專利名稱：單晶棒冷卻小車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶棒制造領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶棒冷卻小車。
背景技術(shù)：
在進(jìn)行CZ直拉法過程中，晶棒拉制結(jié)束后大概5_6hr后進(jìn)行取棒操作，由于硅的熔點(diǎn)是1420°，晶棒在單晶爐內(nèi)的經(jīng)過5-6冷卻后，晶體表面的溫度一般還有300-400°，內(nèi)部溫度超過500°。因此在晶棒取出后進(jìn)入常溫狀態(tài)下，自然冷卻過程中，假如冷卻速度 過快可造成晶體內(nèi)裂等缺陷。因此往往在晶棒取出后會(huì)放置在絕熱材料上避免晶棒在自然冷卻過程中，與地面接觸熱量快速傳導(dǎo)至地面而造成晶體內(nèi)壁冷卻速度過快造成裂紋缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷，提供一種更高的杜絕晶體快速傳導(dǎo)熱量的單晶棒冷卻小車。本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種單晶棒冷卻小車，包括有平板推車，還包括有四氟支撐架，所述的四氟支撐架表面呈鋸齒狀，其中每個(gè)鋸齒對(duì)應(yīng)一根單晶棒，將四氟支撐架水平放置在所述的平板推車上。所述的平板推車是不銹鋼的。所述的平板推車的底部采用4個(gè)萬向輪結(jié)構(gòu)。所述的萬向輪結(jié)構(gòu)的傳動(dòng)部分是耐磨橡膠。采用不銹鋼平板推車作為運(yùn)轉(zhuǎn)單晶棒的底盤，底盤上放置絕熱的四氟支撐架，晶棒在取出后放置在四氟支撐架上，每一個(gè)鋸齒對(duì)應(yīng)一根單晶棒，然后轉(zhuǎn)移至冷卻成品房間內(nèi)進(jìn)行冷卻。晶體在取出時(shí)，放置在四氟支撐架上進(jìn)行散熱，四氟的耐熱系數(shù)及導(dǎo)熱系數(shù)均大于不銹鋼，及地面能有效的隔絕熱量的傳導(dǎo)，同時(shí)不銹鋼平板推車下使用4個(gè)萬向輪結(jié)構(gòu)，萬向輪結(jié)構(gòu)的傳動(dòng)部分采用的是耐磨橡膠，也能有效的隔絕熱量。這樣單晶棒可以再使得在冷卻小車上自然冷卻至常溫狀態(tài)，可有效的避免晶體快速冷卻而造成的缺陷產(chǎn)生。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型采用了四氟支撐架對(duì)單晶棒進(jìn)行絕熱，防止晶體快速傳導(dǎo)熱量，導(dǎo)致晶體內(nèi)部產(chǎn)生內(nèi)裂的現(xiàn)象，另外，萬向輪結(jié)構(gòu)上的傳動(dòng)部分是耐磨橡膠，能有效隔絕熱量，徹底杜絕了晶體快速冷卻而造成缺陷產(chǎn)生的現(xiàn)象。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖。圖2為四氟支撐架的結(jié)構(gòu)圖。圖3為平板小車的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，一種單晶棒冷卻小車，包括有平板推車1，還包括有四氟支撐架2，所述的四氟支撐架2表面呈鋸齒狀，其中每個(gè)鋸齒對(duì)應(yīng)一根單晶棒，將四氟支撐架2水平放置在所述的平板推車I上。所述的平板推車I是不銹鋼的。所述的平板推車I的底部采用4個(gè)萬向輪結(jié)構(gòu)3。所述的萬向輪結(jié)構(gòu)3的傳動(dòng)部分是耐磨橡膠。
權(quán)利要求1.一種單晶棒冷卻小車，包括有平板推車，其特征在于還包括有四氟支撐架，所述的四氟支撐架表面呈鋸齒狀，其中每個(gè)鋸齒對(duì)應(yīng)一根單晶棒，將四氟支撐架水平放置在所述的平板推車上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶棒冷卻小車，其特征在于所述的平板推車是不銹鋼的。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶棒冷卻小車，其特征在于所述的平板推車的底部采用4個(gè)萬向輪結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶棒冷卻小車，其特征在于所述的萬向輪結(jié)構(gòu)的傳動(dòng)部分是耐磨橡膠。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種單晶棒冷卻小車，包括有平板推車，還包括有四氟支撐架，所述的四氟支撐架表面呈鋸齒狀，其中每個(gè)鋸齒對(duì)應(yīng)一根單晶棒，將四氟支撐架水平放置在所述的平板推車上。本實(shí)用新型采用了四氟支撐架對(duì)單晶棒進(jìn)行絕熱，防止晶體快速傳導(dǎo)熱量，導(dǎo)致晶體內(nèi)部產(chǎn)生內(nèi)裂的現(xiàn)象，另外，萬向輪結(jié)構(gòu)上的傳動(dòng)部分是耐磨橡膠，能有效隔絕熱量，徹底杜絕了晶體快速冷卻而造成缺陷產(chǎn)生的現(xiàn)象。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202753980SQ20122028105
公開日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月14日
發(fā)明者馬四海, 張笑天, 丁磊, 馬先松, 馬青, 徐大國 申請(qǐng)人:馬鞍山明鑫光能科技有限公司