尾氣處理系統(tǒng)和干刻設備的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本實用新型涉及尾氣處理技術(shù)領域，特別涉及一種尾氣處理系統(tǒng)和干刻設備。
【背景技術(shù)】
[0002]刻蝕工藝是用化學或物理的方法有選擇地從基材表面去除不需要的材料的過程，其中干法刻蝕(Dry Etching)，以下簡稱干刻，具有很好的各向異性刻蝕和線寬控制，已經(jīng)在微電子技術(shù)中得到廣泛的應用。
[0003]干刻工藝產(chǎn)生的尾氣往往含有有毒有害成分，需要進行處理。因此，現(xiàn)有的干刻設備通常包含尾氣處理裝置，用于對干刻設備的尾氣進行處理以達到排放標準，從而減少對大氣的污染。請參考圖1，其為現(xiàn)有的干刻設備的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的干刻設備10包括:干刻腔室110、真空泵120和尾氣處理裝置130 ;所述真空泵120的一端與所述干刻腔室110連接，所述真空泵120的另一端與所述尾氣處理裝置120的進氣口連接；所述干刻腔室110產(chǎn)生的尾氣經(jīng)由所述真空泵120輸送至所述尾氣處理裝置130，經(jīng)所述尾氣處理裝置120處理后通過所述尾氣處理裝置120的排氣口向外排放。
[0004]目前，所述尾氣處理裝置130通常為干法吸附式尾氣處理裝置，即以特定的化學物質(zhì)(濾料)來吸收有害尾氣。在尾氣處理過程中，濾料會逐漸失效，因此需要定期更換。
[0005]然而，實際生產(chǎn)過程中濾料是否失效只能通過濾料的顏色來判別，這種判別方式可靠性較低。因此，目前采用的尾氣處理裝置130無法準確判斷其尾氣處理效果。而且，所述尾氣處理裝置130的濾料在尾氣處理過程中由于與尾氣發(fā)生化學反應，由原有的顆粒狀變?yōu)榉勰?，從而造成排氣壓力上升，進而影響尾氣處理效果。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型的目的在于提供一種尾氣處理系統(tǒng)和干刻設備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中干刻設備的尾氣處理效果無法準確判斷的問題。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種尾氣處理系統(tǒng)，用于對干刻設備排放的尾氣進行處理，所述尾氣處理系統(tǒng)包括:尾氣檢測裝置、尾氣處理裝置和控制系統(tǒng)；
[0008]所述尾氣處理裝置具有一進氣口和一排氣口，所述進氣口和排氣口均與所述尾氣檢測裝置連接，所述尾氣檢測裝置與所述控制系統(tǒng)連接。
[0009]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，所述控制系統(tǒng)包括:第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥和控制器；
[0010]所述第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥的開合均由所述控制器控制。
[0011]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，所述第一電磁閥設置于所述尾氣檢測裝置與所述尾氣處理裝置的進氣口之間，所述第二電磁閥設置于所述尾氣檢測裝置與所述尾氣處理裝置的排氣口之間，所述第三電磁閥設置于所述尾氣處理裝置的排氣口上。
[0012]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，還包括:制程氣體檢測裝置和氮氣進口 ；
[0013]所述制程氣體檢測裝置與所述控制器連接，用于偵測干刻設備是否處于生產(chǎn)狀態(tài)；
[0014]所述氮氣進口與所述尾氣處理裝置的進氣口連接，用于向所述尾氣處理裝置通入氮氣；
[0015]所述氮氣進口與所述尾氣處理裝置的進氣口之間設置有一單向閥。
[0016]本實用新型還提供一種尾氣處理系統(tǒng)，用于對干刻設備排放的尾氣進行處理，所述尾氣處理系統(tǒng)包括:
[0017]尾氣檢測裝置、第一尾氣處理裝置、第二尾氣處理裝置和控制系統(tǒng)；
[0018]所述第一尾氣處理裝置和第二尾氣處理裝置均具有一進氣口和一排氣口，所述第一尾氣處理裝置的排氣口與所述第二尾氣處理裝置的進氣口連接，所述第二尾氣處理裝置的排氣口與所述第一尾氣處理裝置的進氣口連接，所述第一尾氣處理裝置和第二尾氣處理裝置的進氣口和排氣口均與所述尾氣檢測裝置連接，所述尾氣檢測裝置與所述控制系統(tǒng)連接。
[0019]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，所述控制系統(tǒng)包括:第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第五電磁閥、第六電磁閥、第七電磁閥、第八電磁閥和控制器；
[0020]所述第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第五電磁閥、第六電磁閥、第七電磁閥和第八電磁閥的開合均由所述控制器控制。
