專利名稱：晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，屬于晶體硅太陽能電池擴散爐領域。
背景技術：
[0002]在晶體硅太陽能電池中擴散工藝主要為三氯氧磷(POCl3)液態(tài)源擴散，攜帶三氯氧磷(POCl3)的氣體從爐尾進入爐管，氣體經(jīng)過整個爐管后從爐口排出，氣體在爐管內(nèi)分布不均勻，導致整管磷擴散片間、片內(nèi)方阻均勻性較差。實用新型內(nèi)容[0003]本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，使得氣體在爐管內(nèi)分布均勻，提高整管磷擴散的片間、片內(nèi)方阻均勻性。[0004]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的[0005]一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，它包括爐管、進氣管以及排氣管，其特征在于所述進氣管以及排氣管從爐管的尾部伸入爐管內(nèi)，所述進氣管與排氣管分別位于爐管的上部與下部，所述進氣管的下表面沿進氣管的長度方向設置有多個進氣孔， 所述排氣管的上表面沿排氣管的長度方向設置有多個排氣孔。[0006]作為一種優(yōu)選，所述進氣管的同一截面上設置有三個進氣孔，所述三個進氣孔沿進氣管截面的下半圓周均勻布置。[0007]作為一種優(yōu)選，所述進氣管以及排氣管均由石英材料制成。[0008]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是[0009]本實用新型由于進氣管的下表面設置有多個進氣孔，排氣管的上表面設置有多個排氣孔，通入的反應氣體可以通過進氣管多點進氣和排氣管多點排氣，氣流從各個氣孔進出，平行流過硅片表面，使得氣體在爐管內(nèi)分布均勻，提高整管磷擴散的片間、片內(nèi)方阻均勻性。


[0010]圖1為本實用新型晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置的正視圖。[0011]圖2為圖1的右視圖。[0012]圖3為本實用新型晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置的進氣管仰視圖。[0013]圖4為圖3的右視圖。[0014]圖5為本實用新型晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置的排氣管的俯視圖。[0015]圖6為圖5的右視圖。[0016]其中[0017]爐管I[0018]進氣管2[0019]排氣管3[0020]進氣孔4[0021]排氣孔5。
具體實施方式
[0022]參見圖f圖6，本實用新型涉及的一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，它包括爐管1、進氣管2以及排氣管3，所述進氣管2以及排氣管3從爐管I的尾部伸入爐管I內(nèi)，所述進氣管2與排氣管3分別位于爐管I的上部與下部，所述進氣管2的下表面 沿進氣管2的長度方向設置有多個進氣孔4，所述排氣管3的上表面沿排氣管3的長度方向設置有多個排氣孔5，所述進氣管2以及排氣管3均由石英材料制成。[0023]所述進氣管2的同一截面上設置有三個進氣孔4，所述三個進氣孔4沿進氣管2截面的下半圓周均勻布置。
權利要求1.一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，它包括爐管(I)、進氣管(2)以及排氣管(3 )，其特征在于所述進氣管(2 )以及排氣管(3 )從爐管(I)的尾部伸入爐管(I)內(nèi)，所述進氣管(2)與排氣管(3)分別位于爐管(I)的上部與下部，所述進氣管(2)的下表面沿進氣管(2)的長度方向設置有多個進氣孔(4)，所述排氣管(3)的上表面沿排氣管(3)的長度方向設置有多個排氣孔(5 )。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，其特征在于所述進氣管(2)的同一截面上設置有三個進氣孔(4)，所述三個進氣孔(4)沿進氣管(2)截面的下半圓周均勻布置。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，其特征在于所述進氣管(2)以及排氣管(3)均由石英材料制成。
專利摘要本實用新型涉及一種晶體硅太陽能電池擴散爐進出氣體穩(wěn)定裝置，它包括爐管(1)、進氣管(2)以及排氣管(3)，其特征在于所述進氣管(2)以及排氣管(3)從爐管(1)的尾部伸入爐管(1)內(nèi)，所述進氣管(2)與排氣管(3)分別位于爐管(1)的上部與下部，所述進氣管(2)的下表面設置有多個進氣孔(4)，所述排氣管(3)的上表面設置有多個排氣孔(5)。本實用新型由于進氣管的下表面設置有多個進氣孔，排氣管的上表面設置有多個排氣孔，通入的反應氣體可以通過進氣管多點進氣和排氣管多點排氣，氣流從各個氣孔進出，平行流過硅片表面，使得氣體在爐管內(nèi)分布均勻，提高整管磷擴散的片間、片內(nèi)方阻均勻性。
文檔編號C30B31/16GK202830231SQ20122046032
公開日2013年3月27日 申請日期2012年9月11日 優(yōu)先權日2012年9月11日
發(fā)明者邱軍輝, 王世賢, 黃勤健, 南晨, 龔麗坤 申請人:江陰鑫輝太陽能有限公司