專(zhuān)利名稱(chēng):電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的制作方法
電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置。
背景技術(shù)：
在電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置中，設(shè)置有用于使電子線(xiàn)從真空容器射出至外 部的窗部件。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了具備窗部件(窗箔)的電子線(xiàn)照射裝置的照射窗。該照射窗的構(gòu)成如圖12所示。在該照射窗 100中，窗箔IOI，挾持在具備用于使電子e通過(guò)的開(kāi)口的柵格窗(grid window) 102和箔壓板103之間，并利用螺栓104固定。窗箔101與 柵格窗102的縫隙，利用 型環(huán)105進(jìn)行密封。柵格窗102被保持在 窗固定器106上。窗固定器106利用螺栓107安裝于真空室108。窗箔 106與真空室108之間，經(jīng)由O型環(huán)109密封。箔壓板103與窗固定 器106之間，經(jīng)由具有彈性的襯墊110密封。 [專(zhuān)利文獻(xiàn)l]特開(kāi)平9-203800號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
在上述照射窗100中，窗箔101，挾持在柵格窗102與箔壓板103 之間，并經(jīng)由螺絲104固定。在上述構(gòu)成中，為了對(duì)窗箔101與柵格 窗102 (又或是箔壓板103)之縫隙進(jìn)行氣密密封，因此需要O型環(huán) 105。但是， 一般而言，O型環(huán)105由樹(shù)脂等的彈性體構(gòu)成，另外，由 于在照射電子線(xiàn)時(shí)窗箔101成為高溫，因此若是以與窗箔101鄰接的 方式來(lái)配置O型環(huán)105，則會(huì)提早O型環(huán)105的劣化，難以長(zhǎng)時(shí)間維 持真空室108的真空狀態(tài)。另外，為了提高電子線(xiàn)的透過(guò)率，盡可能薄地形成設(shè)置在電子線(xiàn) 產(chǎn)生裝置中的窗部件(現(xiàn)在，為數(shù)um 10um左右)。但是，由于該 厚度非常薄，因此當(dāng)制造電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置時(shí)或是更換窗部件時(shí)，難以 將窗部件安裝在電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置上。根據(jù)如上所述照射窗100，在以鄰
接于窗箔101的方式來(lái)配置O型環(huán)105時(shí)，由于利用進(jìn)行密封的推壓 使窗箔101產(chǎn)生不均勻的應(yīng)力，而有使窗箔101破損的危險(xiǎn)。特別是， 在如照射窗100所示，利用螺絲104來(lái)壓緊窗箔101以及O型環(huán)105 時(shí)，容易在窗箔101產(chǎn)生不均勻的應(yīng)力，窗箔101破損的可能性很高。本發(fā)明，有鑒于上述課題而發(fā)明，其目的在于提供一種電子線(xiàn)產(chǎn) 生裝置，可更長(zhǎng)地維持真空狀態(tài)，且能降低窗部件的破損。為了解決上述課題，本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，具 有電子槍?zhuān)渚哂猩涑鲭娮泳€(xiàn)的電子放出部件；容器，其收容電子 放出部件；框部件，其具有用于使電子線(xiàn)通過(guò)的電子通過(guò)孔，并可裝 卸地安裝在容器上；和窗部件，其以對(duì)電子通過(guò)孔進(jìn)行氣密地封閉的 方式，接合在框部件上，并使電子線(xiàn)透過(guò)。在上述電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置中，窗部件以將電子通過(guò)孔氣密地關(guān)閉的 方式，接合在框部件上。因此，不需要設(shè)置在框部件與窗部件之間的O 型環(huán)等彈性密封部件，并可更長(zhǎng)地維持容器內(nèi)部的真空狀態(tài)。進(jìn)而， 由于將此框部件相對(duì)于容器可裝卸地安裝，因此當(dāng)制造電子線(xiàn)產(chǎn)生裝 置或是更換窗部件時(shí)，可不對(duì)窗部件施加應(yīng)力而對(duì)窗部件以及框部件 進(jìn)行安裝。因此，根據(jù)上述電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，則由于幾乎沒(méi)有對(duì)窗部 件的不均勻的應(yīng)力，因此能有效地降低窗部件的破損。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，還具有密封部件，其設(shè)置在框部件與容 器的縫隙間，對(duì)縫隙進(jìn)行氣密密封，在容器側(cè)形成有用于收容密封部 件的溝。在以往的構(gòu)造，例如在圖12的照射窗100中，在窗固定器106 側(cè)形成有用于收容將窗固定器106與真空室108之間作密封的O型環(huán) 109的溝。在該構(gòu)成中，在照射電子線(xiàn)時(shí)于窗部件所產(chǎn)生的熱容易傳導(dǎo) 至O型環(huán)，而容易使由樹(shù)脂等彈性材料構(gòu)成的O型環(huán)劣化。相對(duì)在此， 若在容器側(cè)形成用于收容密封部件的溝，則由于窗部件的熱不易傳導(dǎo) 至O型環(huán)，因此能延長(zhǎng)O型環(huán)的壽命。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置也可以使部件釬焊在框部件上。由此，能 夠使窗部件良好地與框部件接合，且可使窗部件與框部件之間氣密封 閉。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，可以還具有固定用部件，其具有用于使 電子線(xiàn)通過(guò)的開(kāi)口，在與框部件之間挾持窗部件，固定用部件，釬焊 在窗部件以及框部件上。由此，能夠使窗部件良好地與框部件接合，
