俯仰可調(diào)的二維運動平臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種俯仰可調(diào)的二維運動平臺，解決了現(xiàn)有的倒裝芯片鍵合機的工作效率低和操作工作強度大的問題。包括在大理石臺面（1）上設(shè)置有XY平臺（2），在XY平臺（2）的上方設(shè)置有俯仰調(diào)節(jié)直角三角板（3），在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板（3）的直角處底面上設(shè)置有固定支柱（4）和氣墊，在兩個銳角處分別設(shè)置有調(diào)節(jié)螺母和氣墊，氣墊和大理石臺面之間形成氣浮面保證了姿態(tài)和XY運動的互不影響。本發(fā)明保持了光學(xué)探頭姿態(tài)不變。提高了倒裝芯片鍵合機的工作效率。
【專利說明】俯仰可調(diào)的二維運動平臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種俯仰可調(diào)的X Y運動平臺，應(yīng)用在精密機械特別是電子專用設(shè)備上，是一種俯仰姿態(tài)可調(diào)的四自由度運動平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]在高精度倒裝芯片鍵合機上，二維運動平臺是其關(guān)鍵設(shè)備，在二維運動平臺上安裝有視覺系統(tǒng)的光學(xué)探頭裝置，用來實現(xiàn)對芯片和基板的精確對位，完成視覺掃描功能，光學(xué)探頭的仰俯姿態(tài)直接影響芯片和基板的對位精度?，F(xiàn)有二維運動平臺不具有俯仰功能，無法調(diào)整光學(xué)探頭的姿態(tài)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供了一種俯仰可調(diào)的二維運動平臺，解決了現(xiàn)有的倒裝芯片鍵合機的光學(xué)探頭的仰俯姿態(tài)無法調(diào)整的問題，使現(xiàn)有二維運動平臺具有俯仰功能。
[0004]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案解決以上技術(shù)問題的:
一種俯仰可調(diào)的二維運動平臺，包括大理石臺面，在大理石臺面上設(shè)置有XY平臺，在XY平臺的上方設(shè)置有俯仰調(diào)節(jié)直角三角板，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的直角處底面上設(shè)置有固定支柱，在固定支撐柱的底端連接有固定支撐柱氣墊，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的一銳角處設(shè)置有X向調(diào)節(jié)螺母，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的另一銳角處設(shè)置有Y向調(diào)節(jié)螺母，X向調(diào)節(jié)螺桿的上端與X向調(diào)節(jié)螺母螺接在一起，X向調(diào)節(jié)螺桿的下端連接有X向調(diào)節(jié)螺桿氣墊，Y向調(diào)節(jié)螺桿的上端與Y向調(diào)節(jié)螺母螺接在一起，Y向調(diào)節(jié)螺桿的下端連接有Y向調(diào)節(jié)螺桿氣墊，固定支撐柱氣墊、X向調(diào)節(jié)螺桿氣墊和Y向調(diào)節(jié)螺桿氣墊均活動設(shè)置在大理石臺面上，在X向調(diào)節(jié)螺桿上連接有X向調(diào)節(jié)推桿，在Y向調(diào)節(jié)螺桿上連接有Y向調(diào)節(jié)推桿，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的底面上設(shè)置有彈性片支撐座，在彈性片支撐座上設(shè)置有滾輪支撐軸，在滾輪支撐軸上設(shè)置有滾輪，長方形彈性片的一端活動設(shè)置在彈性片支撐座的滾輪上，長方形彈性片的另一端通過固定螺丁與俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的底面固定連接在一起，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的中部設(shè)置有螺栓孔，連接螺栓通過螺栓孔將長方形彈性片與XY平臺連接在一起。
[0005]在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板上分別設(shè)置有X向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭和Y向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭，X向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭的輸出端通過連桿與X向調(diào)節(jié)推桿連接在一起，Y向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭的輸出端與Y向調(diào)節(jié)推桿連接在一起。
[0006]本發(fā)明在傳統(tǒng)的XY平臺設(shè)計上，以花崗巖構(gòu)件平面作為XY運動平臺的安裝平面，XY運動平臺通過彈簧板驅(qū)動俯仰調(diào)節(jié)直角三角板，俯仰調(diào)節(jié)直角三角板的姿態(tài)通過三個高度可調(diào)的氣墊來控制，氣墊和花崗巖平面間形成氣浮面，在XY運動過程中保持各自的高度。保持光學(xué)探頭姿態(tài)不變。提高了倒裝芯片鍵合機的工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】[0007]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明的俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3與XY平臺2的配合關(guān)系的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明:
