一上臂部42的轉(zhuǎn)動(dòng)并進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)施形態(tài)中，通過(guò)調(diào)節(jié)第一手部用滑輪54與第一固定滑輪55的變速比、即第一手部43相對(duì)第一上臂部42的減速比實(shí)現(xiàn)該動(dòng)作。該減速比在1.35以上且1.65以下的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定，如果將減速比在這樣的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定，則第一手部43以避開(kāi)第二手部機(jī)構(gòu)140的形式從動(dòng)于第一上臂部42的轉(zhuǎn)動(dòng)地進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。又，通過(guò)與第一下臂部41的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作協(xié)同進(jìn)行，第一基板保持部43a能夠以如下形式移動(dòng):使第一基板保持部43a的移動(dòng)軌跡繪制實(shí)質(zhì)上漸近于從旋轉(zhuǎn)軸線LI以輻射狀延伸的直線或者與該直線平行的直線的、預(yù)先規(guī)定的曲線(詳細(xì)的在后文說(shuō)明)。在本實(shí)施形態(tài)中，該減速比設(shè)定為1.57。
[0045][第二手部機(jī)構(gòu)]
第二手部機(jī)構(gòu)140如圖2以及圖4所示具有第二下臂部141、第二上臂部142、第二手部143和第二從動(dòng)機(jī)構(gòu)144。
[0046]第二下臂部141例如為中空的板狀構(gòu)件，在俯視時(shí)形成大致條形。如圖4所示，以從第二下臂部141的旋轉(zhuǎn)部側(cè)端部141a(第二下臂部141的一端部)的底面向下方突出的形式形成有第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145。而且，第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145以與旋轉(zhuǎn)軸線LI平行地延伸的第四軸線L5為中心可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于旋轉(zhuǎn)部20。又，第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145形成為中空?qǐng)A筒狀，其內(nèi)部空間與旋轉(zhuǎn)部20的主體部的內(nèi)部空間以及第二下臂部141的內(nèi)部空間連通。在第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145的下端部固定有第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪146。該第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪146設(shè)置為位于比后述下臂部驅(qū)動(dòng)軸65的下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67高的位置，并且通過(guò)第一反轉(zhuǎn)用齒輪68與下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67連接。借助于此，下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67的旋轉(zhuǎn)通過(guò)第一反轉(zhuǎn)用齒輪68傳遞至第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪146。在第二下臂部141內(nèi)的上臂部側(cè)端部141b(第二下臂部141的另一端部)側(cè)形成有向上方延伸的第二上臂部支持軸147。第二上臂部支持軸147設(shè)置為其軸線與平行于旋轉(zhuǎn)軸線LI并延伸的第五軸線L6相一致。在第二上臂部支持軸147的上端部固定有第二固定滑輪155。
[0047]而且，在第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145的內(nèi)部設(shè)置有第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸148。第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸148以第四軸線L5為中心可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145。而且，第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸148的下端部比第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)軸145的下端向下方突出，該突出的部分處固定有第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪149。該第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪149設(shè)置為位于比后述的上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66的上臂部及手部驅(qū)動(dòng)用主動(dòng)齒輪69高的位置，并且通過(guò)第二反轉(zhuǎn)用齒輪70與上臂部及手部驅(qū)動(dòng)用主動(dòng)齒輪69連接。借助于此，上臂部及手部驅(qū)動(dòng)用主動(dòng)齒輪69的旋轉(zhuǎn)通過(guò)第二反轉(zhuǎn)用齒輪70傳遞至第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪149。又，第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸148的上端部位于第二下臂部141的內(nèi)部空間，并且在該部分處固定有第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用中間滑輪150。第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪149以及第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用中間滑輪150設(shè)置為各自的軸線與第四軸線L5相一致。