且能提高氣密性。另外，當(dāng)電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置具有固定用部件時(shí)，優(yōu)選框部件，具有 在底面包含電子通過(guò)孔的一端的凹部，固定用部件，配置在底面上， 在凹部的側(cè)壁與固定用部件的側(cè)面之間，設(shè)置有縫隙。當(dāng)組裝電子線(xiàn) 產(chǎn)生裝置時(shí)，優(yōu)選使固定用部件的開(kāi)口的中心與框部件的電子通過(guò)孔 的中心對(duì)齊，但是當(dāng)將固定用部件釬焊在框部件上時(shí)，由于釬料的溶 融會(huì)使固定用部件的位置容易偏移。根據(jù)該電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，當(dāng)通過(guò) 在框部件的凹部的側(cè)壁與固定用部件的側(cè)面之間設(shè)置縫隙，而將固定 用部件釬焊在框部件上時(shí)，由于能使用例如可嵌入該縫隙的形狀的夾 具對(duì)固定用部件進(jìn)行定位，因此能容易地使固定用部件的開(kāi)口的中心 與框部件的電子通過(guò)孔的中心對(duì)齊。另外，當(dāng)電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置具有固定用部件時(shí)，優(yōu)選固定用部件點(diǎn) 焊在框部件上。如上所示，在將固定用部件釬焊在框部件上時(shí)，由于 釬料的溶融，容易使固定用部件位置偏移。在此，若在釬焊之前，預(yù) 先將固定用部件點(diǎn)焊在框部件上并臨時(shí)固定，由于能防止因釬料時(shí)溶 融所致的固定用部件的位置偏移，因此能使固定用部件的開(kāi)口的中心 與框部件的電子通過(guò)孔的中心高精確度地對(duì)齊。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置可將框部件螺絲固定在容器上。或者，電 子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，還可具有推壓部件，其推壓框部件并與容器相螺合。 或者，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，使框部件與容器相螺合。利用上述任何一者 的構(gòu)成，能良好地實(shí)現(xiàn)使框部件與容器可裝卸。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，也可以使電子通過(guò)孔的容器側(cè)的寬度， 朝向容器的內(nèi)部擴(kuò)大為錐形。在上述電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置中，由于框部件 與窗部件相互接合，因此來(lái)自窗部件的熱會(huì)容易傳導(dǎo)至框部件。由此， 可有效抑制因框部件的放熱所致的窗部件的溫度上升。即，通過(guò)使電 子通過(guò)孔的容器側(cè)的寬度擴(kuò)大為錐形，可增加電子通過(guò)孔的放熱量， 有效地抑制窗部件的溫度上升。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，可以使容器具有用于對(duì)框部件進(jìn)行定位 的階梯部。由此，能夠容易地將可裝卸的框部件安裝在容器上，另外， 能確實(shí)地防止窗部件相對(duì)于電子線(xiàn)的射出軸線(xiàn)的的位置偏移。
根據(jù)本發(fā)明，可提供一種能夠更長(zhǎng)時(shí)間維持真空狀態(tài)，且降低窗 部件的破損的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置。


圖1是表示本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的第1實(shí)施方式的構(gòu)成的側(cè) 面剖面圖。圖2是沿著圖1所示的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的I-I線(xiàn)的側(cè)面剖面圖。 圖3是表示第1實(shí)施方式的窗單元及其附近的構(gòu)成的側(cè)面剖面圖， 以及窗單元的主要部的擴(kuò)大剖面圖。圖4是表示窗單元的構(gòu)成的平面圖。圖5是表示通過(guò)使釬料溶融，而將框部件、窗部件以及固定用部件相互接合并一體化的工序的剖面圖。圖6是表示第1實(shí)施方式的第1 第2變形例的剖面圖。 圖7是表示第1實(shí)施方式的第3 第4變形例的剖面圖。 圖8是表示本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的第2實(shí)施方式的構(gòu)成的剖面圖。圖9是圖8所示的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的平面圖。圖10是表示第2實(shí)施方式的窗單元的構(gòu)成的平面圖。圖ii是沿著圖io所示的窗單元的n-n線(xiàn)的側(cè)面剖面圖。圖12是表示先前的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的照射窗的構(gòu)成的圖。 符號(hào)說(shuō)明la、 lb:電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置2:電子槍3、 30:真空容器3a、 30a:收容室3b、 30b:電子通路4:絕緣塊 5:殼體 6:連接器 7:燈絲8:柵格部9a、 9b:內(nèi)部配線(xiàn)10a 10d:窗單元11、 12、 19、 20:框部件lla、 12c、 19a、 20a:凹部llc、 12e、 19c、 20c:電子通過(guò)孔13、 21:窗部件14、 22:固定用部件14C:點(diǎn)焊痕15、 27:釬料 16:導(dǎo)電性部件17、 28:支持具18、 29: O型環(huán)23:推壓部件31 34:臺(tái)座50、 51:真空泵 A、 B:夾具 EB:電子線(xiàn)具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的適宜的實(shí)施方式進(jìn) 行詳細(xì)說(shuō)明。另外，
中，對(duì)相同又或是相當(dāng)?shù)牟糠指郊酉嗤?符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。(第1實(shí)施方式)圖1為表示本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的第1實(shí)施方式的構(gòu)成的側(cè)面剖面圖。另外，圖2沿著圖1所示的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的I-I線(xiàn)的側(cè)面 剖面圖。本實(shí)施方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la，具有射出電子線(xiàn)EB的電 子槍2，和真空容器3，和窗單元10a。真空容器3為用于收容作為電子槍2的電子放出部件的燈絲7(后 述)并將其氣密密封的容器。真空容器3，沿著電子線(xiàn)EB的射出方向 形成為圓筒狀，其一端利用電子槍2密封，另一端利用窗單元10a密 封。真空容器3具有后述的電子槍2的燈絲7、柵格部8、以及用于收
