本發(fā)明涉及一種X射線光學系統(tǒng)的裝配方法，尤其是涉及一種八通道Kirkpatrick-Baez(KB)顯微鏡的精密裝配方法。

背景技術(shù)：

時間分幅的X射線成像是高能量密度物理(HEDP)和慣性約束聚變(ICF)研究中一種重要的診斷手段，其通過多通道的X射線成像光學系統(tǒng)，配合時間分辨的分幅相機，可以給出等離子體在二維方向上不同時刻的演化行為，每個成像通道分別對應(yīng)某一時刻等離子體的瞬態(tài)信息。發(fā)展多通道、高分辨的X射線光學系統(tǒng)，對獲取等離子體在空間和時間上更細致的演化過程具有重要意義。KB顯微鏡是在慣性約束聚變(ICF)研究中進行2-5μm高空間分辨成像診斷的關(guān)鍵設(shè)備。目前實際投入使用的KB顯微鏡由兩兩相對正交排列的四塊球面鏡構(gòu)成，四塊反射鏡之間在子午和弧矢方向上相互利用，僅能形成4個成像通道，已逐步不能滿足ICF診斷物理的研究需求。為此，各國都在發(fā)展具有更多通道數(shù)的多通道KB顯微成像系統(tǒng)，典型的有法國LMJ裝置的八通道KB系統(tǒng)和美國OMEGA裝置的十六通道KB系統(tǒng)。

多通道KB顯微鏡的研制難點主要在于對多通道KB物鏡的高精度裝配上。這一問題可以從物像兩方面說明。在物方視場，KB顯微鏡是一種小視場、長工作距離的掠入射反射式光學系統(tǒng)，其空間分辨率隨視場變化明顯，能夠?qū)崿F(xiàn)2-5μm高空間分辨的最佳視場范圍僅在幾百微米量級，與待成像的ICF物理目標尺度相當，因此KB顯微鏡對最佳視場的定位瞄準非常困難，多通道KB顯微鏡更是需要將所有通道的最佳視場定位到百微米級的同一物點位置。其次，分幅相機由若干條間距一定的微帶構(gòu)成，高壓電脈沖信號沿微帶傳播，此時微帶被選通，KB成像才被微帶后端的CCD相機記錄。這一成像原理要求多通道KB系統(tǒng)的像點必須按照一定距離排布于不同微帶上。

美國OMEGA裝置的十六通道KB系統(tǒng)和法國LMJ裝置的八通道KB系統(tǒng)的裝配均通過特定尺寸和角度的裝配基準面實現(xiàn)。以美國OMEGA裝置十六通道KB物鏡裝配為例(見圖1)，其通過光學冷加工工藝把單塊KB反射鏡側(cè)面或背面與工作反射面之間加工出特定的尺寸或水平垂直等特定角度關(guān)系。多塊KB反射鏡按一定構(gòu)型直接拼接裝配，以反射鏡側(cè)面或背面作為裝配基準面，通過光膠方法與尺寸精度很高的玻璃鏡座固化在一起。這種方法，將各反射鏡工作反射面之間的位置關(guān)系，借助反射鏡側(cè)面或背面與玻璃鏡座的裝配來實現(xiàn)。上述方法存在如下問題：1.對KB反射鏡的光學冷加工精度要求高，不僅需要工作反射面具有很高的面形精度和表面粗糙度以保證空間分辨率和反射效率，還必須保證作為裝配基準面的反射鏡側(cè)面或背面與工作反射面的相對距離和角度精度。2.目前光學冷加工精度可以達到約10角秒的水平，雖然對應(yīng)的物方和像方視場偏離可以達到十微米級和百微米級。但是在將多塊KB反射鏡按照一定構(gòu)型拼接裝配的過程中，多塊反射鏡在相互頂靠和接觸時新引入的誤差要遠高于單個KB反射鏡的加工誤差，因此實際的KB顯微鏡的裝配精度遠無法達到名義精度。此外，裝配完畢后的KB顯微鏡作為一個物鏡整體不再具有可調(diào)量，無法將裝配過程引入的誤差予以修正和校準。3.實際加工完成的KB反射鏡的曲率半徑與設(shè)計值存在偏差，這一偏差導(dǎo)致KB顯微鏡的實際最佳視場位置與名義位置產(chǎn)生偏離，無法在上述的物鏡裝配過程中予以修正。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種八通道Kirkpatrick-Baez(KB)顯微鏡的精密裝配方法，尤其是一種實現(xiàn)八通道KB顯微鏡最佳物點位置重合及像點間隔準確控制的物鏡裝配方法。

