn)所述第一尾氣處理裝置340的處理效果時(shí)，通過(guò)所述控制器360打開(kāi)所述第一電磁閥361、第二電磁閥362，并關(guān)閉所述第三電磁閥343 ;需要確認(rèn)所述第二尾氣處理裝置350的處理效果時(shí)，通過(guò)所述控制器360打開(kāi)第五電磁閥365和第六電磁閥366，并關(guān)閉所述第七電磁閥347;不需要確認(rèn)所述第一尾氣處理裝置340和第二尾氣處理裝置350的處理效果時(shí)，所述第三電磁閥343和第七電磁閥347均處于常開(kāi)狀態(tài)，所述第一電磁閥361、第二電磁閥362、所述第五電磁閥365和第六電磁閥366均處于常閉狀態(tài)。
[0054]當(dāng)所述第一電磁閥361處于開(kāi)啟狀態(tài)時(shí)，所述尾氣檢測(cè)裝置320對(duì)第一尾氣處理裝置340的第一進(jìn)氣口 341的氣體濃度Al進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)結(jié)果傳送給所述控制器360。當(dāng)所述第二電磁閥362處于開(kāi)啟狀態(tài)時(shí)，所述尾氣檢測(cè)裝置320對(duì)所述第一尾氣處理裝置340的第一排氣口 342的氣體濃度BI進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)結(jié)果傳送給所述控制器360。所述控制器360接收到所述第一進(jìn)氣口 341的氣體濃度Al和第一排氣口 342的氣體濃度BI之后進(jìn)行對(duì)比，從而得到所述第一尾氣處理裝置340的處理效果。
[0055]通過(guò)所述控制器360打開(kāi)所述第五電磁閥365時(shí)，所述尾氣檢測(cè)裝置320對(duì)所述第二尾氣處理裝置350的第二進(jìn)氣口 351的氣體濃度A2進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)結(jié)果傳送給所述控制器360。通過(guò)所述控制器360打開(kāi)所述第六電磁閥366時(shí)，所述尾氣檢測(cè)裝置320對(duì)所述第二尾氣處理裝置350的第二排氣口 352的氣體濃度B2進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)結(jié)果傳送給所述控制器360。所述控制器360接收到所述第一進(jìn)氣口 341的氣體濃度A2和第一排氣口 342的氣體濃度B2之后進(jìn)行對(duì)比，從而得到所述第二尾氣處理裝置350的處理效果。
[0056]所述控制器360中設(shè)定有控制系數(shù)K，用于判斷所述第一尾氣處理裝置340和第二尾氣處理裝置350中濾料的更換周期。當(dāng)Al-Bl > K時(shí)，則判定所述第一尾氣處理裝置340的濾料未失效；當(dāng)Al-Bl ( K時(shí)，則判定所述第一尾氣處理裝置340的濾料已失效。當(dāng)A2-B2 > K時(shí)，則判定所述第二尾氣處理裝置350的濾料未失效；當(dāng)A2-B2 ( K時(shí)，則判定所述第二尾氣處理裝置350的濾料已失效。
[0057]請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，所述尾氣處理系統(tǒng)300還包括制程氣體檢測(cè)裝置380和第一氮?dú)膺M(jìn)口 381和第二氮?dú)膺M(jìn)口 382，所述制程氣體檢測(cè)裝置380的輸出端與所述控制器360連接，用于偵測(cè)干刻設(shè)備的生產(chǎn)狀態(tài)，所述第一氮?dú)膺M(jìn)口 381與所述第一尾氣處理裝置340的第一進(jìn)氣口 341連接，所述第一氮?dú)膺M(jìn)口 381與所述第一尾氣處理裝置340的第一進(jìn)氣口341之間設(shè)置有第一單向閥368，所述第二氮?dú)膺M(jìn)口 382與所述第二尾氣處理裝置350的第二進(jìn)氣口 351連接，所述第二氮?dú)膺M(jìn)口 382與所述第二尾氣處理裝置350的第二進(jìn)氣口 351之間設(shè)置有第二單向閥369。
[0058]如圖3所示，當(dāng)所述制程氣體檢測(cè)裝置380偵測(cè)到干刻設(shè)備中有工藝氣體(即處于生產(chǎn)狀態(tài))時(shí)，所述控制器360打開(kāi)所述第一單向閥368，所述第一氮?dú)膺M(jìn)口 381輸送的氮?dú)馔ㄟ^(guò)所述第一進(jìn)氣口 341進(jìn)入第一尾氣處理裝置340，同時(shí)所述控制器360打開(kāi)所述第二單向閥369，所述第二氮?dú)膺M(jìn)口 382輸送的氮?dú)馔ㄟ^(guò)所述進(jìn)氣口 342進(jìn)入第二尾氣處理裝置350 ;當(dāng)所述制程氣體檢測(cè)裝置380未偵測(cè)到干刻設(shè)備中有工藝氣體(即處于非生產(chǎn)狀態(tài))時(shí)，所述控制器360關(guān)閉所述第一單向閥368和第二單向閥369，停止輸送氮?dú)狻?br>[0059]在干刻設(shè)