塊206。每塊安裝板201上的其中一個橫滑塊204—側(cè)設(shè)置有滑臺氣缸208，同一塊安裝板201上的兩個橫滑塊204通過連接板209相連接?？v滑塊205滑動連接在縱導(dǎo)軌203上，縱滑塊205朝向橫導(dǎo)軌202的一側(cè)形成斜坡面，在該斜坡面上設(shè)置有斜導(dǎo)軌207，斜滑塊206對應(yīng)滑動連接在斜導(dǎo)軌207上。在縱滑塊205的頂端設(shè)置有安裝臺210，下臺框102的底框架120固定安裝在安裝臺210上端?；_氣缸208帶動橫滑塊204左右運(yùn)動，由于運(yùn)動作用力的分解原理，橫滑塊204帶動斜滑塊206斜向運(yùn)動，斜滑塊206再帶動縱滑塊205上下運(yùn)動，從而使得滑臺氣缸208通過橫滑塊204、斜滑塊206和縱滑塊205能夠帶動下臺框102上下運(yùn)動。
[0027]請參見圖4，下臺框102的前后兩側(cè)對稱設(shè)置有下平行導(dǎo)軌1021，下平行導(dǎo)軌1021位于上平行導(dǎo)軌1011的下方。在四個縱導(dǎo)軌203凸出于安裝板201的上端外側(cè)面對應(yīng)安裝有兩對下滑塊1022，其中一對下滑塊1022再向外延伸形成有下皮帶連接部1023，下滑塊1022對應(yīng)滑動連接在下平行導(dǎo)軌1021的上端，下皮帶連接部1023對應(yīng)固定連接在皮帶305的下部分。從而使得換框機(jī)構(gòu)300能夠帶動下臺框102在下平行導(dǎo)軌1021上左右運(yùn)動。
[0028]請參見圖6，升降對位裝置400設(shè)置在下臺框102的下方，升降對位裝置400包括:一個升降機(jī)構(gòu)和一個平面運(yùn)動的對位機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)位于對位機(jī)構(gòu)的下方，由升降機(jī)構(gòu)帶動對位機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動，從而使對位機(jī)構(gòu)處于不同高度的位置，完成對位動作。
[0029]其中，升降機(jī)構(gòu)包括傳動部分和減重部分。傳動部分是由伺服電機(jī)401通過同步帶輪402驅(qū)動絲杠403上的滾珠花鍵404上下直線運(yùn)動，滾珠花鍵404固定插接在下固定板405上，絲杠403的頂端與上固定板406固定連接，以此使得上固定板406能夠相對下固定板405上下運(yùn)動。同時滾珠花鍵404確保了上下直線運(yùn)動的精度，并且不會回轉(zhuǎn)。減重部分包括多個配重氣缸407，配重氣缸407的缸筒固定插接在下固定板405上，配重氣缸407的活塞桿頂端與上固定板406固定連接，配重氣缸407優(yōu)選設(shè)置有四個，且四個配重氣缸407以絲杠403為中心對稱布置，四個配重氣缸407的氣路并聯(lián)連接液壓控制閥，該液壓控制閥與0.5-
0.6MPa的氣源相連接。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)上升時氣缸407充氣，當(dāng)機(jī)構(gòu)下降時氣缸407排氣，通過氣缸407平衡傳動部分的重力，增加升降機(jī)構(gòu)的響應(yīng)速度。
[0030]升降機(jī)構(gòu)還包括插固在下固定板405上的直線軸承408及與直線軸承408配合的導(dǎo)桿409，導(dǎo)桿409的一端與上固定板406固定連接，另一端與直線軸承408活動連接，直線軸承408與導(dǎo)桿409的配合能夠增強(qiáng)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。
[0031]上固定板406的上方設(shè)置有對接板410，對位機(jī)構(gòu)安裝在上固定板406和對接板410之間，由對位機(jī)構(gòu)帶動對接板410同步運(yùn)動，對接板410用于貼合相接于基板150底面。對位機(jī)構(gòu)包括四組在同一平面上能夠沿兩個垂直方向滑動并且旋轉(zhuǎn)的滑臺，由三個電機(jī)通過絲杠驅(qū)動滑臺中的兩組在一定范圍內(nèi)運(yùn)動，以達(dá)到控制對接板410運(yùn)動的目的，從而實(shí)現(xiàn)對位動作。
[0032]請參見圖7，上臺框101的上方對應(yīng)設(shè)置著曝光燈500，下臺框102的上方對應(yīng)設(shè)置著工業(yè)相機(jī)600。本發(fā)明的對位系統(tǒng)的動作流程:下臺框102進(jìn)行物料更換，即更換底片和基板，由下框提升機(jī)構(gòu)200提升下臺框102，使下臺框102與上臺框101處于同一平面上;工業(yè)相機(jī)600采集下臺框102內(nèi)的底片和基板的圖像，同時升降對位裝置400利用升降機(jī)構(gòu)上升到與下臺框102內(nèi)的基板下表面貼緊的位置，圖像采集完成后，升降對位裝置400的對位機(jī)構(gòu)帶動基板執(zhí)行對位動作；下臺框102對位完成后，升降對位裝置400再利用升降機(jī)構(gòu)下降到位置原點(diǎn)，下臺框102也下降到下方位置，通過換框機(jī)構(gòu)300執(zhí)行換框動作。換框完成，對下臺框102進(jìn)行曝光，對上臺框101采集圖像，同時升降對位裝置400運(yùn)動到貼緊上臺框101內(nèi)的基板的位置執(zhí)行對位動作;上臺框101對位完成后，升降對位裝置400下降到下方位置原點(diǎn)，通過換框機(jī)構(gòu)300的皮帶305轉(zhuǎn)動帶動上、下臺框執(zhí)行換框動作;換框完成后，曝光燈500對上臺框101進(jìn)行曝光，同時下臺框102進(jìn)行物料更換。以此完成一個工作循環(huán)。
