透明導(dǎo)電性基材的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種透明導(dǎo)電性基材、詳細(xì)而言涉及一種應(yīng)用于觸摸面板等的透明導(dǎo) 電性基材。
【背景技術(shù)】
[0002] 以往，公知的是，液晶顯示裝置等圖像顯示裝置包括使配線以網(wǎng)格狀圖案形成于 透明薄膜的表面而成的觸摸面板用基材。
[0003] 這樣的配線具有金屬光澤，因此，會(huì)產(chǎn)生液晶顯示裝置的使用者目視觀察到配線 或該配線的光反射這樣的不良情況。由此，擔(dān)心會(huì)使液晶顯示裝置的可視性降低。
[0004] 因此，公開有一種透光導(dǎo)電性材料，其在透明基體上具有使金屬部和可見光透射 性部圖案化而形成的導(dǎo)電性金屬層，其中，在構(gòu)成金屬部的金屬細(xì)線上層疊有合金組成互 不相同的至少兩層黑化層(參照日本特許第4972381號(hào)公報(bào)）。
[0005] 在該透光導(dǎo)電性材料中，降低了金屬細(xì)線的光反射，從而改進(jìn)了液晶顯示裝置的 可視性。
[0006] 但是，在日本特許第4972381號(hào)公報(bào)的透光導(dǎo)電性材料中，由于設(shè)有組成互不相同 的兩層以上的黑化層，因此，需要實(shí)施多個(gè)處理，以便形成黑化層。具體而言，需要準(zhǔn)備多個(gè) 用于實(shí)施黑化層處理的鍍?cè)〔鄄⒕哂薪饘偌?xì)線的透明基體浸漬于各個(gè)浴槽中而進(jìn)行鍍 處理。因此，使生產(chǎn)設(shè)備變大或使作業(yè)工序變得煩雜，其結(jié)果，產(chǎn)生生產(chǎn)率較差這樣的不良 情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明的目的在于，提供一種圖像顯示裝置的可視性優(yōu)異且生產(chǎn)率良好的透明導(dǎo) 電性基材。
[0008] 本發(fā)明一種透明導(dǎo)電性基材，其特征在于，該透明導(dǎo)電性基材包括透明基材和配 線部，所述配線部具有:導(dǎo)體圖案，其設(shè)置在所述透明基材之上；以及黑化層，其設(shè)置在所述 導(dǎo)體圖案之上，所述黑化層是含有鎳鋅合金的單層，所述黑化層的厚度為30nm~70nm，所述 黑化層中的鎳相對(duì)于鋅的質(zhì)量比為3.0~105。
[0009] 另外，在本發(fā)明的透明導(dǎo)電性基材中，優(yōu)選的是，所述導(dǎo)體圖案的厚度為0.2μπι~ 0.5um〇
[0010] 另外，在本發(fā)明的透明導(dǎo)電性基材中，優(yōu)選的是，所述導(dǎo)體圖案的線寬為5μπ?~8μ m〇
[0011] 在本發(fā)明的透明導(dǎo)電性基材中，由于黑化層由含有鎳鋅合金的單層構(gòu)成，因此，不 必為了形成黑化層而實(shí)施多個(gè)鍍處理，從而使生產(chǎn)率良好。另外，由于黑化層的厚度為30nm ~70nm且所述黑化層中的鎳相對(duì)于鋅的質(zhì)量比為3.0~105,因此，能夠抑制配線部被目視 觀察到，從而使圖像顯示裝置的可視性優(yōu)異。
【附圖說明】
[0012] 圖1表示的是本發(fā)明的透明導(dǎo)電性基材的一實(shí)施方式的剖視圖。
[0013] 圖2A和圖2B是圖1的透明導(dǎo)電性基材的俯視圖，其中，圖2A是該透明導(dǎo)電性基材的 整體的俯視圖，圖2B表示的是圖2A的局部放大圖。
[0014] 圖3A~圖3D是制造圖1的透明導(dǎo)電性基材的工序圖，其中，圖3A表示準(zhǔn)備透明基材 的工序，圖3B表示配置導(dǎo)體膜的工序，圖3C表示配置黑化膜的工序，圖3D表示實(shí)施圖案處理 的工序。