本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

一種八通道Kirkpatrick-Baez(KB)顯微鏡的精密裝配方法，能夠?qū)崿F(xiàn)八通道KB顯微鏡最佳物點位置重合及像點間隔準確控制，其方法可以分為粗裝配和精裝配兩個部分。

首先進行的粗裝配是將兩塊球面反射鏡對向頂靠在一個高精度玻璃錐芯上構(gòu)成一個鏡對，玻璃錐芯實質(zhì)上是一塊具有特定厚度和錐角的棱鏡，采用常規(guī)的光學冷加工工藝制備出的棱鏡即可達到10角秒及20微米水平的精度水平。雖然在頂靠過程中不可避免的存在誤差，但仍可借助此方法粗略保證兩個工作反射面的相對距離及角度關(guān)系。粗裝配的方法及步驟如下：

1.圖2是每對反射鏡在子午面內(nèi)的光學關(guān)系，在八通道KB顯微鏡的初始結(jié)構(gòu)設(shè)計中，將工作反射面和光軸之間引入距離y和夾角α，其中y是指工作反射面前端點與光軸的距離，α是指工作反射面中心切線與光軸的夾角。通過距離y保證各通道符合成像公式的最佳物方視場位于同一物點位置，通過夾角α控制像面上各通道的間隔與分幅相機實際的微帶間隔相符。距離y和夾角α與曲率半徑R、掠入射角θ、放大倍率M、反射鏡鏡長d和分幅相機微帶間隔2L等初始結(jié)構(gòu)參數(shù)之間具有如下數(shù)學關(guān)系：

u＝R sinθ(1+1/M)/2 (1)

L＝u·[M·sin(α-θ)-sin(α+θ)] (2)

$y=R\·cos\mathrm{\α}-u\·sin(\mathrm{\θ}+\mathrm{\α})-\sqrt{R^2-{(d\·cos\mathrm{\α}+R\·sin\mathrm{\α})}^2}---\left(3\right)$

2.每一成像通道的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)，如曲率半徑R、掠入射角θ、放大倍率M、和反射鏡鏡長d等根據(jù)ICF物理實驗的需求提前確定，其最佳視場位置滿足成像公式(1)；實驗所用的分幅相機的微帶間隔2L是一定的，從而根據(jù)公式(2)計算得到夾角α的具體數(shù)值；再進一步根據(jù)公式(3)確定鏡面前端點與光軸的距離y。2y和2α即是待加工的玻璃錐芯的厚度和夾角。三對反射鏡在裝配為一套八通道KB顯微鏡整體時，各對反射鏡還需要具有相同的共軛關(guān)系，即物像距之和相同：

u₁(1+M₁)＝u₂(1+M₂)＝u₃(1+M₃) (4)

其中，M₁、M₂、M₃分別表示不同反射鏡的放大倍率。

八通道KB顯微鏡的各對反射鏡的物距、掠入射角、放大倍數(shù)及像點間隔L分別具有不同數(shù)值，因此實際加工的玻璃錐芯的厚度和夾角也存在差異。確定光學初始結(jié)構(gòu)參數(shù)時，每對反射鏡之間在沿光軸方向留出一定的間隙，以避免各對反射鏡在調(diào)節(jié)過程中相互阻擋。此外，由于子午方向上的兩隊反射鏡沿光軸方向順序排列，因此參與各通道成像的X射線在傳播過程中，可能存在被其它通道反射鏡阻擋的情況。此時須在反射鏡拋光加工時，預(yù)先在反射鏡的工作反射面下方鉆孔，以作為X射線的傳播通道。

3.將各對反射鏡分別頂靠在加工完成的高精度玻璃錐芯上，從而構(gòu)成三個鏡對。為降低頂靠過程中壓力對工作反射面表面質(zhì)量的影響，可采用彈性球塞從反射鏡背面頂靠的方式。

