負(fù)型感光性樹脂組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題是提供一種負(fù)型感光性樹脂組合物，所述樹脂組合物能夠厚膜化，即使在曝光前也不具有粘性，能夠通過堿顯影以高分辨率形成圖案，所形成的涂膜透明性高且在后烘烤后收縮小。解決手段是含有下述(A)成分、(B)成分和(C)溶劑的負(fù)型感光性樹脂組合物。(A)成分：由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物至少含有(i)N-烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體；(B)成分：光產(chǎn)酸劑；(C)溶劑。
【專利說明】負(fù)型感光性樹脂組合物
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及負(fù)型感光性樹脂組合物和由其獲得的固化膜。更具體而言，本發(fā)明涉及在顯示器材料用途中合適的感光性樹脂組合物及其固化膜以及使用該固化膜的各種材料。
【背景技術(shù)】
[0002]已知含有環(huán)氧化合物和光產(chǎn)酸劑的環(huán)氧陽離子聚合系UV固化樹脂，透明性高且能夠厚膜化(例如，專利文獻(xiàn)I)。然而，由于在涂布后且在曝光前涂膜具有粘性，所以操作性差。另外，由于不能進(jìn)行利用堿水溶液的顯影，所以必須進(jìn)行利用有機溶劑的顯影。就堿顯影而言，雖然認(rèn)為可以在聚合物中引入羧基，但是在具有環(huán)氧基的單體與具有羧基的單體的共聚合的情況下，在聚合中環(huán)氧基與羧基容易發(fā)生反應(yīng)，難以控制聚合物的合成。另夕卜，即使能夠控制反應(yīng)合成聚合物，保存穩(wěn)定性也低。
[0003]作為能夠堿顯影的物質(zhì)，已知含有具有丙烯?；木酆衔?、多官能丙烯酸系單體和光自由基引發(fā)劑的自由基聚合系的負(fù)型材料(例如，專利文獻(xiàn)2)。在該發(fā)明中，雖然通過在聚合物中引入羧基能夠堿顯影，但是為了進(jìn)行厚膜化必須高粘度化，所以操作性差。另夕卜，由于聚合為自由基體系，所以在光固化時容易受到表面的氧抑制，存在表面的膜減少變大的問題。
[0004]另一方面，正型材料雖然分辨率高，但是難以厚膜化且透明性也低(例如，專利文獻(xiàn)3)。
[0005]從這些方面考慮，期望透明性高且能夠堿顯影，在厚膜化時操作性也高的材料。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:國際專利申請公布W02008/007764號公報
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-302389號公報
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開平8-339082號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明要解決的問題
[0012]鑒于上述情況，本發(fā)明提供一種負(fù)型感光性樹脂組合物，其能夠厚膜化，在曝光前也不具有粘性，能夠通過堿顯影以高分辨率形成圖案，所形成的涂膜透明性高，在后烘烤后收縮也小。
[0013]解決問題的手段
[0014]本
【發(fā)明者】為了解決上述問題進(jìn)行了悉心研究的結(jié)果，最終做出了本發(fā)明。
[0015]即，涉及以下方面，
[0016]作為第I方面，一種負(fù)型感光性樹脂組合物，其含有下述(A)成分、(B)成分和(C)溶劑，[0017](A)成分:由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物至少含有(i)N_烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體，
[0018](B)成分:光產(chǎn)酸劑，
[0019](C)成分:溶劑；
[0020]作為第2方面，根據(jù)第I方面所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，用于(A)成分的(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體為馬來酰亞胺；
[0021]作為第3方面，根據(jù)第I方面或第2方面所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，基于100質(zhì)量份感光性樹脂組合物，其還含有0.1?10質(zhì)量份的敏化劑作為(D)成分；
[0022]作為第4方面，根據(jù)第I方面或第2方面所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還含有具有羥基的聚合物作為(E)成分；
[0023]作為第5方面，根據(jù)第I方面至第3方面所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，(A)成分為由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物還含有具有羥基的單體；
[0024]作為第6方面，根據(jù)第I方面至第5方面所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還含有交聯(lián)劑作為(F)成分；
[0025]作為第7方面，一種固化膜，其是使用第I方面至第6方面中任一項所述的負(fù)型感光性樹脂組合物而獲得的；
[0026]作為第8方面，一種液晶顯示器用層間絕緣膜，其包含第7方面所述的固化膜；
[0027]作為第9方面，一種光學(xué)濾光器，其包含第7方面所述的固化膜。
[0028]發(fā)明的效果
[0029]本發(fā)明的感光性樹脂組合物，由于在曝光前不具有粘性，能夠堿顯影，即使在厚膜的情況下，也能夠形成透明性、分辨率高的涂膜圖案，所以最適合形成作為光學(xué)部件的構(gòu)造體。
【具體實施方式】
[0030]本發(fā)明的負(fù)型感光性樹脂組合物為含有下述㈧成分、⑶成分和(C)溶劑的感光性樹脂組合物。
[0031](A)成分:由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物至少含有(i)N_烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體，
[0032](B)成分:光產(chǎn)酸劑，
[0033](C)溶劑。
[0034]<⑷成分>
[0035](A)成分為由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物至少含有(i)N_烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體。
[0036]在本發(fā)明中，共聚物是指，使用丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、苯乙烯等具有不飽和雙鍵的單體進(jìn)行共聚而獲得的聚合物。
[0037](A)成分的共聚物，只要是具有這樣的結(jié)構(gòu)的共聚物即可，構(gòu)成共聚物的高分子的主鏈的骨架和側(cè)鏈的種類等并沒有特別限定。
[0038]然而，(A)成分的共聚物，如果數(shù)均分子量超過100000而過大，則未曝光部的顯影性降低，另一方面，如果數(shù)均分子量低于2000而過小，則曝光部的固化不充分，從而顯影時存在成分溶出的情況。因此，數(shù)均分子量在2000~100000的范圍內(nèi)。
[0039]用于(A)成分的(i)N_烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺用式(I)的結(jié)構(gòu)表示:
[0040][化I]
[0041]
【權(quán)利要求】
1.一種負(fù)型感光性樹脂組合物，其含有下述(A)成分、(B)成分和(C)溶劑， (A)成分:由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物至少含有(i)N-烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體， (B)成分:光產(chǎn)酸劑， (C)溶劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，用于(A)成分的(ii)具有堿溶性基團(tuán)的單體為馬來酰亞胺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，基于100質(zhì)量份的感光性樹脂組合物，其還含有0.1?10質(zhì)量份的敏化劑作為(D)成分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還含有具有羥基的聚合物作為(E)成分。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，(A)成分為由單體混合物共聚而成的共聚物，所述單體混合物還含有具有羥基的單體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還含有交聯(lián)劑作為(F)成分。
7.一種固化膜，其是使用權(quán)利要求1?6中任一項所述的負(fù)型感光性樹脂組合物而獲得的。
8.一種液晶顯示器用層間絕緣膜，其包含權(quán)利要求7所述的固化膜。
9.一種光學(xué)濾光器，其包含權(quán)利要求7所述的固化膜。
【文檔編號】H05B33/04GK104040432SQ201380004941
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2013年1月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月19日
【發(fā)明者】畑中真, 內(nèi)山芽育 申請人:日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會社