[0015]圖4A和圖4B是具有圖1的透明導(dǎo)電性基材的觸摸面板用基材，其中，圖4A表示剖視 圖，圖4B表不圖4A的整體的俯視圖。
[0016] 圖5是包括圖1的透明導(dǎo)電性基材的圖像顯示裝置的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017] 在圖1中，紙面上下方向?yàn)樯舷路较颍ê穸确较?、即?方向），紙面上側(cè)為上側(cè)(厚 度方向一側(cè)、即第1方向一側(cè)、目視觀察側(cè)），紙面下側(cè)為下側(cè)(厚度方向另一側(cè)、即第1方向 另一側(cè)、與目視觀察側(cè)相反的一側(cè)）。紙面左右方向?yàn)樽笥曳较颍▽挾确较颉⒓磁c第1方向正 交的第2方向），紙面左側(cè)為左側(cè)(寬度方向一側(cè)、即第2方向一側(cè)），紙面右側(cè)為右側(cè)(寬度方 向另一側(cè)、即第2方向另一側(cè)）。紙面紙厚方向?yàn)榍昂蠓较颍ㄅc第1方向和第2方向正交的第3 方向），紙面近前側(cè)為前側(cè)(第3方向一側(cè)），紙面進(jìn)深側(cè)為后側(cè)(第3方向另一側(cè)）。在其他的 圖的方向中，也以圖1的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)。具體而言，以各圖的方向箭頭為基準(zhǔn)。此外，圖2A的A- A剖視圖相當(dāng)于圖1。另外，圖4B的A-A剖視圖相當(dāng)于圖4A。
[0018] 透明導(dǎo)電性基材1呈具有規(guī)定厚度的板狀，并沿與厚度方向正交的規(guī)定方向（面方 向、具體而言為左右方向和前后方向）延伸，具有平坦的上表面和平坦的下表面。透明導(dǎo)電 性基材1是例如設(shè)于圖像顯示裝置中的觸摸面板用基板等的一個(gè)零件，也就是說，其并不是 圖像顯示裝置。即，透明導(dǎo)電性基材1是用于制作圖像顯示裝置的零件，不包括LCD組件等圖 像顯示元件，而由后述的透明基板2和配線圖案3構(gòu)成，其是作為零件而單獨(dú)流通的、能夠應(yīng) 用于工業(yè)的器件。另外，也能夠?qū)⑼该鲗?dǎo)電性基材1制備成具有撓性的透明導(dǎo)電性薄膜。
[0019] 具體而言，如圖1、圖2A以及圖2B所示，透明導(dǎo)電性基材1包括透明基材2和配置于 透明基材2的上表面的、作為配線部的配線圖案3。優(yōu)選的是，透明導(dǎo)電性基材1由透明基材2 和配線圖案3構(gòu)成。
[0020]如圖2A所示，透明基板2形成為在俯視時(shí)與透明導(dǎo)電性基材1的外形形狀相對(duì)應(yīng)的 薄膜狀或薄板狀）。作為用于形成透明基板2的透明材料，可列舉出例如有機(jī)透明材料、無機(jī) 透明材料等絕緣材料。作為有機(jī)透明材料，可列舉出例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚 酯材料、例如聚丙烯酸甲酯等丙烯酸材料、例如聚碳酸酯材料、例如聚乙烯（PE)、聚丙烯 (PP)、環(huán)烯聚合物(C0P)等烯烴材料、以及例如三聚氰胺系聚合物等。作為無機(jī)透明材料，可 列舉出例如玻璃等。透明基板2能夠單獨(dú)使用或兩種以上組合使用。從輕薄性的觀點(diǎn)考慮， 優(yōu)選為有機(jī)透明材料，更優(yōu)選列舉出聚酯材料。
[0021] 透明基板2的全光線透光率例如為80%以上，優(yōu)選為90%以上，并且例如為100% 以下。
[0022] 從光的透過性和處理性的觀點(diǎn)考慮，透明基板2的厚度例如為5μπι以上，優(yōu)選為15μ m以上，并且例如為100μπι以下，優(yōu)選為50μηι以下。
[0023] 配線圖案3配置于透明基材2的上表面。
[0024]如圖2Α和圖2Β所示，配線圖案3是通過多個(gè)配線形成為俯視時(shí)的網(wǎng)格狀圖案(正方 形格子狀圖案)而成的。
