專利名稱：一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及藍寶石晶體生長爐的加工制造，尤其是一種藍寶石晶體生長爐上的隔熱屏系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前的KY工藝藍寶石晶體生長爐隔熱屏系統(tǒng)多數(shù)由3部分組成，上隔熱屏，側(cè)隔熱屏和底部隔熱屏。而整個隔熱屏系統(tǒng)中，承受溫度最高，最易損壞的就是上隔熱屏，據(jù)大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計，隔熱屏在整臺設(shè)備的總價中所占的比例約為20%至30%，上隔熱屏的更換使得藍寶石晶體的加工成本急劇增加。同時，由于在晶體生長的過程中，原料的揮發(fā)，鎢鑰材料中大量的雜質(zhì)揮發(fā)，使得頂部隔熱屏上有大量的雜質(zhì)富集，這些雜質(zhì)如果不及時清理，很容易掉進坩堝中，對晶體生長極為不利，為了避免這些問題的發(fā)生，每個生長周期結(jié)束時和下個生長周期開始時需要對設(shè)備進行維護，此時需要拆掉上爐蓋和上隔熱屏，由于鎢鑰材料的特性，經(jīng)過1400度以上的高溫后，材料會發(fā)生二次結(jié)晶，鎢鑰材料的內(nèi)部材料結(jié)構(gòu)會發(fā)生變化，材料變的很脆，此時清理隔熱屏，很容易損壞這些鎢鑰材料，對生產(chǎn)成本的控制非常不利。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，維護簡單方便，耗材成本低。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案為:一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個獨立的部分，可獨立懸掛于上爐蓋上，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏均使用鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料中的一種材料制成，并通過鑰桿連接成一個整體。上述一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏由不超過20層鎢鑰板材組成，板厚0.1mm至10mm，各層之間通過波浪板控制間距，最下面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種，上面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種。上述一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料度純度為80%至99.95%。本實用新型的優(yōu)點在于:主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個獨立的部分，可獨立懸掛于上爐蓋上，在每個周期對生長爐進行維護時，單獨拆除附屬隔熱屏，進行必要的清理即可，維護簡單方便。并且大大降低晶體生長爐的維護周期，減少熱場損耗，降低熱場的耗材成本。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明。[0009]

圖1是監(jiān)寶石晶體生長爐整體不意圖。圖2是藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)與上爐蓋連接示意圖。圖3是波浪板示意圖。
具體實施方式
圖1所示，藍寶石晶體生長爐包括上爐蓋1，上隔熱屏2，爐殼3，下爐蓋4，籽晶伺服機構(gòu)，5，鎢坩堝6，下發(fā)熱體7，側(cè)發(fā)熱體8，側(cè)隔熱屏9和下隔熱屏10組成。圖2和圖3所示，上隔熱屏系統(tǒng)包括主隔熱屏11和附屬隔熱屏12，主隔熱屏11和附屬隔熱屏12由15層鎢鑰板材組成，最下面的3層至5層為鎢板14，上面的7層至15層為鑰板13，所有板厚均為0.1mm至10mm。主隔熱屏11和附屬隔熱屏12通過連接鑰桿16組成一個整體，兩部分隔熱屏通過連接鑰桿16和螺母15固定于爐蓋I上，鎢板14、鑰板13、連接桿16和螺母15所用的鎢鑰材料純度均為80%至99.95%。主隔熱屏11和附屬隔熱屏12的板間距通過波浪板17來進行控制。在進行設(shè)備維護和清理時，卸下附屬隔熱屏12上面的螺母15，然后清理附屬隔熱屏12即可。
權(quán)利要求1.一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個獨立的部分，可獨立懸掛于上爐蓋上，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏均使用鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料中的一種材料制成，并通過鑰桿連接成一個整體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏由不超過20層板材組成，板厚0.1mm至10mm，各層之間通過波浪板控制間距，最下面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種，上面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料度純度為80%至99.95%。
專利摘要本實用新型公開了一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，通過復合式結(jié)構(gòu)，可以大大降低晶體生長爐的維護周期，減少熱場損耗，降低熱場的耗材成本。
文檔編號C30B29/20GK203049076SQ20122066336
公開日2013年7月10日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者滑喜寶 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)杰士通真空技術(shù)有限公司