理想情況下，若八通道KB顯微鏡各參數(shù)的實際數(shù)值與公式(1)-(3)中的設(shè)計值相符，是不存在最佳視場偏離和像點間隔偏差的。但在實際中則包含多種誤差因素。首先，KB反射鏡在加工完成后，其實際曲率半徑與設(shè)計值存在一定誤差(ΔR)。其次，玻璃錐芯自身的加工誤差，以及反射鏡頂靠錐芯時的裝配誤差，造成了工作反射面的實際間隔和夾角與理想值的偏差(Δy和Δα)。上述誤差對公式(1)-(4)中各參數(shù)的實際值造成影響，從而引起最佳視場以及像點間隔的偏離。公式(1)-(4)中，曲率半徑R、鏡面夾角α、鏡面間隔y和反射鏡鏡長d等參量在每對反射鏡粗裝配完成后業(yè)已固定，無法改變；掠入射角θ、放大倍率M和物距u在實際裝配中可以看作是可變量；分幅相機微帶具有一定的寬度，實際成像點只需要位于這一寬度內(nèi)即可，因此像點間隔L也可以看作在一定范圍變化的可變量。從光路原理上講，掠入射角θ、放大倍率M和物距u和像點間隔L這四個可變量對應(yīng)四個幾何光路公式，因此上述誤差造成各參數(shù)實際數(shù)值的改變，是可以通過改變上述四個可變量予以補償?shù)?。換言之，若能夠在實際裝配中控制掠入射角θ、放大倍率M和物距u和像點間隔L，可以補償反射鏡的曲率半徑誤差、錐芯的加工誤差以及反射鏡頂靠錐芯時的配合誤差等因素對實際成像的影響。這就為實現(xiàn)多通道KB顯微鏡的精裝配提供了一種理論基礎(chǔ)，即：裝配過程借助X射線實時成像，不斷調(diào)節(jié)各對反射鏡的物距和像距，直至各通道最佳視場位于同一位置并且通道間的像點間隔符合設(shè)計要求。

精裝配對各通道最佳視場一致性的調(diào)節(jié)方法及步驟如下：

4.以X射線光管為背光源，其上有標記點的方孔載網(wǎng)為物，X射線CCD置于像面作為記錄設(shè)備。將三對反射鏡分別懸掛于六維調(diào)節(jié)臺，沿光軸按照“子午-弧矢-子午”依次正交排列，六維調(diào)節(jié)臺包括三維方向平移及三維角度調(diào)節(jié)功能，從而實現(xiàn)各鏡對空間姿態(tài)的調(diào)整。各對反射鏡與方孔載網(wǎng)的初始距離按照名義物距。

5.首先完成子午方向的第一對反射鏡和弧矢方向上一對反射鏡的調(diào)節(jié)，物方的方孔載網(wǎng)的X射線依次經(jīng)過子午和弧矢方向的反射鏡后，在像面的X射線CCD記錄下方孔載網(wǎng)的四幅KB成像。根據(jù)四幅圖像在子午方向和弧矢方向上方孔載網(wǎng)不同位置的清晰程度變化，分別判斷兩對反射鏡物距的調(diào)節(jié)方向，調(diào)節(jié)反射鏡物距直至標記點位置所成的四幅圖像均達到所需的空間分辨率水平。

6.隨后將子午方向上第二對反射鏡平移入光路，物方的方孔載網(wǎng)的X射線先后經(jīng)過弧矢和子午方向的反射鏡后，在像面的X射線CCD記錄下方孔載網(wǎng)新成的四幅KB成像?；∈阜较虻姆瓷溏R已經(jīng)在上一步調(diào)節(jié)完畢，此時只需要根據(jù)四幅新成圖像在子午方向上不同位置的清晰程度變化，判斷子午方向上第二對反射鏡物距的調(diào)節(jié)方向，直至標記點位置所成的四幅圖像均達到預(yù)期的空間分辨率水平。

精裝配對各通道像點間隔的調(diào)節(jié)方法及步驟如下：

7.由圖2可知，改變像距會使得各通道的像點間隔發(fā)生變化。因此，沿光軸方向移動X射線CCD，觀察各通道像點間隔的變化情況，直至八個通道的像點間隔均能夠落入分幅相機微帶12mm寬度范圍以內(nèi)。KB顯微鏡的數(shù)值孔徑在10^-4量級，在X射線能段對應(yīng)的景深能夠達到百毫米水平，因此不考慮像距改變對空間分辨率造成的影響。