[0025] 配線圖案3包括導(dǎo)體圖案4和黑化層5。
[0026] 導(dǎo)體圖案4是形成有圖案的導(dǎo)體層，其設(shè)于透明基材2的上表面。導(dǎo)體圖案4的上表 面(g卩，導(dǎo)體圖案4的與同透明基材2接觸的接觸面相反的一側(cè)的面)被黑化層5(后述)覆蓋， 導(dǎo)體圖案4的側(cè)面沒有被黑化層5覆蓋。即，導(dǎo)體圖案4的側(cè)面自黑化層5暴露。
[0027] 用于形成導(dǎo)體圖案4的材料是導(dǎo)電性材料，具體而言，可列舉出例如金、銀、銅、鎳、 鋁、鎂、鎢、鈷、鋅、鐵、以及它們的合金等，優(yōu)選列舉出金、銀、銅，從成本和加工性的觀點(diǎn)考 慮，更優(yōu)選列舉出銅。
[0028] 導(dǎo)體圖案4的厚度T1例如為Ο.?μπι以上，優(yōu)選為0·2μπι以上，并且例如為Ι.Ομπι以下， 優(yōu)選為0.5μπι以下。通過使導(dǎo)體圖案4的厚度Τ1在所述范圍內(nèi)，能夠減少自配線圖案3的側(cè)面 被目視觀察到的情況，從而能夠提高自圖像顯示裝置的側(cè)面進(jìn)行目視觀察時(shí)的可視性。
[0029] 導(dǎo)體圖案4的厚度Τ1能夠通過例如對(duì)導(dǎo)體圖案4的表面電阻進(jìn)行測量并將表面電 阻換算成厚度而計(jì)算出來。
[0030] 導(dǎo)體圖案4、即配線圖案3的線寬（配線的寬度)W例如為Ιμπι以上，優(yōu)選為3μπι以上， 更優(yōu)選為5μηι以上，并且例如為50μηι以下，優(yōu)選為ΙΟμπι以下，更優(yōu)選為8μηι以下。通過使導(dǎo)體 圖案4的線寬在所述范圍內(nèi)，能夠可靠地提高自圖像顯示裝置的上表面進(jìn)行目視觀察時(shí)的 可視性。
[0031] 導(dǎo)體圖案4的線寬能夠利用例如SEM照片的圖像處理測量出來。
[0032] 在導(dǎo)體圖案4中，厚度相對(duì)于線寬的比率(T1/W)例如為0.01以上，優(yōu)選為0.02以 上，并且例如為0.50以下，優(yōu)選為0.10以下。通過使導(dǎo)體圖案4的厚度的比率在所述范圍內(nèi)， 能夠可靠地提高自圖像顯示裝置的上表面和側(cè)面進(jìn)行目視觀察時(shí)的可視性。
[0033]如圖2Β所示，導(dǎo)體圖案4、即配線圖案3的間距間隔Ρ是在單位圖案中自相鄰配置的 兩個(gè)配線中的一個(gè)中心起到另一個(gè)中心為止的長度，例如為200μηι以上，優(yōu)選為350μηι以上， 并且例如為800μηι以下，優(yōu)選為650μηι以下。
[0034] 導(dǎo)體圖案4、即配線圖案3的開口率例如為95%以上，優(yōu)選為96%以上，并且例如為 99%以下。
[0035] 開口率能夠通過將相鄰配置的兩個(gè)配線之間的在空間上的距離（自間距間隔Ρ減 去線寬W而得到的值)作為L并利用"(開口率）={(1^)2}\100"的式子計(jì)算出來。
[0036] 如圖1所示，黑化層5配置于導(dǎo)體圖案4的上表面。
[0037] 黑化層5形成為在俯視時(shí)與導(dǎo)體圖案4大致相同的圖案。具體而言，黑化層5以在沿 厚度方向進(jìn)行投影時(shí)與導(dǎo)體圖案4重疊的方式僅設(shè)于導(dǎo)體圖案4的上表面。
[0038] 黑化層5由鎳鋅合金(NiZn)形成，其是單層。
[0039] 黑化層5中的鎳相對(duì)于鋅的質(zhì)量比(Ni/Zn)為3.0~105。優(yōu)選為5.0以上，更優(yōu)選為 10以上，并且優(yōu)選為80以下，更優(yōu)選為50以下，進(jìn)一步優(yōu)選為30以下。通過使鎳的質(zhì)量比在 所述范圍內(nèi)，能夠降低配線圖案3的反射率和顏色不均勻，從而抑制配線圖