容凸部4b的收容室3a、和延伸設(shè)置在從電子槍2射出的電子線(xiàn)EB的 射出方向上的電子通路3b。電子通路3b與收容室3a相通連，從電子 槍2射出的電子線(xiàn)EB通過(guò)電子通路3b到達(dá)真空容器3的前端。在電 子通路3b的周?chē)?，夾著電子通路3b成對(duì)設(shè)置有作為電磁偏向透鏡而 起作用的電磁線(xiàn)圈3c以及3d。另外，真空容器3在電子通路3b的端 部具有用于固定窗單元10a的臺(tái)座31。窗單元10a為用于使從電子槍2所射出的電子線(xiàn)EB射出至真空容 器3的外部的構(gòu)成要素，可裝卸地安裝在真空容器3的前端(電子通 路3b的端部)。在此，圖3 (a)為表示本實(shí)施方式的窗單元10a以及 其附近的構(gòu)成的側(cè)面剖面圖。另外，圖3 (b)為圖3 (a)所示的窗單 元10a的主要部的擴(kuò)大剖面圖。另外，圖4，為窗單元10a的構(gòu)成的平 面圖。窗單元10a，具有大致圓板狀的外觀，其具有框部件11、窗部件 13、以及固定用部件14?？虿考l，為大致圓板狀的部件，例如由不 銹鋼等的金屬構(gòu)成?？虿考l，配置在階梯部31c的壁部所包圍的平 面上。另外，階梯部31c，為了對(duì)框部件11進(jìn)行定位而形成在臺(tái)座31 上。階梯部31c的平面形狀，可與框部件11的平面形狀相對(duì)應(yīng)地形成。在框部件11上形成有，用于收容窗部件13以及固定用部件14的 凹部lla;用于使電子線(xiàn)EB通過(guò)的電子通過(guò)孔llc;和用于使螺絲17 通過(guò)的螺孔lld。其中，電子通過(guò)孔llc，在電子線(xiàn)EB的射出方向上 貫通框部件11，形成在框部件11的中心部分。電子通過(guò)孔llc的臺(tái)座 31側(cè)(即真空容器3偵0的寬度(內(nèi)徑)，朝向真空容器3的內(nèi)部擴(kuò)大 成錐形。相對(duì)在此，與臺(tái)座31相反側(cè)的電子通過(guò)孔llc的寬度(內(nèi)徑)， 沿著電子線(xiàn)EB的射出方向而幾乎成為一定。即，電子通過(guò)孔llc由， 從電子射出側(cè)起幾乎維持一定的直徑的部分，和以與此部分連續(xù)的方 式從電子射入側(cè)(真空容器3側(cè))起朝向電子射出側(cè)直徑縮小成錐形 的部分構(gòu)成。凹部lla形成為，使其底面包含有電子通過(guò)孔llc的一端，從窗單 元10a的厚度方向(即電子線(xiàn)EB之射出方向)觀看，形成為圓形。另 外，螺孔lld，如圖4所示，形成在凹部lla的周?chē)刂虿考?1 的周向排列多個(gè)而形成?？虿考l，在螺孔lld中插通有螺絲17，通
過(guò)將該螺絲17與臺(tái)座31的螺孔相螺合，而固定在臺(tái)座31上。另外， 通過(guò)將螺絲17卸下，而使框部件11與臺(tái)座31脫離。另外，在框部件ll上，形成有不同于螺孔lld的螺絲孔lle。當(dāng) 將螺絲17鎖的太緊而使得窗單元10a固定在臺(tái)座31上，不能容易地 從臺(tái)座31卸下時(shí)，使用螺絲孔lle。即，在臺(tái)座31上并未形成有對(duì)應(yīng) 于螺絲孔lie的螺孔，當(dāng)使螺絲螺合在螺絲孔lie中時(shí)，螺絲的前端會(huì) 抵接于臺(tái)座31并停止。由此，在框部件11上施加將框部件11與臺(tái)座 31拉離的力，因此能容易地將窗單元10a從臺(tái)座31卸下。另外，此螺 絲孔lle，從電子通過(guò)孔llc觀看，優(yōu)選配置在較后述0型環(huán)18更為 外側(cè)。就算是螺絲的前端抵接于臺(tái)座31并產(chǎn)生微小的金屬粉末，只要 將螺絲孔lie配置在較O型環(huán)18更為外側(cè)，便能防止金屬粉侵入真空 容器3的內(nèi)部。另外，螺絲孔lle的位置越接近框部件ll的外周，則 杠桿原理便能更有效作用，可以更小的力來(lái)將框部件11卸下。窗部件13，為用于使從電子槍2射出的電子線(xiàn)EB透過(guò)并射出至 真空容器3的外部的膜狀的部件，由可透過(guò)電子線(xiàn)EB的材料(例如鈹、 鈦、鋁等)構(gòu)成。窗部件13，形成為例如數(shù)pm l(^m的厚度，相較 于例如在X光產(chǎn)生裝置中所使用的窗部件，非常薄。窗部件13，以覆 蓋框部件11的電子通過(guò)孔llc的一端的方式，配設(shè)在框部件11的凹部 lla的底面上。另外，窗部件13，通過(guò)使用釬料15并釬焊在框部件11 上，而以關(guān)閉電子通過(guò)孔llc的方式與框部件ll氣密地接合。另外， 窗部件13，除了釬焊之外，也可以通過(guò)例如焊接與框部件ll氣密地接 合。窗部件13的一個(gè)面，位于真空容器3的外側(cè)，與大氣接觸。另外， 窗部件13的另一個(gè)面位于真空容器3的內(nèi)側(cè)。固定用部件14，為用于將窗部件13確實(shí)地固定在框部件11上的 部件。固定用部件14，形成為在中央部分具有開(kāi)口 14a的圓環(huán)狀，以 使開(kāi)口 14a與框部件11的電子通過(guò)孔llc相通連的方式，配設(shè)在凹部 lla的底面上以及窗部件13上，將窗部件13挾持與與框部件11之間。 另外，固定用部件14的外徑設(shè)定為比凹部lla的內(nèi)徑小，在固定用部 件14的側(cè)面14b與凹部lla的側(cè)壁llb之間，存在縫隙。該縫隙，與 因部件的公差的引起通常所設(shè)定的縫隙相比，成為更大的縫隙，例如， 大小為凹部lla的內(nèi)徑的百分之幾 百分之幾十的大小。
另外，如圖3 (b)所示，在固定用部件14與框部件11之間，填 充有釬料15，該釬料15的一部分，與窗部件13接觸。如上所述，通 過(guò)將固定用部件14釬焊在窗部件13以及框部件11上，而使窗部件13 與框部件11強(qiáng)固地接合，并且增加框部件11與窗部件13間的氣密性。 另外，固定用部件14，也可具有如圖4所示的點(diǎn)焊痕14c。該點(diǎn)焊痕 14c是，在將固定用部件14釬焊于框部件11上時(shí)，為了對(duì)固定用部件 14進(jìn)行臨時(shí)固定，點(diǎn)焊接在框部件ll上的痕跡。由于點(diǎn)焊接避開(kāi)窗部 件13而進(jìn)行，因此點(diǎn)焊痕14c分散在窗部件13的周?chē)?。另外，如圖3 (b)所示，在與釬料15接觸側(cè)的框部件11的表面 (即，框部件ll的凹部lla的底面)上，形成有用于提高釬料15的密 封性的金屬膜16a。同樣的，在與釬料15相接側(cè)的固定用部件14的表 面，也形成有金屬膜16b。金屬膜16a以及16b，由與釬料15配合性 良好的金屬材料(例如銅)構(gòu)成，并通過(guò)蒸鍍等形成。另外，在本實(shí) 施方式中，由于固定用部件14的外徑設(shè)定為比凹部lla的內(nèi)徑小，因 此在固定用部件14的側(cè)面14b與凹部lla的側(cè)壁llb之間的縫隙處， 金屬薄膜16a露出。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la，還具有0型環(huán)18。 0型環(huán)18是在本 實(shí)施方式中的密封部件，而將框部件11與真空容器3 (臺(tái)座31)間之 縫隙氣密密封。O型環(huán)IS，由例如樹(shù)脂等彈性材料構(gòu)成。在框部件ll 與臺(tái)座31之間，以包圍電子通過(guò)孔llc的方設(shè)置。另外，在真空容器 3側(cè)形成有用于收容O型環(huán)18并對(duì)其進(jìn)行定位的溝31b， O型環(huán)18被 收容在溝31b內(nèi)。再參考圖1以及圖2，對(duì)電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la具備的其它的構(gòu)成要 素進(jìn)行說(shuō)明。電子槍2具有絕緣塊4、收容絕緣塊4的殼體5、安裝 在殼體5的側(cè)面的高耐壓型的連接器6、作為用于放出電子的電子放出 部件的燈絲7、作為高電壓部的內(nèi)部配線(xiàn)9a以及9b、和覆蓋絕緣塊4 的一部分的導(dǎo)電性部件16。殼體5，通過(guò)金屬等導(dǎo)電性部件構(gòu)成，并收容在后述絕緣塊4中。 