8.上述粗裝配和精裝配步驟完成后，在三對反射鏡下方放置一塊機械件，并用環(huán)氧樹脂將三對反射鏡與該機械件固化為一個物鏡整體，此時八通道KB物鏡的裝配最終完成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點及有益效果：

1、不增加光學元件的加工難度。首先，用于本發(fā)明的八通道KB物鏡粗裝配的玻璃芯采用傳統(tǒng)棱鏡的光學冷加工工藝即可實現(xiàn)。其次，本發(fā)明提出的八通道KB物鏡裝配方法對KB反射鏡的加工要求與普通的單通道KB系統(tǒng)相同，只需要保證工作反射面的面形精度和表面粗糙度以保證空間分辨率和反射效率，不需要保證反射鏡側(cè)面或背面與工作反射面的相對距離和角度精度。這就避免了現(xiàn)有美國OMEGA裝置十六通道及法國LMJ裝置八通道KB物鏡裝配過程中對光學元件的苛刻要求。

2、最終的裝配精度高。本發(fā)明提出的物鏡裝配方法是借助于的光學冷加工工藝，首先完成各對反射鏡自身的粗裝配，而精裝配則借助X射線實時成像實驗修正粗裝配過程中的誤差，X射線成像實驗得到的空間分辨率及像點間隔直接代表了系統(tǒng)用于強激光裝置物理實驗的結(jié)果。因此，本發(fā)明避免了現(xiàn)有裝配方式存在的誤差引入問題，最終的裝配精度高。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有多通道KB物鏡的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為八通道KB物鏡各鏡對在子午面內(nèi)的空間排布關(guān)系圖：1.物點；2.錐芯；3.子午方向KB鏡；4.像點；5.光軸；5-1.光軸平行線；6.工作反射面中心點；6-1.工作反射面前端點；7.工作反射面中心切線；

圖3為實施例中鍍制在八通道KB物鏡工作反射面上的多層膜結(jié)構(gòu)的反射率曲線圖；

圖4為實施例中八通道KB物鏡匹配的分幅相機微帶尺寸圖；

圖5為實施例中八通道KB物鏡各反射鏡排布與各像點的成像關(guān)系圖；

圖6為實施例中八通道KB物鏡在子午和弧矢方向的光路結(jié)構(gòu)示意圖：1.物點；2.錐芯；3.像平面；；

圖7為實施例中用于八通道KB物鏡粗裝配的三組支撐錐芯的加工要求圖

圖8為實施例中八通道KB物鏡的鉆孔反射鏡加工要求圖；

圖9為實施例中八通道KB物鏡M1/M2鏡粗裝配過程的固定結(jié)構(gòu)示意圖：1.KB反射鏡；2.錐芯；3.固定架；4.彈性球塞；5.裝調(diào)螺孔；

圖10為實施例中八通道KB物鏡的精裝配過程示意圖：1.X光管；2.600目方孔載網(wǎng)；3.KB鏡前蓋；4.M1M2鏡對固定架；5.M3M4鏡對固定架；6.M5M6鏡對固定架；7.CCD；8.底板；9.M1M2鏡對調(diào)整架；10.M3M4鏡對調(diào)整架；11.M5M6鏡對調(diào)整架；12.調(diào)節(jié)架固定螺絲；

圖11為實施例中八通道KB物鏡得到了八個成像通道的網(wǎng)格成像實驗結(jié)果。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例說明本發(fā)明提出的八通道KB物鏡的裝配方法。

實施例

物鏡將用于激光裝置錐殼靶在內(nèi)爆壓縮過程中的低能X射線自發(fā)光成像診斷或示蹤元素Cu的Kα特征X射線成像診斷。該套KB物鏡希望能夠?qū)χ睆郊s500微米靶丸實現(xiàn)約5微米空間分辨的成像能力。根據(jù)空間分辨率和集光效率的應(yīng)用需求，設(shè)計的該套八通道KB物鏡的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)見表1，其中曲率半徑20.5m是通過表面輪廓儀(型Bruker ContourGT-X3)的實測得出，以降低光學冷加工過程中實際曲率半徑與設(shè)計值的偏差，從而降低對KB物鏡成像的影響。在8keV高能點以及小于3.7keV低能點實現(xiàn)X射線反射的多層膜結(jié)構(gòu)設(shè)計見表2。

