自動校準(zhǔn)基板位置的機臺及半導(dǎo)體加工設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種自動校準(zhǔn)基板位置的機臺及半導(dǎo)體加工設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著TFT-LCD的發(fā)展，要求玻璃基板的尺寸越來越大，厚度越來越薄，再加上近幾年流行起來的觸摸屏，玻璃基板的厚度更越來越薄，例如，從最初的0.7mm厚度到現(xiàn)在的
0.3mm厚度。目前，通常采用硬質(zhì)夾具(clamp)來校準(zhǔn)定位玻璃基板。
[0003]然而，采用硬質(zhì)夾具在實際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)以下問題:
[0004]其一，當(dāng)機臺的氣孔在吹氣過程中發(fā)生堵塞或者氣孔分布不均勻等因素，導(dǎo)致基板受力不均而發(fā)生偏移時，若借助夾具校準(zhǔn)定位基板，夾具和基板之間發(fā)生點對點的撞擊，造成基板破損。
[0005]其二，由于不同厚度的基板在機臺表面產(chǎn)生的阻力也就不同，這樣，在針對一種厚度的基板進行調(diào)試之后往往不適用其他厚度的基板，需要重新調(diào)試，從而浪費人力物力，也降低設(shè)備的稼動率。
[0006]其三，若基板有較大偏移時，則基板放置在機臺表面時會超出夾具的校準(zhǔn)范圍，從而無法完成校準(zhǔn)，這就需要手動調(diào)節(jié)基板的位置，從而生產(chǎn)效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種自動校準(zhǔn)基板位置的機臺及半導(dǎo)體加工設(shè)備。
[0008]為解決上述問題之一，本發(fā)明提供了一種自動校準(zhǔn)基板位置的機臺，包括承載臺、支撐針、驅(qū)動器、圖像獲取器和控制器，其中所述承載臺，用于承載基板，且其上設(shè)置有通孔;所述支撐針，與所述通孔一一對應(yīng)設(shè)置，其頂端用于承載基板;所述驅(qū)動器，用于驅(qū)動所述支撐針在通孔內(nèi)升降以及進行水平運動和/或轉(zhuǎn)動;所述圖像獲取器，用于獲取位于所述支撐針上基板的圖像并發(fā)送至控制器;所述控制器，用于根據(jù)所述圖像獲取器發(fā)送的圖像和預(yù)設(shè)基板標(biāo)準(zhǔn)位置計算基板的偏移量，并根據(jù)該偏移量控制所述驅(qū)動器驅(qū)動所述支撐針在所述通孔內(nèi)水平運動和/或轉(zhuǎn)動，以帶動所述基板進行相應(yīng)運動來補償該偏移量。
[0009]可選地，所述自動校準(zhǔn)基板位置的機臺還包括:感應(yīng)傳感器，用于感應(yīng)所述支撐針上是否放置有基板，若是，則向所述圖像獲取器發(fā)送獲取信號，和/或，用于檢測所述基板是否發(fā)生偏移，若發(fā)生偏移，則向所述圖像獲取器發(fā)送獲取信號;所述圖像獲取器，根據(jù)所述獲取信號獲取所述圖像。
[0010]可選地，所述感應(yīng)傳感器的設(shè)置數(shù)量與所述基板的拐角的數(shù)量相一致;所述感應(yīng)傳感器與處于所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)位置的基板的各個拐角一一對應(yīng)設(shè)置。
[0011]可選地，所述承載臺的用于承載基板的表面為磨砂面。
[0012]可選地，在所述承載臺上設(shè)置有與真空吸附裝置相連的真空吸附孔，用以實現(xiàn)通過真空吸附的方式將基板固定在承載臺上。
[0013]可選地，所述真空吸附孔的數(shù)量為多個，且多個所述真空吸附孔在所述承載臺的用于承載基板的區(qū)域內(nèi)均勻分布。
[0014]可選地，所述支撐針采用吸附方式固定基板。
[0015]可選地，所述支撐針的數(shù)量為多個，對應(yīng)地，所述通孔的數(shù)量為多個，多個所述通孔在所述承載臺的用于承載基板的區(qū)域內(nèi)均勻分布。
[0016]可選地，所述支撐針的數(shù)量為多個，對應(yīng)地，所述通孔的數(shù)量為多個，對應(yīng)所述基板的各個拐角位置處的所述支撐針采用吸附方式固定基板。
[0017]可選地，所述通孔的內(nèi)徑和所述支撐針的直徑相差不小于4cm。
[0018]本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括自動校準(zhǔn)基板位置的機臺，自動校準(zhǔn)基板位置的機臺采用本發(fā)明提供的上述自動校準(zhǔn)基板位置的機臺。
[0019]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0020]本發(fā)明提供的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺及半導(dǎo)體加工設(shè)備，不僅由于不采用硬質(zhì)夾具，因此，可避免基板損壞，而且還可自動校準(zhǔn)基板位置，提高校準(zhǔn)效率，從而提高生產(chǎn)效率和設(shè)備的稼動率。
【附圖說明】
