一種籽晶夾持桿的冷卻方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種籽晶夾持桿的冷卻方法，屬于熔體籽晶法單晶生長設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。主要包括籽晶夾持桿、籽晶夾頭、冷卻水管道，其特征在于：冷卻水道與籽晶夾持桿同軸，冷卻水管道套在籽晶夾持桿外，冷卻水管道內(nèi)壁與籽晶夾持桿表面有一個空隙，冷卻管道及冷卻水不與籽晶夾持桿接觸。本發(fā)明避免了冷卻水進(jìn)、出的動能對稱重的影響，便于晶體結(jié)晶的過程控制。
【專利說明】一種籽晶夾持桿的冷卻方法
[0001]
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及熔體籽晶法單晶生長設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種藍(lán)寶石長晶爐的籽晶夾持桿。
【背景技術(shù)】
[0003]參見圖1，目前國內(nèi)外的藍(lán)寶石長晶爐的籽晶夾持桿一般的冷卻方法是:籽晶夾持桿I的上部是中空的兩層結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)是冷卻水管道，冷卻水2在籽晶夾持桿上部中的冷卻水管道可進(jìn)、出循環(huán)，實現(xiàn)對籽晶夾持桿的冷卻。籽晶夾持桿有三個功用，一是通過在籽晶夾持桿底部的籽晶夾頭3實現(xiàn)對籽晶4的夾持和支撐，二是籽晶夾持桿頂部與稱重傳感器7相連實現(xiàn)稱重，三是在結(jié)晶過程中通過籽晶夾持桿提拉晶體5?，F(xiàn)有的冷卻方法有以下問題:由于冷卻 水進(jìn)、出管道，有一定的動能，而導(dǎo)致所稱重量波動、稱重不準(zhǔn)確，不便于晶體結(jié)晶的過程控制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種良好的冷卻方法，使冷卻水的動能不影響稱重，便于晶體結(jié)晶的過程控制。
[0005]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種籽晶夾持桿的冷卻方法，主要包括籽晶夾持桿、籽晶夾頭、冷卻水管道，其特征在于:冷卻水道與籽晶夾持桿同軸，冷卻水管道套在籽晶夾持桿外，冷卻水管道內(nèi)壁與籽晶夾持桿表面有一個空隙，冷卻管道及冷卻水不與籽晶夾持桿接觸。
[0006]作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述的籽晶夾持桿和籽晶夾頭，其特征在于:籽晶夾頭在籽晶夾持桿底部，籽晶夾頭下部可夾持籽晶，籽晶夾持桿頂部與稱重傳感器相連。
[0007]作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述的籽晶夾持桿和籽晶夾頭，其特征在于:籽晶夾持桿所用材料為有一定抗腐蝕性的金屬材料，如不銹鋼；籽晶夾頭所用材料為耐高溫的鎢或鑰。
[0008]作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述的冷卻水管道，其特征在于:管道為中空、三層結(jié)構(gòu)，冷卻水在管道內(nèi)可進(jìn)、出形成循環(huán)。
[0009]作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，所述的冷卻水管道，其特征在于:管道所用材料為有一定抗腐蝕性的金屬材料，如不銹鋼。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:冷卻水管道套在籽晶夾持桿外，冷卻水管道內(nèi)壁與籽晶夾持桿表面有一個空隙，冷卻管道及冷卻水不與籽晶夾持桿接觸，因此冷卻水進(jìn)、出時的動能不會影響稱重，便于晶體結(jié)晶的過程控制。
【專利附圖】

【附圖說明】[0011]圖1為籽晶夾持桿的現(xiàn)有冷卻方法結(jié)構(gòu)示意圖。圖1標(biāo)記說明:1、籽晶夾持桿，2、冷卻水，3、籽晶夾頭，4、籽晶，5、晶體，6、熔體，7、稱重傳感器。
[0012]圖2為本發(fā)明的一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2標(biāo)記說明:1、冷卻水管道，2、冷卻水，3、籽晶夾持桿,4、籽晶夾頭,5、籽晶,6、晶體,7、熔體,8、稱重傳感器。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合圖2和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0014]參照圖2，籽晶夾持桿3頂部與稱重傳感器8相連，籽晶夾持桿3底部有籽晶夾頭4，籽晶夾頭4下面是籽晶5、晶體6、熔體7，冷卻水管道I與籽晶夾持桿3同軸，冷卻水管道I為中空的三層結(jié)構(gòu)，三層結(jié)構(gòu)使冷卻水2可進(jìn)、出循環(huán)，冷卻水管道I的內(nèi)壁與籽晶夾持桿3的表面之間有一個空隙，避免了冷卻水進(jìn)、出的動能對稱重的影響，便于晶體結(jié)晶的過程控制。
[0015]以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的實施方式，其描述較為具體與詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種籽晶夾持桿的冷卻方法，主要包括籽晶夾持桿、籽晶夾頭、冷卻水管道，其特征在于:冷卻水道與籽晶夾持桿同軸，冷卻水管道套在籽晶夾持桿外，冷卻水管道內(nèi)壁與籽晶夾持桿表面有一個空隙，冷卻管道及冷卻水不與籽晶夾持桿接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶夾持桿和籽晶夾頭，其特征在于:籽晶夾頭在籽晶夾持桿底部，籽晶夾頭下部可夾持籽晶，籽晶夾持桿頂部與稱重傳感器相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶夾持桿和籽晶夾頭，其特征在于:籽晶夾持桿所用材料為有一定抗腐蝕性的金屬材料，如不銹鋼；籽晶夾頭所用材料為耐高溫的鎢或鑰。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻水管道，其特征在于:管道為中空、三層結(jié)構(gòu)，冷卻水在管道內(nèi)可進(jìn)、出形成循環(huán)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻水管道，其特征在于:管道所用材料為有一定抗腐蝕性的金屬材料，如不銹鋼 。
【文檔編號】C30B29/20GK103938267SQ201410197342
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年5月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月12日
【發(fā)明者】劉世全, 周顯智, 王展航 申請人:深圳晶藍(lán)地光電科技有限公司