征在于，包含：由具有第一表面和第二表面的支撐體以及與該支撐體的第二表 面接合的樹脂組合物層形成的粘接片；以及具有第一表面和第二表面且以該第二表面與粘 接片的樹脂組合物層接合的方式設(shè)置的保護膜，其中，按照JISB0601測定的保護膜的第 一表面的算術(shù)平均粗糙度（Rapl)為100nm以上，按照JISB0601測定的保護膜的第二表面 的算術(shù)平均粗糙度（Rap2)為l〇〇nm以上。RapJPRap；^^優(yōu)選范圍如上所述。
[0022] 作為保護膜可優(yōu)選使用由塑料材料形成的膜。作為塑料材料，例如可列舉聚乙烯、 聚丙烯、聚氯乙烯等聚烯烴、聚對苯二甲酸乙二醇酯（以下有時簡稱為"PET"。）、聚萘二甲 酸乙二醇酯（以下有時簡稱為"PEN"。）等聚酯、聚碳酸酯（以下有時簡稱為"PC"）、聚甲 基丙烯酸甲酯（PMMA)等丙烯酸類、環(huán)狀聚烯烴、三乙酰基纖維素（TAC)、聚醚硫化物（PES)、 聚醚酮、聚酰亞胺等。在一個優(yōu)選的實施方式中，保護膜包含選自聚乙烯、聚丙烯和聚對苯 二甲酸乙二醇酯中的1種以上的材料。
[0023] 作為保護膜的市售品，例如可列舉OJIF-TEX(王子工7亍y夕只（株））制的"雙 軸拉伸聚丙烯膜"。
[0024] 作為保護膜，可以使用在與樹脂組合物層接合的表面、即第二表面上具有脫模層 的帶脫模層的保護膜。作為脫模層中使用的脫模劑，例如可列舉選自醇酸樹脂、烯烴樹脂、 聚氨酯樹脂、和有機硅樹脂中的1種以上的脫模劑。作為脫模劑的市售品，例如可列舉作為 醇酸樹脂系脫模劑的琳得科（卩 7夕）株式會社制的"31(-1"、"八1^5"、"八1^7"等。使 用帶脫模層的保護膜時，優(yōu)選的是脫模層表面的算術(shù)平均粗糙度滿足上述1?\ 2的條件。
[0025] 保護膜的厚度優(yōu)選為5μπι以上、更優(yōu)選為10μπι以上。保護膜的厚度的上限優(yōu)選 為75μπι以下、更優(yōu)選為50μπι以下、進一步優(yōu)選為40μπι以下、進一步更優(yōu)選為30μπι以 下或25μm以下。在一個優(yōu)選的實施方式中，保護膜的厚度為10~30μm的范圍。應(yīng)予說 明，使用帶脫模層的保護膜時，優(yōu)選的是，帶脫模層的保護膜的整體厚度在上述范圍內(nèi)。
[0026] 〈支撐體〉 作為支撐體，例如可列舉由塑料材料形成的膜、金屬箱、脫模紙，優(yōu)選由塑料材料形成 的膜、金屬箱。
[0027] 作為支撐體使用由塑料材料形成的膜時，作為塑料材料，可使用與針對保護膜說 明的塑料材料同樣的材料。其中優(yōu)選聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯，特別優(yōu) 選廉價的聚對苯二甲酸乙二醇酯。在一個優(yōu)選的實施方式中，支撐體為聚對苯二甲酸乙二 醇酯膜。
[0028] 作為支撐體使用金屬箱時，作為金屬箱，例如可列舉銅箱、鋁箱等，優(yōu)選銅箱。作 為銅箱，可以使用由銅單金屬形成的箱，也可以使用由銅和其它金屬（例如，錫、鉻、銀、鎂、 鎳、錯、娃、鈦等）的合金形成的箱。
[0029] 從抑制卷偏移的發(fā)生的觀點考慮，優(yōu)選對未與樹脂組合物層接合的支撐體的表 面、即支撐體的第一表面的算術(shù)平均粗糙度（Rasl)進行選擇，以使保護膜的第一表面的算 術(shù)平均粗糙度（Rapl)和支撐體的第一表面的算術(shù)平均粗糙度（Rasl)的合計優(yōu)選為120nm以 上、更優(yōu)選為17〇nm以上、進一步優(yōu)選為220nm以上、進一步更優(yōu)選為270nm以上、320nm以 上、370nm以上、420nm以上、或470nm以上。RapJPIRa51的合計的上限沒有特別的限定，通 ?？梢詾?500nm以下、1200nm以下等。
[0030] 與樹脂組合物層接合的支撐體的表面、即支撐體的第二表面的算術(shù)平均粗糙度 (Ras2)沒有特別的限定，從能夠進一步防止自動切割機裝置中剝離保護膜時的樹脂剝落的 觀點考慮，優(yōu)選低于保護膜的第二表面的算術(shù)平均粗糙度（Rap2)。雖然也取決于Rap2的值， 但該算術(shù)平均粗糙度（Ras2)優(yōu)選為（Rap2-50)nm以下、更優(yōu)選為（Rap2-100)nm以下、進一步 優(yōu)選為（Rap2_150)nm以下、或（Rap2-200)nm以下。該算術(shù)平均粗糙度（Ras2)的下限沒有特 別的限定，可以為〇·lnm以上、0· 5nm以上等。