殼體5具有，從殼體5的內(nèi)部連接真空容器3的收容室3a的開(kāi)口 5a; 和從殼體5的內(nèi)部連接到電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la的外側(cè)的開(kāi)口 5b。開(kāi)口5a是用于使內(nèi)部配線(xiàn)9a以及9b通過(guò)的圓形開(kāi)口。另外，開(kāi)口 5b，是 用于安裝連接器6的圓形開(kāi)口。絕緣塊4，例如由環(huán)氧樹(shù)脂等的絕緣性樹(shù)脂所構(gòu)成，對(duì)電子槍2 的高電壓部(內(nèi)部配線(xiàn)9a以及9b)與其它部分(例如殼體5等)進(jìn)行 絕緣。具體而言，絕緣塊4具有，基部4a、和從該基部4a突出的凸部 4b。基部4a，被收容殼體5內(nèi)，并且占據(jù)殼體5內(nèi)部的幾乎所有空間。 另外，凸部4b通過(guò)從基部4a通過(guò)開(kāi)口 5a而突出，而從殼體5露出。 而后，在凸部4b上(在本實(shí)施方式中是在凸部4b的前端附近)，配置 有燈絲7。另外，在與絕緣塊4相接的殼體5的內(nèi)面，形成為凹凸形狀。 由此，在成型樹(shù)脂制的絕緣塊4時(shí)，由于樹(shù)脂會(huì)滲入此凹凸形狀并硬 化，因此使絕緣塊4與殼體5強(qiáng)固地固定。另外，作為在此所述的凹 凸形狀的一例，可舉出如圖1所示的溝狀，或是通過(guò)使殼體5的內(nèi)面 設(shè)為粗糙而產(chǎn)生的細(xì)微的凹凸等。高耐壓型的連接器6是用于從電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la的外部接受電源 電壓的供給的連接器(插座)，并以貫通殼體5的側(cè)壁的方式配置在開(kāi) 口 5b處。位于殼體5的內(nèi)部的連接器6的一部分6a被埋入絕緣塊4 的基部4a并固定。另外，在此部分6a的表面形成有凹凸形狀。由此， 在成型絕緣塊4時(shí)，由于絕緣塊4陷入該凹凸形狀并硬化，因此使絕 緣塊4與連接器6強(qiáng)固地固定。另外，作為在此所述凹凸形狀的一例， 可舉出如圖1所示的沿著連接器6的中心軸方向而周期性重復(fù)凹凸所 示的形狀，或是通過(guò)將連接器6的表面設(shè)為粗糙而產(chǎn)生的細(xì)微的凹凸 等。另外，連接器6，固定在殼體5的側(cè)壁上，并通過(guò)連接器6使絕緣 塊4與殼體5強(qiáng)固地固定。在該連接器6上，插入設(shè)置在來(lái)自未圖示 的電源裝置的外部配線(xiàn)的前端作的電源用插頭。燈絲7，是用于放出成為電子線(xiàn)EB的電子的部件。燈絲7的兩端， 分別與從連接器6延伸至燈絲7的內(nèi)部配線(xiàn)9a和9b相連接。因此， 當(dāng)在連接器6中插入電源用插頭時(shí)，燈絲7的兩端，通過(guò)外部配線(xiàn)與 電源裝置電連接。燈絲7，通過(guò)流過(guò)數(shù)安培的電流，而加熱至2500°C 左右，進(jìn)一步通過(guò)從另外的電源裝置施加數(shù)十kV 數(shù)百kV的高電壓， 從而放出電子。另外，利用形成用于引出電子的電場(chǎng)的柵格部(grid)
8覆蓋燈絲7。在柵格部8上，通過(guò)未圖示的配線(xiàn)施加規(guī)定的電壓。因 此，從燈絲7放出的電子，從形成在柵格部8的一部分上的孔作為電 子線(xiàn)EB而射出。另外，內(nèi)部配線(xiàn)9a以及9b，由于從電源裝置施加上 述的高電壓，因此通過(guò)將其埋入由絕緣材料構(gòu)成的絕緣塊4內(nèi)部，而 確保與殼體5的絕緣。另外，真空容器3，優(yōu)選構(gòu)成為，例如以與射出方向相交的面為邊 界而可進(jìn)行分割，并通過(guò)在該分割部上具有未圖示的絞鏈，而使收容 室3a可開(kāi)閉。通過(guò)使真空容器3具有上述開(kāi)放型的構(gòu)成，能容易地更 換作為耗材的燈絲7。導(dǎo)電性部件16，是在絕緣塊4的表面中，用于覆蓋在與殼體5之 間隔開(kāi)縫隙的表面的導(dǎo)電性部件。具體而言，導(dǎo)電性部件16優(yōu)選為， 導(dǎo)電性的薄膜，或是導(dǎo)電性的帶(tape)等薄的部件，以完全覆蓋絕緣 塊4中未與殼體5密合的部分的方式，貼付在絕緣塊4上。另外，導(dǎo) 電性部件16，也可為導(dǎo)電性涂料或是導(dǎo)電性膜等。另外，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la優(yōu)選還具有用于對(duì)真空容器3的內(nèi)部進(jìn) 行排氣的真空泵50。本實(shí)施方式的窗單元10a，由于可相對(duì)于真空容 器3進(jìn)行裝卸，因此在更換窗單元10a時(shí)，需要使真空容器3成為真 空狀態(tài)。另外，在真空容器3是如上所述的開(kāi)放型的情況下，在對(duì)燈 絲7進(jìn)行更換后，也需要使真空容器3成為真空狀態(tài)。通過(guò)使電子線(xiàn) 產(chǎn)生裝置la具有真空泵50，可容易地進(jìn)行真空容器3的排氣。另外， 真空泵50，通過(guò)排氣通路3d而與真空容器3的收容室3a相連接。真空泵50，在殼體5的側(cè)面中，沿著設(shè)置有連接器6的側(cè)面以外 的側(cè)面而配置。通過(guò)使真空泵50如上所述進(jìn)行配置，能避開(kāi)插入到連 接器6中的電源用插頭以及外部配線(xiàn)，防止與真空泵50間之發(fā)生干涉， 同時(shí)能使電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la小型化。針對(duì)具備以上構(gòu)成的本實(shí)施方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la的動(dòng)作進(jìn)行 說(shuō)明。首先，通過(guò)真空泵50對(duì)真空容器3的內(nèi)部進(jìn)行排氣，使其成為 真空狀態(tài)。另外，將設(shè)置在電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la的外部的電源裝置的電 源用插頭插入連接器6。由此，使電源裝置與內(nèi)部配線(xiàn)9a以及9b相互 電連接。接下來(lái)，從電源裝置施加數(shù)安培的電流，并從另外的電源裝 置施加數(shù)十kV 數(shù)百kV的電源電壓。該電源電壓，經(jīng)由內(nèi)部配線(xiàn)9a 以及9b而供給至燈絲7，從燈絲7放出電子。從燈絲7放出的電子，利用柵格部8進(jìn)行加速，成為電子線(xiàn)EB。 電子線(xiàn)EB，通過(guò)電子通路3b而到達(dá)窗單元10a。此時(shí)，電子線(xiàn)EB， 經(jīng)由電磁線(xiàn)圈3c而被收束。另外，電子線(xiàn)EB，也存在利用電磁線(xiàn)圈 3d進(jìn)行軸修正的情況。電子線(xiàn)EB透過(guò)窗單元10a的窗部件13，朝向 電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la的外部射出。針對(duì)本實(shí)施方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la具有的效果進(jìn)行說(shuō)明。