專利名稱：一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及了一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，屬于加速器真空技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
加速器真空系統(tǒng)是加速器主體的一個重要組成部分，其作用提供一個加速電子運動的通道。真空的好壞直接影響到加速器的正常運行，及加速器的性能。加速器高真空系統(tǒng)是由多個真空部件相互組合密封而成。真空部件間的密封是獲得加速器高真空至關(guān)重要的關(guān)鍵。加速器真空部件的密封一般都采用了晴橡膠或硅橡膠所為密封。但橡膠放氣率較高，因而極限真空度較低影響束流品質(zhì)。且不耐高溫，容易發(fā)生真空泄漏，不耐加速器工作時所產(chǎn)生的X射線，也不耐加速器工作產(chǎn)生的臭氧的腐蝕，使用壽命較短。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供了一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，通過在加速器的關(guān)鍵部件之間通過合適的金屬絲進行密封，使加速器具有較好的真空度，使其能夠獲得滿意的束流品質(zhì)。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，包括依次連接的電子槍、多段加速管、加速管支座、漂移管、波紋管、芯管和掃描盒，所述電子槍與加速管之間通過金屬絲密封。前述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述多段加速管之間通過金屬絲密封，所述加速管與加速管支座之間通過金屬絲密封。前述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述加速管支座與漂移管之間通過金屬絲密封，漂移管與波紋管之間通過金屬絲密封。前述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述波紋管與芯管之間通過金屬絲密封，所述芯管與掃描盒之間通過金屬絲密封。前述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述掃描盒的底部與外部法蘭之間通過純鋁絲密封。前述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述金屬絲為純銀絲，其純度99.9%、直徑為1mm。前述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述純鋁絲的純度為99.9%、直徑為 1mm。本實用新型的有益效果是:加速器高真空系統(tǒng)采用金屬密封與傳統(tǒng)的采用丁晴橡膠密封相比，具有由于金屬的表面放氣率大大低于橡膠制品，抽真空較快，容易獲得高的真空度，且耐溫，耐X射線，耐臭氧的腐蝕優(yōu)于橡膠制品，因而使用壽命要比橡膠制品長得多，安裝方便等特點。經(jīng)使用證明，采用金屬密封的加速器高真空系統(tǒng)，其靜態(tài)真空及動態(tài) 真空均達到加速器真空設(shè)計指標(biāo)。

圖1是本實用新型一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合說明書附圖，對本實用新型作進一步的說明。如圖1所示，一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，包括依次連接的電子槍1、多段加速管2、加速管支座3、漂移管4、波紋管5、芯管6和掃描盒7，所述電子槍I與加速管2之間通過金屬絲8密封，所述多段加速管2之間通過金屬絲8密封，所述加速管2與加速管支座3之間通過金屬絲8密封，加速管支座3與漂移管4之間通過金屬絲8密封，漂移管4與波紋管5之間通過金屬絲8密封，波紋管5與芯管6之間通過金屬絲8密封，所述芯管6與掃描盒7之間通過金屬絲8密封。通過對加速器的重要部件之間通過金屬絲8進行密封，由于金屬的表面放氣率大大低于橡膠制品，抽真空較快，容易獲得高的真空度，且耐溫，耐X射線，耐臭氧的腐蝕優(yōu)于橡膠制品，因而使用壽命要比橡膠制品長得多，安裝方便等特點。經(jīng)使用證明，采用金屬密封的加速器高真空系統(tǒng)，其靜態(tài)真空及動態(tài)真空均達到加速器真空設(shè)計指標(biāo)。掃描盒7的底部與外部法蘭之間通過純鋁絲9密封，純鋁絲9的純度為99.9%、直徑為1mm。由于掃描盒7需要經(jīng)常更換，且密封口徑較大，因此采用純鋁絲9進行密封，在實現(xiàn)密封效果的前提下，降低了成本。金屬絲8為純銀絲，其純度99.9%、直徑為1mm，通過采用密度更高的純銀絲進行密封，使密封效果更好。綜上所述，本實用新型提供的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，通過在加速器的關(guān)鍵部件之間通過合適的金屬絲進行密封，使加速器具有較好的真空度，使其能夠獲得滿意的束流品質(zhì)。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征及優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界。
權(quán)利要求1.一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，包括依次連接的電子槍(I)、多段加速管(2)、加速管支座(3)、漂移管(4)、波紋管(5)、芯管(6)和掃描盒(7)，其特征在于:所述電子槍(I)與加速管(2)之間通過金屬絲(8)密封。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述多段加速管(2)之間通過金屬絲(8)密封，所述加速管(2)與加速管支座(3)之間通過金屬絲(8)密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述加速管支座(3)與漂移管(4)之間通過金屬絲(8)密封，漂移管(4)與波紋管(5)之間通過金屬絲(8)密封。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述波紋管(5)與芯管(6)之間通過金屬絲(8)密封，所述芯管(6)與掃描盒(7)之間通過金屬絲(8)密封。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述掃描盒(7)的底部與外部法蘭之間通過純鋁絲(9)密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述金屬絲(8)為純銀絲，其純度99.9%、直徑為1mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，其特征在于:所述純鋁絲(9)的純度為99.9%、直徑為1mm。
專利摘要本實用新型公開了一種具有高真空密封系統(tǒng)的加速器，包括依次連接的電子槍、多段加速管、加速管支座、漂移管、波紋管、芯管和掃描盒，上述部件之間通過金屬絲進行密封。本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中加速器的真空密封性不好的問題，加速器高真空系統(tǒng)采用金屬密封與傳統(tǒng)的采用丁晴橡膠密封相比，具有由于金屬的表面放氣率大大低于橡膠制品，抽真空較快，容易獲得高的真空度，且耐溫，耐X射線，耐臭氧的腐蝕優(yōu)于橡膠制品，因而使用壽命要比橡膠制品長得多，安裝方便等特點。經(jīng)使用證明，采用金屬密封的加速器高真空系統(tǒng)，其靜態(tài)真空及動態(tài)真空均達到加速器真空設(shè)計指標(biāo)。
文檔編號H05H7/14GK203039999SQ20122072722
公開日2013年7月3日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者朱錦華 申請人:江蘇達勝加速器制造有限公司