準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)，包括坩堝平臺(tái)、石墨立柱、鋼立柱、托板、升降裝置、傳動(dòng)軟軸和電機(jī)，所述坩堝平臺(tái)底面設(shè)有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保溫體外后與鋼立柱連接，鋼立柱向下伸出爐體后與水平設(shè)置的托板固定連接，爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接，托板上設(shè)有傳動(dòng)軟軸及電機(jī)，升降裝置由傳動(dòng)軟軸連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸由電機(jī)連接帶動(dòng)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，使坩堝平臺(tái)在鑄錠爐保溫體內(nèi)可以上下移動(dòng)，滿足了準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
【專(zhuān)利說(shuō)明】準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于準(zhǔn)單晶鑄錠爐【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及鑄錠爐中坩堝平臺(tái)的升降機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]準(zhǔn)單晶是在多晶硅鑄錠爐上采用鑄造結(jié)晶的方式，經(jīng)過(guò)一系列先進(jìn)的工藝流程所生產(chǎn)出的具有高轉(zhuǎn)換率的準(zhǔn)單晶硅片。其主要工藝是通過(guò)在準(zhǔn)單晶爐內(nèi)石英坩堝的底部放置籽晶，并在真空狀態(tài)下，采用精確分段控溫，保證硅料融化時(shí)籽晶部分融化，由此長(zhǎng)出單晶。目前國(guó)內(nèi)的多晶硅鑄錠爐主要是GT的結(jié)構(gòu)，是坩堝、平臺(tái)不動(dòng)，上發(fā)熱體、側(cè)發(fā)熱體及上保溫體上下移動(dòng)。這種結(jié)構(gòu)對(duì)多晶硅鑄錠爐可以滿足工藝要求，但在生產(chǎn)準(zhǔn)單晶硅的鑄錠爐中就不能滿足工藝要求。為了滿足準(zhǔn)單晶硅鑄錠的要求，鑄錠爐必須有嚴(yán)格的溫度梯度及凝固速度控制，適合的界面形狀，因此需要一個(gè)與之對(duì)應(yīng)的精準(zhǔn)熔化控制機(jī)構(gòu)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)的升降機(jī)構(gòu)，以滿足準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下方案:
[0005]一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)，包括坩堝平臺(tái)、石墨立柱、鋼立柱、托板、升降裝置、傳動(dòng)裝置、電機(jī)。
[0006]所述坩堝平臺(tái)底面設(shè)有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保溫體外后與鋼立柱連接，采用石墨立柱是因?yàn)楸伢w內(nèi)部的高溫環(huán)境；鋼立柱向下伸出爐體后與水平設(shè)置的托板固定連接，爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動(dòng)裝置及電機(jī)，升降裝置由傳動(dòng)軟軸連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸由電機(jī)連接帶動(dòng)。
[0007]工作時(shí)，所述電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)軟軸，傳動(dòng)軟軸通過(guò)高精度滾珠絲杠升降裝置把其變成直線運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)托板上下運(yùn)動(dòng)，托板通過(guò)鋼立柱及石墨立柱帶動(dòng)坩堝平臺(tái)實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動(dòng)。
[0008]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，使坩堝平臺(tái)在鑄錠爐內(nèi)可以上下移動(dòng)，滿足了準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的準(zhǔn)單晶鑄錠爐及其坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為圖1的仰視圖。
[0011]圖中:1為爐體、2為上保溫體、3為坩堝平臺(tái)、4為石墨立柱、5為下保溫體、6為鋼立柱、7為升降裝置、8為電機(jī)、9為托板、10為傳動(dòng)軟軸。
【具體實(shí)施方式】
[0012]以下結(jié)合實(shí)施例及其附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明:[0013]見(jiàn)圖1、圖2，一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)，包括坩堝平臺(tái)3、石墨立柱
4、鋼立柱6、托板9、升降裝置7、傳動(dòng)軟軸10、電機(jī)8。
[0014]如圖1、圖2所示，所述上保溫體2、下保溫體5內(nèi)部的坩堝平臺(tái)3底面設(shè)有三根石墨立柱4，石墨立柱4向下伸出下保溫體5外與鋼立柱6連接，鋼立柱6向下伸出爐體I后與水平設(shè)置的托板9固定連接，爐體I下固定設(shè)有三個(gè)升降裝置7，升降裝置7的絲杠與托板9配合連接，托板9上設(shè)有傳動(dòng)軟軸10及電機(jī)8，升降裝置7與傳動(dòng)軟軸10連接，傳動(dòng)軟軸10與電機(jī)8相連。
[0015]所述電機(jī)8帶動(dòng)兩根傳動(dòng)軟軸10，傳動(dòng)軟軸10通過(guò)滾珠絲杠帶動(dòng)三個(gè)升降裝置7旋轉(zhuǎn)，升降裝置7的絲杠旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為托板9的上下運(yùn)動(dòng)，托板9通過(guò)三根鋼立柱6及石墨立柱4帶動(dòng)坩堝平臺(tái)3實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動(dòng)。
[0016]以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺(tái)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于:包括坩堝平臺(tái)、石墨立柱、鋼立柱、托板、升降裝置、傳動(dòng)軟軸和電機(jī)； 所述坩堝平臺(tái)底面設(shè)有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保溫體外后與鋼立柱連接，鋼立柱向下伸出爐體后與水平設(shè)置的托板固定連接；爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動(dòng)軟軸及電機(jī)，升降裝置由傳動(dòng)軟軸連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸由電機(jī)連接帶動(dòng)。
【文檔編號(hào)】C30B28/04GK203382849SQ201320463112
【公開(kāi)日】2014年1月8日 申請(qǐng)日期:2013年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
【發(fā)明者】水川, 許柏 申請(qǐng)人:安徽大晟新能源設(shè)備科技有限公司