在電 子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la中，窗部件13以將框部件11的電子通過(guò)孔llc氣密 地關(guān)閉的方式，接合在框部件11上。因此，在框部件11與窗部件13 之間不需要O型環(huán)等的彈性部件，可使接合部分(釬料15等)對(duì)于窗 部件13的熱具有足夠的耐性，因此框部件11與窗部件13之間的密封 狀態(tài)幾乎不會(huì)有劣化，而能更長(zhǎng)時(shí)間地維持真空容器3內(nèi)部的真空狀 態(tài)。進(jìn)而，由于將此框部件11相對(duì)于真空容器3可裝卸地安裝，因此 當(dāng)制造電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la或更換窗單元10a時(shí)，能不對(duì)窗部件13施 加有應(yīng)力來(lái)安裝窗單元10a。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置 la，由于幾乎能完全消除對(duì)窗部件13所施加的不均勻的應(yīng)力，因此能 有效地降低窗部件13的破損。另外，如本實(shí)施方式所示，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la，優(yōu)選具有對(duì)框部 件11與真空容器3間的縫隙進(jìn)行密封的O型環(huán)18，并且在真空容器3 側(cè)(本實(shí)施方式中是臺(tái)座31偵0形成有用于收容0型環(huán)18的溝31b。 由此，與使用于收容O型環(huán)18的溝形成在窗單元10a側(cè)的情況相比， 由于窗部件13的熱不易傳導(dǎo)至O型環(huán)18，因此能延長(zhǎng)O型環(huán)18的壽 命。另外，如本實(shí)施方式所示，框部件ll的電子通過(guò)孔llc的真空容 器3側(cè)的寬度(內(nèi)徑)，優(yōu)選朝向真空容器3的內(nèi)部擴(kuò)大為錐形。在本 實(shí)施方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la中，由于框部件11與窗部件13相互接 合(釬焊等)，因此來(lái)自窗部件13的熱會(huì)容易傳導(dǎo)至框部件11。利用 此特點(diǎn)，能有效的抑制因框部件11的放熱造成的窗部件13的溫度上 升。并且，使電子通過(guò)孔llc的真空容器3側(cè)的寬度(內(nèi)徑)擴(kuò)大為
錐形使來(lái)自電子通過(guò)孔lie的放熱量增大，從而可有效地抑制窗部件 13的溫度上升。另外，在電子通過(guò)孔llc的錐形形狀到達(dá)窗部件13側(cè)的一端時(shí)， 與窗部件13接觸的電子通過(guò)孔llc的開(kāi)口部的邊緣成為銳角，有產(chǎn)生 損傷窗部件13的危險(xiǎn)。因此，優(yōu)選電子通過(guò)孔llc的窗部件13側(cè)的 寬度(內(nèi)徑)，沿著射出方向大致一定。另外，如本實(shí)施方式所示，真空容器3 (臺(tái)座31)優(yōu)選具有用于 對(duì)框部件ll進(jìn)行定位的階梯部31c。由此，能夠?qū)⒖裳b卸的框部件ll 容易地安裝在真空容器3 (臺(tái)座31)上，另外，能確實(shí)地防止相對(duì)于 電子線(xiàn)EB的射出軸線(xiàn)的窗部件13的位置偏移。另外，如本實(shí)施方式所示，電子槍2優(yōu)選具有，覆蓋絕緣塊4的 表面中，覆蓋與殼體5之間設(shè)置有縫隙的表面的導(dǎo)電性部件16。由此， 由于能將與殼體5之間設(shè)置有縫隙的絕緣塊4的表面的電位設(shè)為與殼 體5相同的電位(例如接地電位)，因此可良好地發(fā)揮對(duì)內(nèi)部配線(xiàn)9a 以及9b等的屏蔽效果。另外，如本實(shí)施方式所示優(yōu)選，將連接器6的一部分6a埋入至絕 緣塊4內(nèi)，且連接器6在該一部份6a的表面上具有凹凸形狀。由此， 在成型絕緣塊4時(shí)，由于絕緣塊4會(huì)陷入連接器6的凹凸形狀并硬化， 因此可將絕緣塊4與連接器6強(qiáng)固地固定。另外，如本實(shí)施方式所示優(yōu)選，將連接器6的一部分6a埋入至絕 緣塊4內(nèi)，且連接器6固定在殼體5上。由此，可通過(guò)經(jīng)由連接器6， 將絕緣塊4與殼體5強(qiáng)固地固定。在此，針對(duì)有關(guān)于本實(shí)施方式的窗單元10a的制造方法的一個(gè)實(shí) 施例進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下所說(shuō)明的方法中，作為窗部件13，使用 具有直徑2mm的有效輸出徑的厚度10um的鈹膜。另外，作為釬料 15，使用以Ag為主成分，且板厚為0.1mm材料。另外，作為真空容 器3 (包含臺(tái)座31)、框部件ll、以及固定用部件14之材料，使用不 銹鋼。首先，從不銹鋼塊切出框部件ll以及固定用部件14。另外，以規(guī) 定的外徑切出鈹膜以及釬料，并準(zhǔn)備窗部件13以及釬料15。此時(shí)，窗 部件13的外徑，設(shè)為與電子通過(guò)孔llc的窗部件13側(cè)的開(kāi)口徑相比
更大。另外，將釬料15的外徑，設(shè)為與窗部件13的外徑相比更大。 另外，固定用部件14的外徑，可與釬料15的外徑幾乎相等。作為具 體的尺寸，可使電子通過(guò)孔llc的外徑為2mm，窗部件13為6mm平 方，固定用部件14以及釬料15的外徑、內(nèi)徑分別為13mm、 4mm。另外，窗部件13的外形形狀，只要是能覆蓋電子通過(guò)孔llc且不 會(huì)超出釬料15，則任何形狀均可。在本實(shí)施方式中，考慮加工的容易 性而設(shè)為矩形，但是例如也可和其它部件一樣為圓形。接下來(lái)，進(jìn)行各部件的切斷面的去除毛邊。特別是，在框部件11 中的電子通過(guò)孔llc的開(kāi)口附近，由于與窗部件13接觸，因此優(yōu)選利用各種機(jī)械研磨或電解研磨處理來(lái)將毛邊完全去除。然后，通過(guò)對(duì)各 金屬部件(真空容器3、框部件11、以及固定用部件14)在真空中進(jìn) 行加熱處理(約900。C)，而進(jìn)行脫氣以及矯正變形。接下來(lái)，在釬料15所接觸的框部件11、窗部件13、以及固定用 部件14的表面上蒸鍍銅為200nm左右的厚度。由此，使釬料15可與各部件良好地融合。接下來(lái)，通過(guò)使釬料15溶融，而使框部件11、窗部件13、以及 固定用部件14相互接合并一體化。圖5表示此工序的剖面圖。如圖5 所示，首先，在框部件11的凹部lla內(nèi)，依次層疊窗部件13、釬料15、 以及固定用部件14。而后，在其上載置夾具A。夾具A是用于防止在 溶融釬料15時(shí)各部件的位置偏移的夾具。夾具A，例如由不銹鋼 (SUS304)構(gòu)成，其尺寸，例如是外徑12mm、內(nèi)徑6mm、高20mm。 另外，在溶融釬料15時(shí)，為了更確實(shí)地防止固定用部件14的位 置偏移，優(yōu)選使用夾具B。夾具B是嵌合在凹部lla的側(cè)壁lib與固 定用部件14的側(cè)面14b間的縫隙的圓環(huán)狀?yuàn)A具，通過(guò)設(shè)置夾具B，可 對(duì)固定用部件14進(jìn)行定位，因此能容易地使固定用部件14的開(kāi)口 14a 的中心與框部件ll的電子通過(guò)孔llc的中心對(duì)齊。另外，為了防止固 定用部件14的位置偏差，也可對(duì)固定用部件14與框部件11在窗部件 13的周邊進(jìn)行輕微的點(diǎn)焊接，而將固定用部件14預(yù)固定在框部件11 上。另外，如圖4所示的點(diǎn)焊痕14c，是此時(shí)的焊接痕。由此，能使固 定用部件14的開(kāi)口 14a的中心與框部件11的電子通過(guò)孔llc的中心高 精確度地對(duì)齊。