[0048]第二下臂部141形成為例如采取圖1所示的姿勢(shì)(參照?qǐng)D6的實(shí)線)作為初始姿勢(shì)的結(jié)構(gòu)。即，第二下臂部141從旋轉(zhuǎn)部20以輻射狀延伸。
[0049]第二上臂部142例如為中空的板狀構(gòu)件，并且在俯視時(shí)形成為大致條形。第二上臂部142在下臂部側(cè)端部142a(第二上臂部142的一端部)的底面固定有圓筒狀的第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)滑輪151。在第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用中間滑輪150以及第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)滑輪151上卷繞第三傳動(dòng)帶152。第二上臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)滑輪151可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第二下臂部141的第二上臂部支持軸147。像這樣安裝于第二下臂部141的第二上臂部142形成為能夠以第五軸線L6為中心轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。在第二上臂部142內(nèi)的手部側(cè)端部142b(第二上臂部142的另一端部)上形成有向上方延伸的第二手部支持軸153。第二手部支持軸153設(shè)置為其軸線與平行于旋轉(zhuǎn)軸線LI并延伸的第六軸線L7相一致。
[0050]第二上臂部142形成為例如采取圖1所示的姿勢(shì)(參照?qǐng)D6的實(shí)線)作為初始姿勢(shì)的結(jié)構(gòu)。即，第二上臂部142以從第二下臂部141的上臂部側(cè)端部141b朝向?qū)ΨQ(chēng)面S的形式延伸。
[0051]第二手部143例如為板狀構(gòu)件，在基端部設(shè)置有第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸157。第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸157形成為圓筒狀，并且以繞第六軸線L7可轉(zhuǎn)動(dòng)且位于第二手部支持軸153的外側(cè)的形式嵌合并安裝于第二手部支持軸153。第二手部用滑輪154嵌合并固定于第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸157的外周。在第二手部用滑輪154以及第二固定滑輪155上卷繞第四傳動(dòng)帶156。第二手部143如圖2所示形成為二股分叉的形狀，并且在梢端部具有能夠載置并保持基板P的第二基板保持部143a。如上所述，第二基板保持部143a與第一基板保持部43a位于同一水平面上。如此一來(lái)，安裝于第二上臂部142的第二手部143形成為能夠以第六軸線L7為中心轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
[0052]第二手部143處于初始姿勢(shì)時(shí)，以從第六軸線L7越靠近第二基板保持部143a中心則離對(duì)稱(chēng)面S越遠(yuǎn)的形式延伸。借助于此，能夠防止保持于第二基板保持部143a的基板P干擾由第一基板保持部43a保持的位于相同水平面上的基板P。該初始姿勢(shì)下的第二手部143的第二基板保持部143a的位置成為縮回位置。第一基板保持部43a以及第二基板保持部143a以如下形式定位:在它們保持基板P并位于縮回位置時(shí)，保持于第一基板保持部43a以及第二基板保持部143a且位于相同水平面上的基板P不發(fā)生相互重疊或干擾。而且，通過(guò)后面詳述的第二手部機(jī)構(gòu)140的動(dòng)作，第二基板保持部143a能夠在縮回位置、和比縮回位置離旋轉(zhuǎn)軸線更遠(yuǎn)的伸展位置之間移動(dòng)。該伸展位置分別與半導(dǎo)體處理設(shè)備100的各基板載置位置6相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行設(shè)定。
[0053]第二從動(dòng)機(jī)構(gòu)144是使第二手部143從動(dòng)于第二上臂部142的轉(zhuǎn)動(dòng)并進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施形態(tài)中，第二從動(dòng)機(jī)構(gòu)144例如由第二手部用滑輪154、第二固定滑輪155、和卷繞于第二手部用滑輪154以及第二固定滑輪155上的第四傳動(dòng)帶156構(gòu)成。第一固定滑輪55以其軸線與第五軸線L6—致的形式固定于第二上臂部支持軸147。因此，通過(guò)第二上臂部142的轉(zhuǎn)動(dòng)，在第二手部支持軸153以第五軸線L6為中心公轉(zhuǎn)時(shí)，可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第二手部支持軸153的第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)用軸157以第六軸線L7為中心朝著第二上臂部142旋轉(zhuǎn)方向的反方向自轉(zhuǎn)，第二手部143以第六軸線L7為中心朝著第二上臂部142旋轉(zhuǎn)方向的反方向旋轉(zhuǎn)。因此，在第二上臂部142以使初始姿勢(shì)的第二上臂部142的手部側(cè)端部142b向前方移動(dòng)的形式轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第二手部143以從動(dòng)于該轉(zhuǎn)動(dòng)并使第二上臂部142和第二手部143在第六軸線L7上所形成的角度增大(即伸展)的形式轉(zhuǎn)動(dòng)。另一方面，在第二上臂部142以使第二上臂部142的手部側(cè)端部142b向后方移動(dòng)的形式轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第二手部143以從動(dòng)于該轉(zhuǎn)動(dòng)并使第二上臂部142和第二手部143在第六軸線L7上所形成的角度減小(即縮回)的形式轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0054]而且，第二手部143形成為如下結(jié)構(gòu):以避開(kāi)第一手部機(jī)構(gòu)140的形式從動(dòng)于第二上臂部142的轉(zhuǎn)動(dòng)并進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)施形態(tài)中，通過(guò)調(diào)節(jié)第二手部用滑輪154與第二固定滑輪155的變速比、即第二手部143相對(duì)第二上臂部142的減速比實(shí)現(xiàn)該動(dòng)作。該減速比在
