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一種新型藍(lán)寶石晶體生長爐上隔熱屏系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8178430

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石晶體生長爐的加工制造,尤其是一種藍(lán)寶石晶體生長爐上的隔熱屏系統(tǒng)。背景技術(shù)目前的KY工藝藍(lán)寶石晶體生長爐隔熱屏系統(tǒng)多數(shù)由3部分組成,上隔熱屏,側(cè)隔熱屏和底部隔熱屏。而整個(gè)隔熱屏系統(tǒng)中,承受溫度最高,最易損壞的就是上隔熱屏,據(jù)大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),隔熱屏在整臺設(shè)備的總價(jià)中所占的比例約為20%至30%,上隔熱屏的更換使得藍(lán)寶石晶體的加工成本急劇增加。同時(shí),由于在晶體生長的過程中,原料的揮發(fā),鎢鑰材料中大量的雜質(zhì)揮發(fā),使得頂部隔熱屏上有大量的雜質(zhì)富集,這些雜質(zhì)如果不及時(shí)清理,很容易掉進(jìn)坩堝中,對晶體生長...
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