接下來(lái)，在保持圖5所示的狀態(tài)下，將各部件送入真空加熱爐的電氣爐內(nèi)進(jìn)行加熱處理。對(duì)上述組成的釬料15，從室溫起加熱至約700 °C，并在此溫度下保持5分鐘，而后停止加熱并冷卻至約650'C。而后， 將各部件從電氣爐中取出，并冷卻至約30(TC。而后，利用使用干燥氮 的真空漏氣進(jìn)行急速而冷卻至室溫附近，并將被一體化的窗單元10a 從真空加熱爐中取出。最后，使用氦氣探漏器等對(duì)框部件ll與窗部件 13間的密封狀態(tài)進(jìn)行檢査，并確認(rèn)沒(méi)有漏氣。 (變形例)接下來(lái)，針對(duì)本實(shí)施方式的窗單元以及其安裝方式的變形例進(jìn)行 說(shuō)明。圖6(a)、 (b)以及圖7(a)、 (b)，分別表示第1 第4變形例 的剖面圖。圖6 (a)所示的第1變形例的構(gòu)成與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)是， 窗單元的安裝方式。即，本變形例的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，代替第1實(shí)施 方式的螺絲17，具有推壓部件23。推壓部件23，通過(guò)推壓框部件11 的外周部分并與真空容器(臺(tái)座32)相旋合(螺合)，從而將窗單元 10a固定在真空容器(臺(tái)座32)上。具體而言，推壓部件23， 一體形 成有圓筒狀的螺合部23a，和設(shè)置在螺合部23a的一端的板狀部23b。 螺合部23a的內(nèi)徑，形成為與臺(tái)座32的外徑幾乎相同。并且，在螺合 部23a的內(nèi)周面上，形成有螺紋23d，該螺紋23d與形成在臺(tái)座32的 外周面上的螺紋32b相螺合，由此將推壓部件23螺合在臺(tái)座32上。 此時(shí)，板狀部23b向臺(tái)座32推壓窗單元10a的框部件11。另外，推壓部件23，具有用于使電子線(xiàn)EB通過(guò)而形成在板狀部 23b上圓形的開(kāi)口 23c。開(kāi)口 23c的內(nèi)徑形成為比框部件11的凹部lla 的內(nèi)徑大，板狀部23b成為不與固定用部件14抵接。如本變形例所示，電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，也可利用推壓部件23對(duì)窗單 元10a (框部件11)進(jìn)行固定。利用如上所述的構(gòu)成，也能相對(duì)于真 空容器而使窗單元10a (框部件11)可裝卸。并且，根據(jù)本變形例， 與對(duì)窗單元10a進(jìn)行螺絲固定的情況相比，能在更短時(shí)間內(nèi)將窗單元 10a安裝在真空容器上。另外，在本變形例中，框部件ll也可具有螺 孔lld (參考圖3 (a)、圖4)。此時(shí)，利用圖6 (a)所示的推壓部件23，和圖3 (a)所示的螺絲17中的任一者或兩者將框部件11固定真 空容器上。圖6 (b)所示的第2變形例的構(gòu)成與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)是， 窗單元的安裝方式。即，本變形例的窗單元10b，代替第1實(shí)施方式的 框部件ll，具有框部件12?？虿考?2，通過(guò)與臺(tái)座33相螺合而固定 在真空容器上。具體而言，框部件12， 一體形成有圓筒狀的螺合部12a， 和設(shè)置在螺合部12a的一端的板狀部12b。螺合部12a的內(nèi)徑，形成為 與臺(tái)座33的外徑幾乎相同。而后，在螺合部12a的內(nèi)周面上，形成有 螺紋12d，通過(guò)使此螺紋12d與形成在臺(tái)座33的外周面上的螺紋33b 相螺合，而將窗單元10b螺合在真空容器(臺(tái)座33)上。另外，框部件12，與第1實(shí)施方式之框部件11同樣，具有用于收 容窗部件13以及固定用部件14的凹部12c，和與臺(tái)座33的貫通孔33a 相通連而使電子線(xiàn)EB通過(guò)的電子通過(guò)孔12e。而且，以規(guī)避電子通過(guò) 孔12e的方式設(shè)置窗部件13，同時(shí)，利用釬料15將框部件12、窗部 件13、以及固定用部件14相互接合。另外，與第1實(shí)施方式的臺(tái)座 31不同點(diǎn)在于，臺(tái)座33不具有用于固定窗單元10b的階梯部。如本變形例的窗單元10b所示，也可構(gòu)成為框部件12與真空容器 (臺(tái)座33)螺合。根據(jù)如上所述的構(gòu)成，也能實(shí)現(xiàn)相對(duì)于真空容器良 好地裝卸的窗單元10b (框部件12)。圖7 (a)所示的第3變形例的構(gòu)成與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)是， 框部件的形狀。即，本變形例的窗單元10c，代替上述實(shí)施方式的框部 件11，具有框部件19?？虿考?9是大致圓板狀的部件，具有用于收 容窗部件13以及固定用部件14的凹部19a，與臺(tái)座31的貫通孔31a 相通連并使電子線(xiàn)EB通過(guò)的電子通過(guò)孔19c，和用于使螺絲17通過(guò) 的螺孔19e。在框部件19的凹部19a附近，形成與包含螺孔19e的外 周部分相比更厚，而成為凸部19d。另外，在本變形例中的電子通過(guò)孔 19c的內(nèi)徑，沿著射出方向形成為一定，但是也可如第1實(shí)施方式的電 子通過(guò)孔1 lc所示，使真空容器側(cè)的電子通過(guò)孔19c的內(nèi)徑擴(kuò)大為錐形。如本變形例的窗單元10c所示，通過(guò)使框部件19的凹部19a附近 設(shè)為比外周部分更厚，能進(jìn)一步減小在利用螺絲17將窗單元10c安裝