[0031]支撐體的第一表面和第二表面的算術(shù)平均粗糙度，可以采用與針對保護膜說明的 方法相同的方法來測定。應(yīng)予說明，在計算RapJPRasl的合計時，RapJPRasl使用以相同的 方法測定的值。例如，（1)可以使用按照JISB0601測定的RapJPRasl，來計算RapJPRasl 的合計；(2)可以使用采用非接觸式表面粗糙度計、利用VSI接觸模式、50倍透鏡將測定范 圍設(shè)為121μηιΧ92μπι測定的RapJPRasl，來計算RapJPRasl的合計。關(guān)于Ra^和Ra,2也 同樣，RapjPRa32使用以相同的方法測定的值。
[0032]作為塑料膜支撐體的市售品，例如可列舉東麗株式會社制的"露米勒（少S7-）R56"、"露米勒R80"、"露米勒T6AM"（PET膜），帝人杜邦薄膜公司（帝人r1示> 7 4少Λ (株））制的"G2LA"（PET膜）、"亍才氺y夕只Q83"（PEN膜）、宇部興產(chǎn)株式會社制的"工 -匕。Uy夕只-S"（聚酰亞胺膜）、（株）力氺力（Kaneka)制的" 7匕。力；1/AH''、" 7匕。力少 NPI"（聚酰亞胺膜）等。
[0033] 可以對支撐體的與樹脂組合物層接合的表面、即第二表面實施消光（Vy卜）處 理、電暈處理。此外，作為支撐體，在第二表面可以使用具有脫模層的帶脫模層的支撐體。對 于脫模層中使用的脫模劑，可以與針對保護膜說明的脫模劑同樣。使用帶脫模層的支撐體 時，脫模層表面的算術(shù)平均粗糙度優(yōu)選滿足上述條件。
[0034] 支撐體的厚度優(yōu)選為5μπι以上、更優(yōu)選為10μπι以上、15μπι以上或20μπι以上。 支撐體的厚度的上限優(yōu)選為75μm以下、更優(yōu)選為60μm以下、進一步優(yōu)選為50μm以下、 進一步更優(yōu)選為40μm以下。在一個優(yōu)選的實施方式中，支撐體的厚度為10~50μm的范 圍。應(yīng)予說明，使用帶脫模層的支撐體時，帶脫模層的支撐體的整體厚度優(yōu)選在上述范圍 內(nèi)。
[0035] <樹脂組合物層> 從將所得的絕緣層的熱膨脹系數(shù)抑制為較低水平的觀點考慮，樹脂組合物層優(yōu)選含有 無機填充材料。樹脂組合物層中的無機填充材料的含量優(yōu)選為40質(zhì)量％以上、更優(yōu)選為45 質(zhì)量％以上、進一步優(yōu)選為50質(zhì)量％以上、55質(zhì)量％以上或60質(zhì)量％以上。如上所述，本 發(fā)明人等確認，使用無機填充材料含量高的樹脂組合物層時，樹脂剝落的問題變得特別顯 著。對于這一點，根據(jù)使用兩面的表面粗糙度在特定范圍內(nèi)的保護膜的本發(fā)明，即使使用無 機填充材料含量高的樹脂組合物層，在自動切割機裝置中剝離保護膜時也難以發(fā)生樹脂剝 落。因此，在本發(fā)明的帶保護膜的粘接片中，不會發(fā)生樹脂剝落的問題，可以進一步提高樹 脂組合物層中的無機填充材料的含量。例如，樹脂組合物層中的無機填充材料的含量可提 高至62質(zhì)量％以上、64質(zhì)量％以上、66質(zhì)量％以上、68質(zhì)量％以上、70質(zhì)量％以上、72質(zhì) 量％以上、或74質(zhì)量％以上。
[0036] 從所得的絕緣層的機械強度的觀點考慮，樹脂組合物層中的無機填充材料的含量 的上限優(yōu)選為95質(zhì)量％以下、更優(yōu)選為90質(zhì)量％以下、進一步優(yōu)選為85質(zhì)量％以下。
[0037]應(yīng)予說明，本發(fā)明中，如果沒有另外說明，樹脂組合物中的各成分的含量是將樹脂 組合物中的不揮發(fā)成分設(shè)為100質(zhì)量％時的值。