[0021]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，所述第一電磁閥設置于所述第一尾氣處理裝置的第一進氣口與尾氣檢測裝置之間，所述第二電磁閥設置于所述第一尾氣處理裝置的第一排氣口與尾氣檢測裝置之間，所述第三電磁閥設置于所述第一尾氣處理裝置的第一排氣口上，所述第四電磁閥設置于所述第一尾氣處理裝置的第一排氣口與第二尾氣處理裝置的第二進氣口之間；
[0022]所述第五電磁閥設置于所述第二尾氣處理裝置的第二進氣口與尾氣檢測裝置之間，所述第六電磁閥設置于所述第二尾氣處理裝置的第二排氣口與尾氣檢測裝置之間，所述第七電磁閥設置于所述第二尾氣處理裝置的第二排氣口上，所述第八電磁閥設置于所述第一尾氣處理裝置的第一排氣口與第二尾氣處理裝置的第二進氣口之間。
[0023]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，還包括:制程氣體檢測裝置、第一氮氣進口和第二氮氣進口；
[0024]所述制程氣體檢測裝置與所述控制器連接，用于偵測干刻設備是否處于生產(chǎn)狀態(tài)；
[0025]所述第一氮氣進口與所述第一尾氣處理裝置的第一進氣口連接，用于向所述第一尾氣處理裝置通入氮氣；
[0026]所述第二氮氣進口與所述第二尾氣處理裝置的第二進氣口連接，用于向所述第二尾氣處理裝置通入氮氣。
[0027]可選的，在所述的尾氣處理系統(tǒng)中，所述第一氮氣進口與第一進氣口之間以及所述第二氮氣進口與第二進氣口之間均設置有一單向閥。
[0028]相應的，本實用新型還提供一種干刻設備，所述干刻設備包括:干刻腔室、真空泵和如上所述的尾氣處理系統(tǒng)；
[0029]所述真空泵的一端與所述干刻腔室連接，所述真空泵的另一端與尾氣處理系統(tǒng)連接；
[0030]所述干刻腔室產(chǎn)生的尾氣經(jīng)由所述真空泵輸送至所述尾氣處理系統(tǒng)，并經(jīng)所述尾氣處理系統(tǒng)處理后向外排放。
[0031]在本實用新型實施例提供的尾氣處理系統(tǒng)和干刻設備中，通過尾氣檢測裝置分別對尾氣處理裝置的進氣口和排氣口的氣體濃度進行檢測，從而對所述尾氣處理裝置的處理效果實現(xiàn)準確判斷。進一步的，所述尾氣處理系統(tǒng)采用串聯(lián)設置的尾氣處理裝置，即使發(fā)現(xiàn)尾氣處理裝置的處理效果變差，也不必立即更換濾料，只需讓串聯(lián)的其他尾氣處理裝置參與工作即可，從而延長了濾料的更換周期，而且尾氣處理裝置的進氣口與氮氣進口連接，向尾氣處理裝置通入氮氣不但能夠提高處理效果，而且能夠降低真空泵的損耗。
【附圖說明】
[0032]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的干刻設備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2是本實用新型實施例一的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖3是本實用新型實施例二的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0035]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的尾氣處理系統(tǒng)和干刻設備作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0036]【實施例一】
[0037]請參考圖2，其為本實用新型實施例一的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，所述尾氣處理系統(tǒng)200用于對干刻設備排放的尾氣進行處理，所述尾氣處理系統(tǒng)200包括:尾氣檢測裝置220、尾氣處理裝置240和控制系統(tǒng)；所述尾氣處理裝置240具有一進氣口 241和一排氣口 242，所述進氣口 241和排氣口 242均與所述尾氣檢測裝置220連接，所述尾氣檢測裝置220與所述控制系統(tǒng)連接。
[0038]具體的，所述控制系統(tǒng)包括第一電磁閥261、第二電磁閥262、第三電磁閥363和控制器260，所述第一電磁閥261、第二電磁閥262和第三電磁閥363的開合均由所述控制器260控制。如圖2所示，所述第一電磁閥261設置于所述尾氣檢測裝置220與所述尾氣處理裝置240的進氣口 241之間，所述第二電磁閥262設置于所述尾氣檢測裝置220與所述尾氣處理裝置240的排氣口 242之間，所述第三電磁閥243設置于所述尾氣處理裝置240的排氣口 242上，用于控制所述排氣口 242的開合。
[0039]需要確認所述尾氣處理裝置240的處理效果時，通過所述控制器260打開所述第一電磁閥261和第二電磁閥262，并關閉所述第三電磁閥243。不需要確認所述尾氣處理裝置240的處理效果時，所述第三電磁閥243處于常開狀態(tài)，所述第一電磁閥261和第二電磁閥262處于常閉狀態(tài)。
[0040]當所述第一電磁閥261處于開啟狀態(tài)時，所述尾氣檢測裝置220對進氣口 241的氣體濃度A進行檢測，并將檢測結(jié)果傳送給所述控制器260。當所述第二電磁閥262處于開啟狀態(tài)時，所述尾氣檢測裝置220對排氣口 242