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自動(dòng)校準(zhǔn)基板位置的機(jī)臺(tái)及半導(dǎo)體加工設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9845375

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隨著TFT-LCD的發(fā)展,要求玻璃基板的尺寸越來(lái)越大,厚度越來(lái)越薄,再加上近幾年流行起來(lái)的觸摸屏,玻璃基板的厚度更越來(lái)越薄,例如,從最初的0.7mm厚度到現(xiàn)在的0.3mm厚度。目前,通常采用硬質(zhì)夾具(clamp)來(lái)校準(zhǔn)定位玻璃基板。然而,采用硬質(zhì)夾具在實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)以下問(wèn)題其一,當(dāng)機(jī)臺(tái)的氣孔在吹氣過(guò)程中發(fā)生堵塞或者氣孔分布不均勻等因素,導(dǎo)致基板受力不均而發(fā)生偏移時(shí),若借助夾具校準(zhǔn)定位基板,夾具和基板之間發(fā)生點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的撞擊,造成基板破損。其二,由于不同厚度的基...
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