專利名稱:一種波紋石墨三瓣堝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
一種波紋石墨三瓣堝技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種波紋石墨三瓣堝。
背景技術(shù):
[0002]石墨在現(xiàn)代科技工業(yè)中扮演著非常重要的角色,在半導(dǎo)體行業(yè)的CZ (CZOChralski)法直拉硅單晶工藝中更是不可缺少的材料。CZ單晶爐是一種半導(dǎo)體廠家生產(chǎn)直拉硅單晶的加熱生成爐,是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料融化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。[0003]其中,石墨堝是放置在單晶爐內(nèi)盛放石英堝的器皿。在生產(chǎn)單晶硅的過程中,放置硅料的石英堝受熱使硅料融化,而石英堝收到的熱量是石墨三瓣堝從加熱器處吸收到的熱量,即石英堝通過石墨堝從加熱器處吸收熱量。[0004]目前,用于盛放石英堝的石墨堝是石墨三瓣堝,極大的方便了對石英堝的取放。傳統(tǒng)地,在生產(chǎn)石墨三瓣堝時采用機加工,以提高石墨三瓣堝的生產(chǎn)效率。但是,機加工后的石墨三瓣堝的外表面較光滑,使得吸熱面積只是石墨三瓣堝的光滑外表面,即受熱面積有限,不利于快速達到熔料的溫度。[0005]因此,如何提供一種石墨三瓣堝,增大外表面面積,以增大受熱面積,是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。實用新型內(nèi)容[0006]本實用新型的目的是提供一種波紋石墨三瓣堝,增大外表面面積,以增大受熱面積。[0007]為解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供如下技術(shù)方案[0008]一種波紋石墨三瓣堝,包括三個可圍成一個具有一個開口的石墨堝的堝體,其中, 三個所述堝體中至少有一個堝體的外表面設(shè)置有凸起或/和凹槽形成。[0009]優(yōu)選地,上述的波紋石墨三瓣堝中,三個所述堝體的外表面均設(shè)置有所述凸起或凹槽。[0010]優(yōu)選地,上述的波紋石墨三瓣堝中,所述凸起或凹槽均為多個,且均沿所述堝體的外表面縱向均勻分布。[0011]優(yōu)選地,上述的波紋石墨三瓣堝中,所述凹槽或所述凸起的個數(shù)為26個。[0012]優(yōu)選地,上述的波紋石墨三瓣堝中,所述凹槽為弧形凹槽。[0013]優(yōu)選地,上述的波紋石墨三瓣堝中,所述凹槽的槽深為lmm-2mm。[0014]從上述的技術(shù)方案可以看出,本實用新型提供了一種波紋石墨三瓣堝,包括三個可圍成一個具有一個開口的石墨堝的堝體,其中,三個上述堝體中至少有一個堝體的外表面設(shè)置有凸起或/和凹槽。通過在堝體的外表面設(shè)置凸起或/和凹槽,可使得堝體的外表面與外界接觸的表面積增大,即增加了堝體的受熱面積,從而提高了堝體受熱的速度,提高了吸熱效率,進而在拉晶過程中極大的縮短了 化料時間,縮短了工藝周期。
[0015]圖1為本實用新型實施例提供的波紋石墨三瓣堝的堝體的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0016]本實用新型核心是提供一種波紋石墨三瓣堝,增大外表面面積,以增大受熱面積。[0017]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實用新型方案,
以下結(jié)合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。[0018]請參考圖1,本實用新型公開了一種波紋石墨三瓣堝,包括三個可圍成一個具有一個開口的石墨堝的堝體1,其中,三個堝體I中至少有一個堝體I的外表面設(shè)置有凸起或/ 和凹槽2。[0019]通過在堝體I的外表面設(shè)置凸起或/和凹槽2,可使得堝體I的外表面與外界接觸的表面積增大,即增加了堝體I的受熱面積,從而提高了堝體I受熱的速度,提高了吸熱效率,進而在拉晶過程中極大的縮短了化料時間,縮短了工藝周期。