[0021]圖1為本發(fā)明實施例提供的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為圖1所示的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺的工作流程圖；以及
[0023]圖3為采用圖1所示的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺的基板校準(zhǔn)前后變化示意圖。
【具體實施方式】
[0024]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對本發(fā)明提供的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺及半導(dǎo)體加工設(shè)備進行詳細(xì)描述。
[0025]實施例1
[0026]圖1為本發(fā)明實施例提供的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺的工作流程圖；圖3為采用圖1所示的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺的基板校準(zhǔn)前后變化示意圖，請參閱圖1-圖3，本發(fā)明實施例提供的自動校準(zhǔn)基板位置的機臺包括承載臺10、支撐針11、驅(qū)動器12、圖像獲取器13和控制器14。其中，承載臺10，用于承載基板S，且其上設(shè)置有通孔101;支撐針11，與通孔101—一對應(yīng)設(shè)置，其頂端用于承載基板S;驅(qū)動器12，用于驅(qū)動支撐針11在通孔101內(nèi)升降以及驅(qū)動支撐針11在通孔101內(nèi)進行水平運動和/或轉(zhuǎn)動；圖像獲取器13，用于獲取位于支撐針11上的基板S的圖像，并將圖像發(fā)送至控制器14，一般但不限于采用照相機;控制器14，用于根據(jù)圖像獲取器13發(fā)送的圖像和預(yù)設(shè)基板標(biāo)準(zhǔn)位置計算基板S的偏移量，并根據(jù)該偏移量控制驅(qū)動器12驅(qū)動支撐針11在通孔101內(nèi)水平運動和/或轉(zhuǎn)動，以帶動所述基板進行相應(yīng)運動來補償該偏移量，從而實現(xiàn)校正基片的位置。
[0027]上述預(yù)設(shè)基板標(biāo)準(zhǔn)位置為預(yù)先設(shè)置的基板所在的位于支撐針11上的準(zhǔn)確位置。
[0028]舉例說明，若控制器14計算基板S的偏移量為向右偏移角度為12°，向前偏移2mm，則控制驅(qū)動器12向左旋轉(zhuǎn)12°，向后移動2_，從而實現(xiàn)校準(zhǔn)基板位置。
[0029]由此可知，本發(fā)明實施例提供的機臺，不僅由于不采用硬質(zhì)夾具，因此，可避免基板損壞，而且還可自動校準(zhǔn)基板位置，提高校準(zhǔn)效率，從而提高生產(chǎn)效率和設(shè)備的稼動率。
[0030]在本實施例中，優(yōu)選地，自動校準(zhǔn)基板位置的機臺還包括:感應(yīng)傳感器15，用于感應(yīng)所述支撐針上是否放置有基板，若是，則向所述圖像獲取器13發(fā)送獲取信號；圖像獲取器13，用于根據(jù)該獲取信號進行獲取上述圖像。這樣，可在支撐針11上放置基板S時進行獲取圖像，避免無效工作，從而可提高設(shè)備的可靠性。
[0031]具體地，感應(yīng)傳感器15檢測基板S有無的原理可以為但不限于以下方式:感應(yīng)傳感器15朝向基板S發(fā)送檢測信號，若接收到返回的檢測信號，則存在基板S，若未接收到檢測信號，貝1J未放置基板S。
[0032]當(dāng)然，在實際應(yīng)用中，感應(yīng)傳感器15還可用于檢測基板S是否發(fā)生偏移，若發(fā)生偏移，則向圖像獲取器13發(fā)送獲取信號，這樣，僅在基板S發(fā)生偏移時進行校準(zhǔn)，從而可以提高工藝效率。
[0033]具體地，感應(yīng)傳感器15檢測基板S是否發(fā)生偏移的原理可以為但不限于以下方式:感應(yīng)傳感器15向位于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)位置的基板的邊緣位置發(fā)送信號，此時，感應(yīng)傳感器15能接收到返回的檢測信號，若感應(yīng)傳感器15沒有接收到返回的檢測信號，則基板S發(fā)生偏移。
[0034]進一步優(yōu)選地，感應(yīng)傳感器15的設(shè)置數(shù)量與基板S的拐角的數(shù)量相一致，并且，感應(yīng)傳感器15與處于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)位置的基板S的各個拐角一一對應(yīng)設(shè)置。具體地，在本實施例中，基板S為具有四個拐角，且其形狀與承載臺10的形狀相匹配，因此，四個感應(yīng)傳感器15設(shè)置在承載臺10的四個拐角位置處。可以理解，借助上述設(shè)置的多個感應(yīng)傳感器15，可提高檢測基板S有無的準(zhǔn)確度，還可提高檢檢測基板S是否發(fā)生偏移的準(zhǔn)確度。
[0035]另外，優(yōu)選地，承載臺10的用于承載基