一種俯仰可調(diào)的二維運動平臺，包括大理石臺面1，在大理石臺面1上設(shè)置有XY平臺2，在XY平臺2的上方設(shè)置有俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3的直角處底面上設(shè)置有固定支柱4，在固定支撐柱4的底端連接有固定支撐柱氣墊5，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3的一銳角處設(shè)置有X向調(diào)節(jié)螺母10，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3的另一銳角處設(shè)置有Y向調(diào)節(jié)螺母12，X向調(diào)節(jié)螺桿6的上端與X向調(diào)節(jié)螺母10螺接在一起，X向調(diào)節(jié)螺桿6的下端連接有X向調(diào)節(jié)螺桿氣墊7，Y向調(diào)節(jié)螺桿8的上端與Y向調(diào)節(jié)螺母12螺接在一起，Y向調(diào)節(jié)螺桿8的下端連接有Y向調(diào)節(jié)螺桿氣墊9，固定支撐柱氣墊5、X向調(diào)節(jié)螺桿氣墊7和Y向調(diào)節(jié)螺桿氣墊9均活動設(shè)置在大理石臺面1上，在X向調(diào)節(jié)螺桿6上連接有X向調(diào)節(jié)推桿11，在Y向調(diào)節(jié)螺桿8上連接有Y向調(diào)節(jié)推桿13，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3的底面上設(shè)置有彈性片支撐座16，在彈性片支撐座16上設(shè)置有滾輪支撐軸17，在滾輪支撐軸17上設(shè)置有滾輪18，長方形彈性片15的一端活動設(shè)置在彈性片支撐座16的滾輪18上，長方形彈性片15的另一端通過固定螺丁 14與俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3的底面固定連接在一起，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3的中部設(shè)置有螺栓孔19，連接螺栓20通過螺栓孔19將長方形彈性片15與XY平臺連接在一起。
[0009]在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3上分別設(shè)置有X向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭21和Y向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭22，X向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭21的輸出端通過連桿23與X向調(diào)節(jié)推桿11連接在一起，Y向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭22的輸出端與Y向調(diào)節(jié)推桿13連接在一起。
[0010]本發(fā)明采用大理石臺面1作為通用兩級XY運動平臺的基礎(chǔ)，既X平臺固定在大理石臺面1上，Y平臺固定在X平臺上。俯仰調(diào)節(jié)直角三角板3通過長方形彈性片15連接到XY運動平臺。固定支撐柱氣墊5、X向調(diào)節(jié)螺桿氣墊7和Y向調(diào)節(jié)螺桿氣墊9，根據(jù)三點確定一個平面來確定長方形彈性片15的姿態(tài)，在調(diào)節(jié)過程中，其中一個氣墊保持不變，其余兩個高度可調(diào)，分別調(diào)整仰調(diào)節(jié)直角三角板3的俯仰和搖擺。在運動過程中，在XY方向上跟隨XY運動平臺；在搖擺方向上通過三個氣墊來控制，氣墊和花崗巖平面間形成氣浮面，在XY運動過程中保持各自的高度，保持仰調(diào)節(jié)直角三角板3姿態(tài)不變。
【權(quán)利要求】
1.一種俯仰可調(diào)的二維運動平臺，包括大理石臺面(1)，在大理石臺面(1)上設(shè)置有XY平臺(2)，其特征在于，在ΧΥ平臺(2)的上方設(shè)置有俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)的直角處底面上設(shè)置有固定支柱(4)，在固定支撐柱(4)的底端連接有固定支撐柱氣墊(5)，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)的一銳角處設(shè)置有X向調(diào)節(jié)螺母(10)，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)的另一銳角處設(shè)置有Υ向調(diào)節(jié)螺母(12)，Χ向調(diào)節(jié)螺桿(6)的上端與X向調(diào)節(jié)螺母(10)螺接在一起，X向調(diào)節(jié)螺桿(6)的下端連接有X向調(diào)節(jié)螺桿氣墊(7)，Υ向調(diào)節(jié)螺桿(8)的上端與Υ向調(diào)節(jié)螺母(12)螺接在一起，Υ向調(diào)節(jié)螺桿(8)的下端連接有Υ向調(diào)節(jié)螺桿氣墊(9)，固定支撐柱氣墊(5)、Χ向調(diào)節(jié)螺桿氣墊(7)和Υ向調(diào)節(jié)螺桿氣墊(9)均活動設(shè)置在大理石臺面(1)上，在X向調(diào)節(jié)螺桿(6)上連接有X向調(diào)節(jié)推桿(11 )，在Υ向調(diào)節(jié)螺桿(8)上連接有Υ向調(diào)節(jié)推桿(13)，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)的底面上設(shè)置有彈性片支撐座(16)，在彈性片支撐座(16)上設(shè)置有滾輪支撐軸(17)，在滾輪支撐軸(17)上設(shè)置有滾輪(18)，長方形彈性片(15)的一端活動設(shè)置在彈性片支撐座(16)的滾輪(18)上，長方形彈性片(15)的另一端通過固定螺丁(14)與俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)的底面固定連接在一起，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)的中部設(shè)置有螺栓孔(19)，連接螺栓(20)通過螺栓孔(19)將長方形彈性片(15)與ΧΥ平臺連接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種俯仰可調(diào)的二維運動平臺，其特征在于，在俯仰調(diào)節(jié)直角三角板(3)上分別設(shè)置有X向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭(21)和Υ向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭(22)，X向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭(21)的輸出端通過連桿(23)與X向調(diào)節(jié)推桿(11)連接在一起，Υ向調(diào)節(jié)推桿驅(qū)動千分頭(22)的輸出端與Υ向調(diào)節(jié)推桿(13)連接在一起。
【文檔編號】G12B5/00GK103646671SQ201310666040
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】王曉奎, 曹國斌, 王貴平, 狄希遠(yuǎn), 呂琴紅, 姬臻杰, 張志耀, 霍灼琴, 楊凱駿, 楊衛(wèi), 王海珍, 田志峰, 馬生生, 孫麗娜 申請人:中國電子科技集團公司第二研究所