表1八通道KB物鏡的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)

表2鍍制在八通道KB物鏡工作反射面的多層膜結(jié)構(gòu)參數(shù)

八通道KB物鏡各鏡對在子午面內(nèi)的空間排布關(guān)系如圖2所示，各組反射鏡在不同設(shè)計掠入射角度下的反射率曲線見圖3。

該套八通道KB物鏡的粗裝配步驟如下：

1.該物鏡需要配合的分幅相機的微帶排布如圖4所示，相鄰微帶中心的間隔為16mm，每條微帶自身的寬度為12mm。各反射鏡與微帶上像點排布的對應(yīng)關(guān)系如圖5所示，子午方向的第一對反射鏡M1/M2和弧矢方向的M3/M4相互利用形成的四幅圖像A1-A4位于分幅相機外側(cè)的兩條微帶上，對應(yīng)像點間隔2L₁＝48mm，弧矢方向的M3/M4再次與子午方向的第二對反射鏡M5/M6相互利用形成的另外四幅圖像A5-A8位于分幅相機內(nèi)側(cè)的兩條微帶上，對應(yīng)像點間隔2L₃＝16mm。另外，同一微帶上兩個成像點對應(yīng)的間隔要求較為寬松，本實施例設(shè)計為2L₂＝21.6mm。如表1初始結(jié)構(gòu)參數(shù)所示，反射鏡沿光軸方向的長度為8mm，而各對反射鏡的物距相差10mm，即依序排列的各對反射鏡之間留有2mm的間隙，這是為避免后續(xù)在精裝配過程中調(diào)節(jié)物距時各元件的相互阻擋。

2.本實施例的八通道KB物鏡在子午和弧矢方向上具體的空間排布及對應(yīng)關(guān)系如圖6所示，在表1所述的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)的基礎(chǔ)上，根據(jù)公式(2)-(3)分別得到用于完成粗裝配的三組支撐錐芯的幾何尺寸分別如圖7所示，通過支撐錐芯1控制子午方向上的第一對反射鏡M1/M2對應(yīng)的像點間隔為2L₁＝48mm，通過支撐錐芯2控制弧矢方向上的一對反射鏡M3/M4對應(yīng)的像點間隔為2L₂＝21.6mm，通過支撐錐芯3控制子午方向上的第二對反射鏡M5/M6對應(yīng)像點間隔為2L₃＝16mm。通過計算可知，入射到子午方向上第二對反射鏡的X射線在穿過第一對反射鏡時，會位于第一對反射鏡鏡面下方約2.0mm的位置，因此為避免第一對反射鏡的阻擋，在其下方鉆有直徑約1mm的通光孔，以作為第二對反射鏡的X射線通道，反射鏡的加工圖紙見圖8。其中曲率半徑設(shè)計值為20m，通過表面輪廓儀(型Bruker ContourGT-X3)實測得出的數(shù)值為20.5m，即在八通道KB初始結(jié)構(gòu)設(shè)計中所采用的曲率半徑數(shù)值。

3.如圖9所示，采用彈性球塞將反射鏡M1/M2頂靠在加工完成的高精度玻璃錐芯1上，從而構(gòu)成M1/M2鏡對，其上的裝調(diào)螺孔用于后續(xù)將鏡對與六維調(diào)節(jié)臺固定連接并可拆卸。以同樣方法完成M3/M4和M5/M6鏡對的安裝。

精裝配的具體步驟如下：

4.如圖10所示，以X射線光管為背光源，上有標記點的600目方孔載網(wǎng)為物。將三個鏡對通過調(diào)節(jié)桿分別懸掛于三套六維調(diào)節(jié)臺，沿光軸方向按照“子午-弧矢-子午”依次正交排列。三個鏡對與方孔載網(wǎng)的初始距離分別按照表1各自確定的名義物距通過游標卡尺確定。X射線CCD置于像面作為記錄設(shè)備，由于CCD像面僅有36x24mm長寬，無法覆蓋八個通道最大的像點間隔(48x21.6mm)，因此X射線CCD連接于三維電控平移臺上，通過電控平移臺改變CCD位置，以實現(xiàn)對八個通道成像區(qū)域的覆蓋。