1.35以上且1.65以下的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定，如果將減速比在這樣的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定，則第二手部143以避開(kāi)第一手部機(jī)構(gòu)40的形式從動(dòng)于第二上臂部142的轉(zhuǎn)動(dòng)地進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。又，通過(guò)與第二下臂部141的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作協(xié)同進(jìn)行，第二基板保持部143a能夠以如下形式移動(dòng):使第二基板保持部143a的移動(dòng)軌跡繪制實(shí)質(zhì)上漸近于從旋轉(zhuǎn)軸線LI以福射狀延伸的直線或者與該直線平行的直線的、預(yù)先規(guī)定的曲線(詳細(xì)的在后文說(shuō)明)。在本實(shí)施形態(tài)中，該減速比設(shè)定為與第一手部機(jī)構(gòu)40的減速比相同的1.57。
[0055][搬運(yùn)裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)]
圖5是示意性地示出設(shè)置于旋轉(zhuǎn)部20的齒輪的俯視圖。
[0056]如圖4所示，搬運(yùn)裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60具備支持于支持體(未圖示)的第一驅(qū)動(dòng)部至第三驅(qū)動(dòng)部61?63。
[0057]第一驅(qū)動(dòng)部61具備旋轉(zhuǎn)軸64以及使其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行器(未圖示)。
[0058]旋轉(zhuǎn)軸64如圖3所示設(shè)置為以旋轉(zhuǎn)軸線LI為中心可轉(zhuǎn)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)軸64形成為中空?qǐng)A筒狀。如上所述，旋轉(zhuǎn)軸64的上端固定于旋轉(zhuǎn)部20，并且與旋轉(zhuǎn)部20—起旋轉(zhuǎn)。像這樣，通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)部61的動(dòng)作，旋轉(zhuǎn)部20和支持于該旋轉(zhuǎn)部20的第一手部機(jī)構(gòu)40以及第二手部機(jī)構(gòu)140旋轉(zhuǎn)。
[0059]第二驅(qū)動(dòng)部62具備下臂部驅(qū)動(dòng)軸65以及使其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行器(未圖示)。
[0060]下臂部驅(qū)動(dòng)軸65如圖3以及圖4所示設(shè)置為插通旋轉(zhuǎn)軸64且以旋轉(zhuǎn)軸線LI為中心可轉(zhuǎn)動(dòng)。下臂部驅(qū)動(dòng)軸65形成為圓棒狀。下臂部驅(qū)動(dòng)軸65的上端從旋轉(zhuǎn)軸64以及后述的上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66向上方突出。在下臂部驅(qū)動(dòng)軸65的上端設(shè)置有下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67。如上所述，下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67也如圖5所示與第一下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪46嚙合。又，下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67通過(guò)第一反轉(zhuǎn)用齒輪68與第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪146嚙合。
[0061]像這樣，第二下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪146通過(guò)第一反轉(zhuǎn)用齒輪68與下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用主動(dòng)齒輪67嚙合，因此通過(guò)下臂部驅(qū)動(dòng)軸65的轉(zhuǎn)動(dòng)，朝向與第一下臂部轉(zhuǎn)動(dòng)用從動(dòng)齒輪46相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)部62的動(dòng)作，第一下臂部41以及第二下臂部141以第一軸線L2以及第四軸線L5為中心同步轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0062]第三驅(qū)動(dòng)部63具備上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66以及使它們旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行器(未圖示)。
[0063]上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66設(shè)置為插通旋轉(zhuǎn)軸64并且以旋轉(zhuǎn)軸線LI為中心可轉(zhuǎn)動(dòng)。上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66形成為中空?qǐng)A筒狀并且被下臂部驅(qū)動(dòng)軸65插通。即，下臂部驅(qū)動(dòng)軸65以及上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66以套件形式設(shè)置于旋轉(zhuǎn)軸64的內(nèi)部。上臂部及手部驅(qū)動(dòng)軸66的上端從旋轉(zhuǎn)軸64向上方突出，另一方面，位于比下臂部驅(qū)動(dòng)軸65的