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一種波紋石墨三瓣堝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8175897

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技術(shù)領(lǐng)域一種波紋石墨三瓣堝技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種波紋石墨三瓣堝。背景技術(shù)[0002]石墨在現(xiàn)代科技工業(yè)中扮演著非常重要的角色,在半導(dǎo)體行業(yè)的CZ (CZOChralski)法直拉硅單晶工藝中更是不可缺少的材料。CZ單晶爐是一種半導(dǎo)體廠家生產(chǎn)直拉硅單晶的加熱生成爐,是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料融化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。[0003]其中,石墨堝是放置在單晶爐內(nèi)盛放石英堝的器皿。在生產(chǎn)單晶硅的過(guò)程中,放置硅料的石英堝受熱...
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