5.子午方向的M1/M2鏡對和弧矢方向的M3/M4鏡對將600目方孔載網(wǎng)形成四幅成像A1-A4，并被像面的X射線CCD記錄。根據(jù)A1-A4在子午方向和弧矢方向上600目方孔載網(wǎng)不同位置的清晰程度變化，分別判斷兩對反射鏡物距的調(diào)節(jié)方向，調(diào)節(jié)反射鏡物距直至600目方孔載網(wǎng)中心標記點達到所需的空間分辨率水平，此時完成了子午方向的M1/M2鏡對和弧矢方向的M3/M4鏡對的最佳視場位置的調(diào)節(jié)。

6.隨后將子午方向的M5/M6鏡對調(diào)節(jié)入光路，像面上另外增加四幅圖像A5-A8，即弧矢方向上M3/M4鏡對和子午方向上M5/M6鏡對相互利用得到的600目方孔載網(wǎng)的KB成像。根據(jù)A5-A8在子午方向上不同位置的清晰程度變化，判斷子午方向上第二對反射鏡M5/M6物距的調(diào)節(jié)方向，直至600目方孔載網(wǎng)中心標記點均達到預(yù)期的空間分辨率水平，此時完成子午方向上M5/M6鏡對的最佳視場位置的調(diào)節(jié)。

7.對于目標觀測區(qū)域直徑約500微米的靶丸成像，在KB物鏡約10倍放大率下的像面尺寸約為5mm。分幅相機的微帶寬度為12mm，因此理論上八個通道像點間隔的偏差只需要保持在±3.5mm范圍以內(nèi)，若考慮到實際物理實驗中的裝調(diào)和像面瞄準誤差，將八個通道像點間隔的偏差控制在±2mm范圍以內(nèi)是比較合適的。

沿光軸方向移動X射線CCD，直至八個通道的像點間隔均能夠落入分幅相機12mm寬微帶范圍以內(nèi)。本實施例最終在像面上得到的八個通道KB成像的結(jié)果如圖11所示。每幅圖像對應(yīng)的X射線CCD位置均由電控平移臺控制，并按照像點間隔設(shè)計值進行移動(豎直方向上四幅圖像在空間位置上各相差16mm；水平方向上兩幅圖像在空間位置上相差21.6mm)，因此每幅圖像上中心標記孔的坐標偏差即可代表本實施例最終所能實現(xiàn)的像點間隔控制精度。根據(jù)每幅圖像的標記孔在圖像上的坐標位置，以及X射線CCD移動的距離，可以換算得知：外側(cè)四個通道間的實測像點間隔約為51.2mm，與設(shè)計值48mm相差約3.2mm，因此外側(cè)每個通道在分幅相機的成像點與設(shè)計值偏大約1.6mm；內(nèi)側(cè)四個通道間的像點間隔約為13.8mm，與設(shè)計值16mm相差約2.4mm，因此內(nèi)側(cè)每個通道在分幅相機的成像點與設(shè)計值偏小約1.2mm，均能達到本實施例中±2mm的偏差控制要求。

8.上述粗裝配和精裝配步驟完成后，用環(huán)氧樹脂將三個鏡對與放置于鏡對下方的不銹鋼墊板粘合，待環(huán)氧樹脂固化為一個完整的物鏡整體后，擰下裝調(diào)螺孔處的螺絲，使得六維調(diào)節(jié)臺與八通道KB物鏡脫離，此時以不銹鋼墊板為支撐的八通道KB物鏡裝配最終完成。

上述的對實施例的描述是為便于該技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能理解和使用發(fā)明。熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員顯然可以容易地對這些實施例做出各種修改，并把在此說明的一般原理應(yīng)用到其他實施例中而不必經(jīng)過創(chuàng)造性的勞動。因此，本發(fā)明不限于上述實施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的揭示，不脫離本發(fā)明范疇所做出的改進和修改都應(yīng)該在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。