[0038]無機填充材料的材料沒有特別的限定，例如可列舉二氧化娃、氧化錯、玻璃、堇青 石、硅氧化物、硫酸鋇、碳酸鋇、滑石、粘土、云母粉、氧化鋅、水滑石、勃姆石、氫氧化鋁、氫氧 化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、酸化鎂、氮化硼、氮化鋁、氮化錳、硼酸鋁、碳酸鍶、鈦酸鍶、鈦酸鈣、鈦 酸鎂、鈦酸鉍、氧化鈦、氧化鋯、鈦酸鋇、鈦酸鋯酸鋇、鋯酸鋇、鋯酸鈣、磷酸鋯、和磷酸鎢酸鋯 等，特別優(yōu)選二氧化硅。作為二氧化硅，例如可列舉無定形二氧化硅、熔融二氧化硅、結(jié)晶二 氧化硅、合成二氧化硅、中空二氧化硅等。此外，作為二氧化硅優(yōu)選球形二氧化硅。無機填 充材料可以1種單獨使用，也可以2種以上組合使用。作為市售的球狀熔融二氧化硅，可列 舉（株）7 卜'、Yv夕只制 "S0-C2 "、"S0-C1"。
[0039] 無機填充材料的平均粒徑?jīng)]有特別的限定，從得到能在其上形成微細的配線的絕 緣層的觀點考慮，優(yōu)選為3μπι以下、更優(yōu)選為2μπι以下、進一步優(yōu)選為1μπι以下、0. 7μπι以下、或0. 5μπι以下。另一方面，從得到具有適當(dāng)?shù)恼扯惹也僮餍粤己玫臉渲迤岬挠^點 考慮，無機填充材料的平均粒徑優(yōu)選為〇. 01μm以上、更優(yōu)選為0. 03μm以上、進一步優(yōu)選 為0. 05μπι以上、0. 07μπι以上、或0. 1μπι以上。無機填充材料的平均粒徑可以利用基于 米氏（Mie)散射理論的激光衍射-散射法來測定。具體地，利用激光衍射式粒度分布測定 裝置，以體積基準(zhǔn)制成無機填充材料的粒度分布，將其中值直徑設(shè)為平均粒徑，由此可以測 定。測定樣品可以優(yōu)選使用利用超聲波使無機填充材料分散在水中而得的樣品。作為激光 衍射式粒度分布測定裝置，可以使用（株）堀場制作所制"LA-500"、"LA-750"、"LA-950" 等。
[0040] 從得到能在其上形成微細的配線的絕緣層的觀點考慮，優(yōu)選使用利用分級除去了 粗大粒子的無機填充材料。在一個實施方式中，優(yōu)選使用利用分級除去了粒徑10μm以上 的粒子的無機填充材料，更優(yōu)選使用利用分級除去了粒徑5μm以上的粒子的無機填充材 料。
[0041] 在一個優(yōu)選的實施方式中，使用平均粒徑為0. 01μπι~3μπι、而且利用分級除去 了粒徑10μm以上的粒子的無機填充材料。
[0042] 從提高耐濕性和分散性的觀點考慮，無機填充材料優(yōu)選用氨基硅烷系偶聯(lián)劑、 環(huán)氧硅烷系偶聯(lián)劑、疏基硅烷系偶聯(lián)劑、硅烷系偶聯(lián)劑、有機娃氣燒化合物、欽酸酯系偶 聯(lián)劑等的1種以上的表面處理劑進行處理。作為表面處理劑的市售品，例如可列舉信越 化學(xué)工業(yè)（株）制"KBM403"（3-環(huán)氧丙氧丙基三甲氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制 "KBM803"（3-巰基丙基三甲氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制"KBE903"（3-氨基丙基三 乙氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制"KBM573"（N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷）、信 越化學(xué)工業(yè)（株）制"SZ-31"（六甲基二硅氮烷）等。
[0043] 利用表面處理劑進行的表面處理的程度可以通過無機填充材料的每單位表面積 的碳量來評價。從提高無機填充材料的分散性的觀點考慮，無機填充材料的每單位表面積 的碳量優(yōu)選為〇. 〇2mg/m2以上、更優(yōu)選為0.lmg/m2以上、進一步優(yōu)選為0. 2mg/m2以上。另 一方面，從防止樹脂清漆的熔融粘度或片材形態(tài)下的熔融粘度的上升的觀點考慮，優(yōu)選為 lmg/m2以下、更優(yōu)選為0. 8mg/m2以下、進一步優(yōu)選為0. 5mg/m2以下。
[0044] 無機填充材料的每單位表面積的碳量可以通過以下方式測定：使用溶劑（例如甲 基乙基酮（MEK))對表面處理后的無機填充材料進行清洗處理，然后進行測定。具體而言，