在臺(tái)座31上時(shí)的凹部19a附近的變形，從而能防止對(duì)窗部件13施加 不均勻的應(yīng)力。另外，如上述所示，由于窗部件13接合在框部件19上，因此來(lái) 自窗部件13的熱容易傳導(dǎo)至框部件19。再加上，當(dāng)從規(guī)定的軸線(xiàn)偏離 的電子線(xiàn)射入框部件19時(shí)，在框部件19會(huì)產(chǎn)生熱。即使在此情況下， 通過(guò)使框部件19的凹部19a附近設(shè)為比外周部分更厚，能增大凹部19a 附近的熱容量，從而可降低框部件19的熱膨脹量，能防止對(duì)窗部件13 施加應(yīng)力。另外，如本變形例所示，通過(guò)使包含螺絲19e的外周部分設(shè)為較 薄，由于能將由螺絲17產(chǎn)生鎖緊力有效地傳達(dá)至框部件19以及臺(tái)座 31上，因此能更確實(shí)地對(duì)框部件19與臺(tái)座31間的縫隙進(jìn)行密封。圖7 (b)所示的第4變形例構(gòu)成為，利用圖6 (a)所示的第l變 形例的推壓部件23來(lái)固定圖7 (a)所示的第3變形例的窗單元10c。 即，本變形例的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，具有窗單元10c以及推壓部件23。 窗單元10c的構(gòu)成，與上述第3變形例相同。推壓部件23，推壓框部 件19的外周部分并且與真空容器(臺(tái)座32)相螺合(螺合)，將窗單 元10c固定在真空容器(臺(tái)座32)上。推壓部件23， 一體形成有圓筒狀的螺合部23a，和設(shè)置在螺合部 23a的一端的板狀部23b。螺合部23a的內(nèi)徑，形成為與臺(tái)座32的外 徑幾乎相同。而且，通過(guò)使形成在螺合部23a的內(nèi)周面上的螺紋23d， 與形成在臺(tái)座32的外周面上的螺紋32b相螺合，而與臺(tái)座32相螺合。 此時(shí)，推壓部件23的板狀部23b將窗單元10c的框部件19推壓在臺(tái) 座32上。另外，推壓部件23具有用于使電子線(xiàn)EB通過(guò)的圓形的開(kāi)口 23c。開(kāi)口 23c的內(nèi)徑形成為與框部件19的凹部19d的外徑相比更大， 凸部19d成為從開(kāi)口 23c突出。根據(jù)本變形例，通過(guò)使窗單元10c的框部件19具有凹部19d，而 能得到與上述第3變形例相同的效果。另外，通過(guò)利用推壓部件23對(duì) 窗單元10c (框部件19)進(jìn)行固定，與螺絲固定的情況相比，能在更 短時(shí)間內(nèi)將窗單元10c安裝在真空容器上。 (第2實(shí)施方式) 圖8是表示本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的第2實(shí)施方式的構(gòu)成的剖 面圖。另外，圖9是圖8所示的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置的平面圖。本實(shí)施方 式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置lb具有射出電子線(xiàn)EB的電子槍2，真空容器30， 和多個(gè)窗單元10d。其中，關(guān)于電子槍2的構(gòu)成，由于與第l實(shí)施方式 相同，故省略詳細(xì)說(shuō)明。真空容器30是用于收容電子槍2的燈絲7并對(duì)其進(jìn)行氣密密封的 容器。真空容器30具有，用于收容電子槍2的燈絲7、柵格部8以及 凸部4b的收容室3a、和延伸設(shè)置在從電子槍2射出的電子線(xiàn)EB的射 出方向上并與收容室30a相通連的電子通路30b。在電子通路30b的周 圍，設(shè)置有起到電磁偏向透鏡功能的筒狀的電磁線(xiàn)圈30c。電子通路30b，以配置有電磁線(xiàn)圈30c的部分為邊界，朝向其前端 擴(kuò)大成扇狀。即，電子通路30b，僅在與電子槍2的射出方向相交叉的 一個(gè)方向(以下，稱(chēng)為掃喵方向，圖中的箭頭S)上的寬度逐漸擴(kuò)大， 而在與射出方向交叉的另一方向上的寬度成為一定。因此，電子通路 30b的前端，以?huà)呙榉较騍為長(zhǎng)度方向而細(xì)長(zhǎng)地延伸。在電子通路30b 的前端，設(shè)置有用于固定窗單元10d的臺(tái)座34。從電子槍2射出的電子線(xiàn)EB，通過(guò)電子通路30b。此時(shí)，電子線(xiàn) EB，利用電磁線(xiàn)圈30c使其射出方向偏向。由此，使電子線(xiàn)EB的射 出軸線(xiàn)沿著掃瞄方向S移動(dòng)。電子線(xiàn)EB到達(dá)設(shè)置在真空容器30前端 的窗單元lOd。多個(gè)窗單元10d，是用于將從電子槍2射出的電子線(xiàn)EB射出至真 空容器30外部的構(gòu)成要素，在真空容器30的前端(電子通路30b的 端部)，沿著掃瞄方向S并列設(shè)置。在此，圖10表示本實(shí)施方式的窗 單元10d的構(gòu)成的平面圖。另外，圖11是沿著圖10所示的窗單元10d 的II-II線(xiàn)的側(cè)面剖面圖。參考圖10以及圖11，窗單元10d，其平面形狀是長(zhǎng)方形，并具有 框部件20、窗部件21、以及固定用部件22?？虿考?0例如由不銹鋼 等金屬構(gòu)成，利用螺絲28固定在真空容器30上。框部件20具有，用 于收容窗部件21以及固定用部件22的凹部20a，用于使電子線(xiàn)EB通 過(guò)的電子通過(guò)孔20c，和用于使螺絲28通過(guò)的螺孔20d。其中，電子
通過(guò)孔20c，在電子線(xiàn)EB的射出方向上貫通框部件20，其平面形狀成 為以?huà)呙榉较騍為長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)方形狀。凹部20a形成為，使在其底面上包含電子通過(guò)孔20c的一端(開(kāi) 口)，并到達(dá)在掃瞄方向S上的框部件20的兩端。另外，螺孔20d，沿 著掃瞄方向S，在凹部20a的兩側(cè)多個(gè)并列形成。通過(guò)在螺孔20d中插 通螺絲28，并使該螺絲28與臺(tái)座34的螺孔螺合，從而將框部件20 固定在臺(tái)座34上。另外，當(dāng)取下螺絲28時(shí)，可將該框部件20與臺(tái)座 34脫離。窗部件21是用于使從電子槍2射出的電子線(xiàn)EB透過(guò)并射出至真 空容器30外部的膜狀部件。窗部件21，以覆蓋框部件20的電子通過(guò) 孔20c的一端的方式，設(shè)置在凹部20a的底面上。另外，通過(guò)使用釬 料27并釬焊在框部件20上，從而以關(guān)閉電子通過(guò)孔20c的方式使窗 部件21氣密接合在框部件20上。固定用部件22是用于使窗部件21確實(shí)地固定在框部件20上的部 件。固定用部件22形成為在中央部分具有開(kāi)口22a的長(zhǎng)方形狀，以使 開(kāi)口 22a與框部件20的電子通過(guò)孔20c相通連的方式，設(shè)置在凹部20a 的底面上且框部件21上，將窗部件21挾持在與框部件20之間。另外， 固定用部件22的外徑(與掃瞄方向S垂直的方向上的寬度)設(shè)定為比 凹部20a的寬度小，在固定用部件22的側(cè)面22b與凹部20a的側(cè)壁20b 之間，存在有縫隙。該縫隙，用于使與圖5所示的夾具B具有相同作 用的夾具嵌入的縫隙。另外，在固定用部件22與框部件20之間，填充有釬料27，而此 釬料27的一部分，與窗部件21接觸。如上所述，通過(guò)將固定用部件 22釬焊在框部件20以及窗部件21上，而使窗部件21與框部件20強(qiáng) 固地接合，同時(shí)，增加框部件20與窗部件21間的氣密性。另外，在框部件20與真空容器30 (臺(tái)座34)之間，與第1實(shí)施 方式相同，設(shè)置有密封部件(0型環(huán)29)。 0型環(huán)29，對(duì)框部件20與 真空容器30 (臺(tái)座34)間的縫隙進(jìn)行氣密密封。在真空容器30側(cè)(臺(tái) 座34側(cè))形成有用于收容O型環(huán)29的溝這點(diǎn)上，與第1實(shí)施方式相 同。