[0020]為了保證放置在波紋石墨三瓣堝內(nèi)的石英堝的受熱均勻,本實施例中將三個堝體 I的外表面均設(shè)置了凸起或/和凹槽2。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是,在實際生產(chǎn)中,可根據(jù)不同的加工條件和成產(chǎn)成本選擇不同的加工方法。優(yōu)選地,在傳統(tǒng)的石墨三瓣堝加工的基礎(chǔ)上增加一道工序,即在外表面光滑的石墨三瓣堝的外表面通過齒輪銑刀,沿堝體I的縱向在其外表面銑出凹槽2。在不考慮成本的情況下,可通過澆筑的方式在堝體I的外表面設(shè)置凸起,然后再對堝體I進行進一步的加工。[0021]為了保證波紋石墨三瓣堝的硬度和進一步增大其受熱面積,本實施例中,將凸起或凹槽2均設(shè)置為多個,且均沿堝體I的外表面均勻分布。在實際生產(chǎn)中,可只設(shè)置凸起或只設(shè)置凹槽2,或同時設(shè)置凹槽2和凸起,以進一步增大接觸面積。在設(shè)置時,可橫向設(shè)置也可縱向設(shè)置,本實施例不對具體的設(shè)置方向做限定,只要均勻布置即可。[0022]具體的實施例中,根據(jù)波紋石墨三瓣堝的堝體I的大小和熔料的時間,本實施例中將凹槽2或凸起設(shè)置為26個,且沿堝體I的縱向布置。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是, 不同的熔料時間和不同大小的堝體I上設(shè)置的凹槽2或凸起的個數(shù)可相應(yīng)的進行更改,且均在保護范圍內(nèi)。[0023]優(yōu)選地,為了便于加工同時保證加工后的美觀性,本實施例中將凹槽2設(shè)置為弧形凹槽,在操作過程中還可將凹槽2設(shè)置為方形槽。[0024]優(yōu)選的實施例中,將凹槽2的槽深設(shè)置為l_2mm,具體地,可為1mm,操作時,先將原有的三瓣堝的壁厚上增加1mm,再按照傳統(tǒng)的加工工藝加工出三瓣堝,最后采用齒輪銑刀, 在每個堝體I上均銑出Imm深的弧形凹槽。[0025]本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。[0026]對所公開的實施例的上述說明,使本領(lǐng)域 專業(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍?!?br>
權(quán)利要求1.一種波紋石墨三瓣堝,包括三個可圍成一個具有一個開口的石墨堝的堝體,其特征在于,三個所述堝體中至少有一個堝體的外表面設(shè)置有凸起或/和凹槽形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋石墨三瓣堝,其特征在于,三個所述堝體的外表面均設(shè)置有所述凸起或/和凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋石墨三瓣堝,其特征在于,所述凸起或凹槽均為多個,且均沿所述堝體的外表面均勻分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的波紋石墨三瓣堝,其特征在于,所述凹槽或所述凸起的個數(shù)為26個。
5.根據(jù)權(quán)利要求
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋石墨三瓣堝,其特征在于,所述凹槽為弧形凹槽。 5所述的波紋石墨三瓣堝,其特征在于,所述凹槽的槽深為
專利摘要本實用新型公開了一種波紋石墨三瓣堝,包括三個可圍成一個具有一個開口的石墨堝的堝體,其中,三個上述堝體中至少有一個堝體的外表面設(shè)置有凸起或/和凹槽。通過在堝體的外表面設(shè)置凸起或/和凹槽,可使得堝體的外表面與外界接觸的表面積增大,即增加了堝體的受熱面積,從而提高了堝體受熱的速度,提高了吸熱效率,進而在拉晶過程中極大的縮短了化料時間,縮短了工藝周期。
文檔編號C30B15/10GK202881444SQ20122057776
公開日2013年4月17日 申請日期2012年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月5日
發(fā)明者王保強, 李萬富 申請人:英利能源(中國)有限公司