[0033]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡介修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括:用于上下裝夾底片和基板的臺框，所述臺框分為設(shè)于左右兩側(cè)的下臺框和上臺框;安裝在下臺框底端且用于控制提升下臺框至與上臺框相同高度的下框提升機(jī)構(gòu)；用于左右更換上、下臺框位置的換框機(jī)構(gòu)；以及設(shè)于下臺框下方用于調(diào)整下方基板相對上方底片位置的升降對位裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下框提升機(jī)構(gòu)包括:位于下臺框底端前后兩側(cè)的安裝板、安裝在安裝板相對側(cè)面左右兩端的橫導(dǎo)軌、安裝在橫導(dǎo)軌一側(cè)的縱導(dǎo)軌、分別滑動連接于橫導(dǎo)軌和縱導(dǎo)軌的橫滑塊和縱滑塊、固定連接兩塊橫滑塊的連接板以及傳動連接于其中一塊橫滑塊的滑臺氣缸，所述橫滑塊朝向縱導(dǎo)軌的一側(cè)上端形成有倒角面，倒角面上設(shè)有斜滑塊，所述縱滑塊朝向橫導(dǎo)軌的一側(cè)形成斜坡面，斜坡面上設(shè)有斜導(dǎo)軌，斜滑塊滑動連接在斜導(dǎo)軌上，所述滑臺氣缸通過橫導(dǎo)軌、縱導(dǎo)軌和斜導(dǎo)軌帶動下臺框上下運(yùn)動。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述換框機(jī)構(gòu)包括:換框電機(jī)、通過第一同步輪傳動連接于換框電機(jī)動力輸出端的傳動軸、通過第二同步輪傳動連接于傳動軸兩端的皮帶。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下臺框前后兩側(cè)設(shè)有下平行導(dǎo)軌，所述縱導(dǎo)軌凸出于安裝板的上端外側(cè)面上安裝有活動連接于下平行導(dǎo)軌的至少一對下滑塊，其中一對所述下滑塊再向外延伸形成固定連接于皮帶下部分的下皮帶連接部，所述換框機(jī)構(gòu)帶動下臺框在下平行導(dǎo)軌上左右運(yùn)動。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上臺框前后兩側(cè)設(shè)有位于下平行導(dǎo)軌上方的上平行導(dǎo)軌，上臺框上安裝有活動連接于上平行導(dǎo)軌的至少一對上滑塊，其中一對所述上滑塊再向外延伸形成固定連接于皮帶上部分的上皮帶連接部，所述換框機(jī)構(gòu)帶動上臺框在上平行導(dǎo)軌上左右運(yùn)動。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述升降對位裝置包括:升降機(jī)構(gòu)及設(shè)于升降機(jī)構(gòu)上平面運(yùn)動的對位機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括傳動部分，所述傳動部分由伺服電機(jī)通過同步帶輪驅(qū)動絲杠上的滾珠花鍵上下運(yùn)動，所述滾珠花鍵固定插接在下固定板上，所述絲杠頂端與上固定板固定連接。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上固定板上方設(shè)有連接于基板底面的對接板，所述對位機(jī)構(gòu)設(shè)于上固定板和對接板之間，對位機(jī)構(gòu)包括四組同一平面上能夠沿兩個垂直方向滑動并且能旋轉(zhuǎn)的滑臺，由三個電機(jī)通過絲杠驅(qū)動滑臺中的兩組帶動對接板同步平面運(yùn)動。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括減重部分，所述減重部分包括四個配重氣缸，所述配重氣缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重氣缸的活塞桿頂端與上固定板固定連接，四個配重氣缸的氣路并聯(lián)連接液壓控制閥，所述液壓控制閥與0.5-0.6MPa的氣源相連接。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括插固在下固定板上的直線軸承以及與直線軸承配合的導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿一端與上固定板固定連接，另一端與直線軸承活動連接。10.根據(jù)權(quán)利要求1至5、6至9任一項(xiàng)所述的自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上臺框和下臺框的結(jié)構(gòu)相同，其包括:上下相互對應(yīng)的頂框架和底框架以及設(shè)于框架兩側(cè)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述頂框架與底框架的一個側(cè)邊相互鉸接，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動頂框架以鉸接側(cè)邊為轉(zhuǎn)軸相對底框架向上翻轉(zhuǎn)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種自動曝光機(jī)機(jī)構(gòu)，包括：用于上下裝夾底片和基板的臺框，所述臺框分為設(shè)于左右兩側(cè)的下臺框和上臺框；安裝在下臺框底端且用于控制提升下臺框至與上臺框相同高度的下框提升機(jī)構(gòu)；用于左右更換上、下臺框位置的換框機(jī)構(gòu)；以及設(shè)于下臺框下方用于調(diào)整下方基板相對上方底片位置的升降對位裝置。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好、曝光精度高，下臺框設(shè)有下框提升機(jī)構(gòu)保證工業(yè)相機(jī)在采集圖像時，不會因?yàn)橄屡_框的對焦問題產(chǎn)生誤差，升降對位裝置能夠調(diào)整位于下方基板相對底片的位置，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)對位，上、下臺框通過換框機(jī)構(gòu)進(jìn)行左右位置互換，運(yùn)作簡單，操作方便，使得曝光機(jī)能夠穩(wěn)定運(yùn)行，還提高了工作效率。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN105607428
【申請?zhí)枴緾N201511024805
【發(fā)明人】陳寧
【申請人】深圳市鑫富寶科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月30日