電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置lb，與電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置la相同，還具有用于對(duì)真 空容器30的內(nèi)部進(jìn)行排氣的真空泵51 (參考圖2)。真空泵51，從設(shè) 置有連接器6的一側(cè)的真空容器30的側(cè)面突出設(shè)置。通過(guò)對(duì)真空泵51 進(jìn)行如上所述配置，使連接器6以及真空泵51相對(duì)于電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置 lb的中心軸線(xiàn)配置在同方向上，因此容易進(jìn)行連接器6的電源用插頭 的插拔，以及真空泵51的維修。另外，真空泵51，經(jīng)由排氣通路30d 與真空容器30的收容室30a相連接。如本實(shí)施方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置lb所示，本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝 置，也可具有矩形狀的窗單元10d，另外，也可具有多個(gè)窗單元10d。 特別是，在使電子線(xiàn)EB以線(xiàn)狀進(jìn)行掃瞄的方式的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置中， 如本實(shí)施方式所示，通過(guò)沿著掃瞄方向S使多個(gè)窗單元10d并列，可 容易地實(shí)現(xiàn)不使窗部件21破損而對(duì)窗單元10d進(jìn)行裝卸的構(gòu)成。另外， 在本實(shí)施方式中，將多個(gè)窗單元10d并列設(shè)置，但是代替多個(gè)窗單元 10d，也可配置沿著掃瞄方向S延伸的1個(gè)的窗單元。本發(fā)明的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，并不限定于上述各實(shí)施方式以及變形 例，可對(duì)其進(jìn)行各種變形。例如，在第1實(shí)施方式中，表示電子通過(guò) 孔為圓形的框部件，在第2實(shí)施方式中表示電子通過(guò)孔為長(zhǎng)方形狀的 框部件，但是框部件的電子通過(guò)孔也可設(shè)為除此之外的各種的形狀。 而且，根據(jù)其電子通過(guò)孔的形狀或大小，可對(duì)框部件的凹部、窗部件、 以及固定用部件的平面形狀進(jìn)行適當(dāng)變形。另外，在上述各實(shí)施方式中，作為絕緣塊的一例，對(duì)由環(huán)氧樹(shù)脂 制成的部件進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明中的絕緣塊，不限于環(huán)氧樹(shù)脂， 也可由例如陶瓷或硅樹(shù)脂等的其它絕緣材料構(gòu)成。另外，在上述各實(shí) 施方式中，針對(duì)從連接器供給高電壓的構(gòu)成進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可在 絕緣塊的內(nèi)部具有升壓電路。
權(quán)利要求
1. 一種電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，具有電子槍?zhuān)渚哂猩涑鲭娮泳€(xiàn)的電子放出部件；容器，其收容所述電子放出部件；框部件，其具有用于使所述電子線(xiàn)通過(guò)的電子通過(guò)孔，并可裝卸地安裝在所述容器上；和窗部件，其以對(duì)所述電子通過(guò)孔進(jìn)行氣密地封閉的方式，接合在所述框部件上，并使所述電子線(xiàn)透過(guò)。
2. 如權(quán)利要求
l所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于， 還具有密封部件，其設(shè)置在所述框部件與所述容器的縫隙間，對(duì)所述縫隙進(jìn)行氣密密封，在所述容器側(cè)形成有用于收容所述密封部件的溝。
3. 如權(quán)利要求
1或2所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于， 所述窗部件，釬焊在所述框部件上。
4. 如權(quán)利要求
1或2所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于， 還具有固定用部件，其具有用于使所述電子線(xiàn)通過(guò)的開(kāi)口，在與所述框部件之間挾持所述窗部件，所述固定用部件，釬焊在所述窗部件以及所述框部件上。
5. 如權(quán)利要求
4所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于， 所述框部件，具有在底面包含所述電子通過(guò)孔的一端的凹部，所述固定用部件，配置在所述底面上，在所述凹部的側(cè)壁與所述固定用部件的側(cè)面之間，設(shè)置有縫隙。
6. 如權(quán)利要求
4或5所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于， 所述固定用部件點(diǎn)焊在所述框部件上。
7. 如權(quán)利要求
1 6中任一項(xiàng)所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述框部件螺絲固定在所述容器上。
8. 如權(quán)利要求
1 6中任一項(xiàng)所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，還具有推壓部件，其推壓所述框部件并與所述容器相螺合。
9. 如權(quán)利要求
1 6中任一項(xiàng)所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述框部件與所述容器相螺合。
10. 如權(quán)利要求
1 9中任一項(xiàng)所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述電子通過(guò)孔的所述容器側(cè)的寬度，朝向所述容器的內(nèi)部擴(kuò)大 為錐形。
11. 如權(quán)利要求
1 10中任一項(xiàng)所述的電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述容器具有用于對(duì)所述框部件進(jìn)行定位的階梯部。
專(zhuān)利摘要
一種電子線(xiàn)產(chǎn)生裝置(1a)具有電子槍(2)；真空容器(3)；框部件(11)；以及窗部件(13)。電子槍(2)，具有射出電子線(xiàn)(EB的燈(filament)(7)。真空容器(3)收容燈絲(7)?？虿考?11)具有用于使電子線(xiàn)(EB)通過(guò)的電子通過(guò)孔(11c)，并可裝卸地安裝在真空容器(3)上。窗部件(13)，以對(duì)電子通過(guò)孔(11c)進(jìn)行氣密地密封的方式，接合(釬焊)在框部件(11)上，并使電子線(xiàn)(EB)透過(guò)。
文檔編號(hào)G21K5/00GKCN101401168SQ200780008696
公開(kāi)日2009年4月1日 申請(qǐng)日期2007年2月8日
發(fā)明者松村達(dá)也 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan